超低酸素グローブボックスシステム
BX128(A)-N2
低酸素窒素グローブボックス(<1 ppm)、半導体プロセス用不活性雰囲気グローブボックス、抗酸化窒素グローブボックス、
ウルトラロウ酸素グローブボックスシステムは、安定した酸素フリーの作業環境を作り出すように設計されており、高純度の窒素パージ技術を通じてO₂レベルを1 ppm未満に達成します。 これにより、材料の酸化と実験エラーを効果的に最小限に抑え、安定した信頼性のあるマイクロ環境を確保するために、正確な湿度制御を統合します リチウム電池材料研究、半導体製造、先進材料加工に広く使用されており、プロセスの一貫性と製品の品質を向上させます。 このシステムは、真空システム、CDA(クリーン・ドライ・エア)、およびESD保護との統合を含むモジュラーカスタマイズもサポートしており、高精度産業の効率と安全要件を満たしています。
以下のシナリオでは、ウルトラロウ酸素グローブボックスシステム(<1 ppm)が必要です:
✔ 材料が酸化しやすい場合(例:リチウム電池、金属材料)
✔ プロセスが低酸素または酸素フリーの環境を必要とする場合
✔ 実験が高い安定性と再現性を要求する場合
✔ 操作が湿気や外部汚染から隔離されなければならない場合
高純度の不活性環境:酸素と湿気を効果的に隔離します。
ウルトラロウ酸素グローブボックスシステム(<1 ppm)は、高純度の窒素を利用して内部の大気を継続的に排出し、酸素と湿度のレベルを非常に低い濃度(<1 ppm)に保ちます。 これは安定した不活性環境を作り出し、不活性雰囲気グローブボックスと窒素グローブボックスシステムの両方として機能します。 抗酸化グローブボックスおよび湿気・酸素制御グローブボックスとして、酸化しやすく、吸湿性があり、非常に敏感な材料を効果的に保護します。 半導体用グローブボックス、リチウムバッテリー用グローブボックス、敏感材料用グローブボックスとして広く使用されており、高需要のアプリケーションに最適な酸素フリー環境機器です。
信頼性のある再現性のための安定した酸素と湿度の制御
ウルトラ低酸素グローブボックスシステム(<1 ppm)は、高精度センサーと循環浄化モジュールを統合した高度な監視および制御システムを備えています。この低酸素グローブボックス(<1 ppm)は、リアルタイムの監視と正確な環境調整を保証し、粒子や湿気の干渉を最小限に抑えます。湿気および酸素制御グローブボックスとして、一貫した操作条件を保証し、実験の安定性と再現性を大幅に向上させます。
多様なプロセス統合のための柔軟なモジュラー設計
ウルトラ低酸素グローブボックスシステム(<1 ppm)は、移送チャンバー、真空システム、加熱/冷却モジュール、ESD保護の柔軟な統合をサポートします。スケーラブルな窒素グローブボックスシステムとして設計されており、無菌でクリーンな環境機能を備えた高度な不活性雰囲気グローブボックスに構成できます。これにより、材料の準備、包装、テストから一時保管までの多段階プロセスが可能になり、運用効率と安全性が向上します。
特徴
- 精密な湿度制御:高効率の湿度制御システムを備え、1%から60% RHまでの精密な制御で安定した乾燥空気環境を維持し、湿気の吸収や材料の劣化を効果的に防ぎます。
- 低湿度の作業環境:常に低湿度の環境を提供し、湿気に敏感な実験や材料の取り扱いに最適で、操作全体を通じて安定した乾燥条件を確保します。
- 高性能シーリング設計:外部の湿気の侵入を防ぐプレミアムシーリングシステムを備え、内部の空気の安定性を確保し、環境の変動の影響を最小限に抑えます。
- 高品質のグローブ操作システム:耐久性があり柔軟なグローブを装備し、オペレーターが密閉された環境内で自由に作業を行い、汚染や外部露出を避けることができます。
- クリーン環境保護:クリーンで乾燥した条件を必要とする高精度アプリケーション向けに設計されており、外部の汚染物質がサンプルの品質や実験結果に影響を与えるのを効果的に防ぎます。
- 多用途アプリケーション:半導体プロセス、化学実験室、材料研究、バイオテクノロジーなどに広く適用可能で、多様な環境制御要件を満たします。
- ユーザーフレンドリーな操作とメンテナンス:シンプルで直感的なデザインにより、操作とメンテナンスが容易で、長期的な安定使用をサポートし、運用およびメンテナンスコストを削減します。
- スケーラビリティとカスタマイズ:さまざまなモデルと構成が利用可能で、異なるアプリケーションや環境ニーズに応じて内部構造や機能をカスタマイズできます。
