低湿手套箱
BX128L(A)
实验室低湿度手套柜
实验室低湿手套箱是专为半导体制程与材料开发设计的高效控湿设备,能稳定维持箱体内湿度低于1%RH~40%RH,有效避免晶圆、感测元件、光阻材料等关键元件在接触湿气后产生氧化、吸湿或电性劣化问题。
实验室低湿手套箱是无尘室外部或次级制程区域中,进行湿敏性元件操作与暂存的理想解决方案。
针对半导体产线需求,低湿手套箱湿度监控系统,并可整合静电防护过滤模组与样品传递舱模组,提升制程稳定性与操作安全性。可客制内部空间与设备介面,协助晶圆测试、封装前检验、材料调制等关键环节确保环境条件最优化。
超低湿控制,防止关键元件劣化
本设备可维持箱内相对湿度稳定低于1%RH,搭配高效除湿单元与气密设计,有效防止晶圆、光阻材料、封装元件等湿敏性材料因吸湿导致的氧化、变质与电性衰退,是半导体制程控湿的关键设备。
客制化整合,符合产线实际需求
依据不同制程阶段需求,可整合氮气/干燥空气供应、自动湿度监控、静电防护(ESD)、洁净过滤模组与样品传递舱等功能,灵活配置,提升操作便利性与生产效率,并确保产品品质稳定。
降低不良率,提升良率与设备投报率
稳定的低湿环境可显著降低因湿气造成的不良品与返修率,特别适用于封装、测试前储存、材料准备等关键阶段,有效提升整体产线良率与设备投资回报率,助力企业强化制程竞争力。
产品特性
- 湿度任意调整:1% - 40%RH之间任意调整。
- 内建高效纪录功能:储存最多11,900笔温度与湿度纪录。
- 可设定收集时间间隔:时间间隔可调整,范围为1~240分钟。
- 灵活设置收集时间:可依年、月、日、时、分进行详细设置。
- 数据下载与储存:资料可通过RS232接口下载至电脑,并以品保纪录格式储存。
- 支援资料库档案格式:可输出为Excel、PDF等格式。
- 专用监控软体:附有Bossmen View监控软体,提供精准的数据监控与分析。
- 温湿度超范围警报:当可设定湿度启动条件:使用者可根据需求设定湿度的启动范围与条件。
- 警报模式:蜂鸣器以90分贝的音量发出警示,提醒使用者设备状态异常,透过闪烁数字的视觉提示强化警报效果,使用者可清楚看到警示信息。此外,蜂鸣器与闪烁数字可同步发出警报,进一步提升设备异常状况的可见度和警觉性。
应用场域
- 微生物学实验:在进行微生物培养或无菌操作时,控湿手套柜能提供一个干燥、无菌的环境,有效防止潮气影响培养基或样本,保持实验条件稳定。
- 生物化学实验:许多化学品和试剂对湿度敏感,控湿手套柜可确保仪器与试剂不受湿气影响,保障反应过程的准确性。
- 材料科学研究:在研究高精度材料(如半导体、光学材料等)时,湿气会对材料的性质产生不良影响。控湿手套柜可以保持稳定干燥的环境,防止材料潮解或性能变化。
- 制药实验:在药品研发过程中,某些药物和原料对湿度极为敏感,可能会降解或变质。控湿手套柜提供稳定干燥的储存环境,有效防止这些问题。
- 无尘操作环境:进行高端电子产品(如显示器、精密电子元件)测试或装配时,控湿手套柜提供无尘、控湿环境,有助于防止水分或灰尘对敏感组件造成损害。
这些实验都需要在严格控制的环境中进行,以保证实验结果的精确性与物品的安全性,控湿手套柜能提供一个理想的干燥、无污染操作空间。
产品规格
| 型号 |
低湿手套箱 BX128L(A) |
|---|---|
| 控制模组 | 除湿主机 |
| 湿度控制 | 1% - 40%RH |
| 外吋(mm) | W700 x D600 x H500 |
| 内吋(mm) | W680 x D470 x H480 |
| 箱体材质 | 10mm 透明压克力 |
| 开门尺寸(mm) | W350 x H350 |
| 置物口尺寸(mm) | W300 x H300 |
| 手套套口尺寸(mm) | Ø 150 |
| 湿度显示 | 0% RH ~ 99.9% RH |
| 温度显示 | 1 ~ 60°C |
| 电源 | 100 ~ 240VAC ; 50/60Hz |
- 相片集
博士門低湿手套箱介绍
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