Bossmen 博士门薄型氮气控制器(含流量计)-FN2HT-FM

【Bossmen 博士门薄型氮气控制器(含流量计)-FN2HT-FM】
Bossmen博士门氮气高效除湿系统，搭配各式不锈钢氮气柜，符合国际半导体干燥暨洁净标准。 IEC-TR- 62258-3国际半导体控湿规范，是半导体产业晶圆片（Wafer）及晶片（Bare die）储存的湿度标准。规范中指出晶圆片或晶片需储存在至少99%的氮气浓度或干燥的空气环境，而湿度最高不可超过30%RH，最低则不要超过7%RH（预防极低湿环境又无静电处理会造成电子性的破坏）。另外最重要的是储存的环境不能产生粉尘（particle），粉尘颗粒要符合ISO14644，Class 6的标准。

博士门快速降湿氮气控制系列完全符合国际标准的设计，不仅具除湿可靠度，而且静电消除系统可以避免粉尘产生及沾黏。若再配合高效过滤系统，还可以避免粉尘在柜内扰动问题。氮气节能装置，只要到达湿度设定点，即停止氮气填充，节省氮气耗用达70%。