博士門光罩儲存氮氣櫃 可節省80%以上的氮氣用量
光罩是將積體電路之各種電路設計圖形轉化為晶圓生產所需的介面模具，是電路設計圖案微縮後經由曝光後反印至晶圓上的重要角色。
在光罩防塵薄膜成為EUV微影技術的標準配備之前，業界仍需使用EUV傳送盒來保護不含光罩防塵薄膜的倍縮光罩。儘管雙層傳送盒配置可發揮保護作用，發生污染的可能性依舊不容小覷，仍需要將污染風險納入考量。接觸或包圍倍縮光罩的所有表面，包括傳送盒的表面，都必須保持超潔淨狀態，以免導入不必要污染物，例如粉塵或藉由空氣傳播的化學氣體，其揮發氣體的聚合物會產生不必要的化學品污染，並沉積於倍縮光罩表面上，光罩品質一但有缺陷，將一直複製到晶圓的晶粒上，此直接影響晶圓良率。除光罩製造品質外，其次影響晶圓良率保存方式也非常重要。
一般係將光罩保存盒保存於潔淨氣密的氮氣櫃，因氮氣可清除光罩上的化學汙染外，可以保持適當的濕度環境。博士門光罩儲存氮氣櫃不僅提供潔淨及乾燥的光罩儲存空間，更有節能設計，比傳統的氮氣櫃節省80%以上的氮氣用量，可視化溫濕度顯示更提高保存的可靠度。
資料來源：儲存與運輸EUV倍縮光罩的挑戰 – 電子工程專輯 (eettaiwan.com)
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