博士門-晶圓及IC製程材料潔淨控濕庫房

IC產業從晶圓、光罩至PCB載板及乾膜部件都需要進行除濕乾燥，以維護上線時的生產品質，因此一個大型移動軌道氣密櫃可在有限空間提供最大量的成品及半成品或材料儲存。

博士門潔淨庫房，採節能設計，可節省各式乾燥氣體用量達80%以上，可視化溫溼度顯示，更提高保存的可靠度。

【Bossmen博士門-晶圓及IC製程材料潔淨控濕庫房】規格:

1.尺寸：W1610 xH2000 xD301mm。

2.櫃體：不鏽鋼櫃體材質; 八門、玻璃視窗、附流量計、高載重剎車輪、水平腳墊。

3.進氣源：氮氣或XCDA

4.濕度：5%-60%RH可調整，節能設計。

5.溫溼度監控：溫溼度監控系統可設定、紀錄、警報、偏移校正。

6.開門安全模式:門扇開門時間過長警報。

7.濕氣過高警報。

8.內部配置168組光罩支撐條。

9.電源：110V/220 V50/60Hz

10.提供訂製服務。

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