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博士門-精密潔淨光罩儲存櫃
【Bossmen博士門-精密潔淨光罩儲存櫃】
- 儲位獨立氮氣監控
- 光罩儲放 RFID程控
- 櫃體門禁刷卡建置 儲位獨立溫濕度監控
- 儲位獨立流量監控 光罩盒氮氣流量回報
- 警示機制 儲位異常獨立警報
- 光罩盒獨立進氣 氮氣純化裝置
- ULPA網 化學濾網
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- EUV POD 精密潔淨光罩儲存櫃
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- RSP 200 精密潔淨光罩儲存櫃
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- 光罩盒
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- 氮氣, 溫溼度監控
| 主功能 | 分項功能 | 說明 |
| 一.供氣系統 | 1.XCDA(乾燥空氣)進氣啟動與確認 | 可設定FFU風量，當FFU啟動時，XCDA就會啟動進氣。 |
| 2.N2(氮氣)進氣啟動與確認 | 氮氣經氮氣純化器過濾後，分層分流進入個別光罩盒。並於出氣管路放置溫濕度感測器，進行氮氣流出光罩盒監控。 | |
| 二.過濾系統 | 1.可程式過濾風車組(FFU) | 利用氧濃度數值做為FFU啟動之設定。 |
| 2.化學過濾網 | 可過濾乾燥空氣內的碳酸根離子、硫化物、阿摩尼亞等化學汙染氣體。 | |
| 3.空氣過濾網(ULPA) | 可過濾極細粉塵達class 1等級。 | |
| 4.氮氣純化器 | 可過濾氮氣內的碳酸根離子、硫化物、阿摩尼亞等化學汙染氣體。 |
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