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Bossmen博士门-精密洁净光罩储存柜
【Bossmen博士门-精密洁净光罩储存柜】
- 储位独立氮气监控
- 光罩储放 RFID程控
- 柜体门禁刷卡建置 储位独立温湿度监控
- 储位独立流量监控 光罩盒氮气流量回报
- 警示机制 储位异常独立警报
- 光罩盒独立进气 氮气纯化装置
- ULPA网 化学滤网
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- EUV POD 精密潔淨光罩儲存櫃
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- RSP 200 精密潔淨光罩儲存櫃
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- 光罩盒
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- 氮氣, 溫溼度監控
| 主功能 | 分项功能 | 说明 |
| 一.供气系统 | 1.XCDA(干燥空气)进气启动与确认 | 可设定FFU风量，当FFU启动时，XCDA就会启动进气。 |
| 2.N2(氮气)进气启动与确认 | 氮气经氮气纯化器过滤后，分层分流进入个别光罩盒。并于出气管路放置温湿度感测器，进行氮气流出光罩盒监控。 | |
| 二.过滤系统 | 1.可程式过滤风车组(FFU) | 利用氧浓度数值做为FFU启动之设定。 |
| 2.化学过滤网 | 可过滤干燥空气内的碳酸根离子、硫化物、阿摩尼亚等化学污染气体。 | |
| 3.空气过滤网(ULPA) | 可过滤极细粉尘达class 1等级。 | |
| 4.氮气纯化器 | 可过滤氮气内的碳酸根离子、硫化物、阿摩尼亚等化学污染气体。 |
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