アプリケーション
- 高精度産業で広く適用されています:
- 半導体製造プロセスおよびフォトマスク関連アプリケーション
- リチウム電池材料の研究開発および製造
- 化学合成および敏感な材料の取り扱い
- バイオテクノロジーおよび無菌ラボ操作
利点
- 安定した低酸素および湿度制御されたマイクロ環境:高純度の窒素による連続的なパージにより、酸素と水分を非常に低いレベル(<1 ppm)に維持し、酸化と水分吸収を効果的に防ぎながら、安定した運転を確保します。
- リアルタイム監視および精密制御システム:酸素と湿度レベルのリアルタイム監視のために高精度センサーと制御モジュールを備え、一貫した運転条件を確保し、プロセスの再現性と信頼性を向上させます。
- 柔軟な統合のためのモジュラー設計:真空システム、加熱モジュール、静電気放電(ESD)保護との統合をサポートし、多様なプロセスやアプリケーションの要件に応じたカスタマイズを可能にします。
主要性能概要:
✔ 酸素濃度: <1 ppm
✔ 湿度制御範囲: 1% – 60% RH
✔ 動作環境: 酸素フリー / 低湿度の安定した条件
✔ 制御システム: アラーム機能付きのリアルタイム監視
製品仕様
| モデル | 超低酸素グローブボックスシステム(<1 ppm) BX128(A)-N2 |
|---|---|
| 制御モジュール | 窒素制御雰囲気 |
| 湿度制御範囲 | 1% - 60%RH |
| 外形寸法 (mm) | W700 x D600 x H500 |
| 内形寸法 (mm) | W680 x D470 x H480 |
| ボックス材料 | 透明アクリル |
| ドア開口サイズ (mm) | W350 x H350 |
| 収納開口サイズ (mm) | W300 x H300 |
| グローブスリーブサイズ (mm) | Ø 150 |
| 湿度表示 | 0% RH ~ 99.9% RH |
| 温度表示 | 1 ~ 60°C |
| 電圧 | 100 ~ 240VAC ; 50/60Hz |
窒素コントローラー
| モデル | スリム窒素制御ユニット FN2HT | スリム窒素制御ユニット(フローメーター装備) FN2HT-FM | 標準窒素制御ユニット N2HT | 窒素制御ユニット(酸素モニタリング装備) N2HTO |
|---|---|---|---|---|
| 外形寸法 (mm) | W260 x H84 x D300 | W300 x H120 x D235 | W315 x H257 x D220 | W315 x H337 x D220 |
| 吸気圧 | CDAまたは窒素、3 kg/cm²から9 kg/cm² | CDAまたは窒素、3 kg/cm²から9 kg/cm² | 窒素、3kg / cm² ~ 9kg / cm² | 窒素、3kg / cm² ~ 7kg / cm² |
| 表示画面の数字 | 0.5" LED数字 | 0.5" LED数字 | 2.3" LEDディスプレイ | 2.3" LEDディスプレイ |
| 湿度制御範囲 | 1%RH ~ 60%RHに調整可能 | 1%RH ~ 60%RHに調整可能 | 1%RH ~ 60%Rに調整可能 | 1%RH ~ 60%RHに調整可能 |
| 湿度表示 | 0.0%RH ~ 99.9%RH | 0.0%RH ~ 99.9%RH | 0.0%RH ~ 99.9%RH | 0.0%RH ~ 99.9%RH |
| 温度表示 | 0.0°C ~ 60.0°C | 0.0°C ~ 60.0°C | 0.0°C ~ 60.0°C | 0.0°C ~ 60.0°C |
| 温度精度 | ± 1°C (0 ~ 60°C) | ± 1°C (0 ~ 60°C) | ± 1°C (0 ~ 60°C) | ± 1°C (0 ~ 60°C) |
| 消費電力 | 16W | 16W | 20W | 25W |
| 酸素濃度表示範囲 | 0.1% ~ 25% | |||
| 酸素濃度精度 | ± 0.2% (0 ~ 25%) |
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詳細
超低酸素グローブボックスシステム – BOSSMENによる精密湿度制御
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