Bossmen博士门-精密洁净奈米级光罩储存柜

【Bossmen博士门-精密洁净奈米级光罩储存柜】规格:

光罩是将积体电路之各种电路设计图形转化为晶圆生产所需的介面模具，是电路设计图案微缩后经由曝光后反印至晶圆上的重要角色。

光罩品质一但有缺陷，将一直复制到晶圆的晶粒上，此直接影响晶圆良率。随着微影图案越精细，倍缩光罩污染及良率损失的风险也越高。

因倍缩光罩涂层具有精细与易于损坏特点，外来粉尘与化学残留物，都是潜在污染来源。

除光罩制造品质外，其保存方式也非常重要。

一般系将光罩保存盒保存于洁净气密的氮气柜，因氮气除可清除光罩上的化学污染外，有可以保持适当的湿度环境。博士门光罩储存氮气柜不仅提供洁净及干燥的光罩储存空间，更有节能设计，比传统的氮气柜节省80%以上的氮气用量，可视化温湿度显示更提高保存的可靠度。