博士門-精密潔淨奈米級光罩儲存櫃

【Bossmen博士門-精密潔淨奈米級光罩儲存櫃】規格:

光罩是將積體電路之各種電路設計圖形轉化為晶圓生產所需的介面模具，是電路設計圖案微縮後經由曝光後反印至晶圓上的重要角色。

光罩品質一但有缺陷，將一直複製到晶圓的晶粒上，此直接影響晶圓良率。隨著微影圖案越精細，倍縮光罩污染及良率損失的風險也越高。

因倍縮光罩塗層具有精細與易於損壞特點，外來粉塵與化學殘留物，都是潛在污染來源。

除光罩製造品質外，其保存方式也非常重要。

一般係將光罩保存盒保存于潔淨氣密的氮氣櫃，因氮氣除可清除光罩上的化學汙染外，有可以保持適當的濕度環境。博士門光罩儲存氮氣櫃不僅提供潔淨及乾燥的光罩儲存空間，更有節能設計，比傳統的氮氣櫃節省80%以上的氮氣用量，可視化溫溼度顯示更提高保存的可靠度。