光罩柜

精确湿度控制，确保光罩稳定储存

博士門光罩柜专为高精密光罩储存需求设计，提供全方位的湿度控制解决方案。无论是防潮、防尘、温控、真空或抗静电光罩盒需求，每款光罩储存柜均可根据光罩盒的形式量身定制，适应不同环境需求，提供最佳储存环境，确保光罩长期稳定、高效运行。

博士門高效率光罩储存方案：节省气体、提升效率，专为半导体与光学产业设计

此外，我们的光罩柜系列还具备先进的单独储位充气与整间储位充气设计，支持氮气与CDA气体的填充，以满足不同科技厂原有设备匹配需求，达到湿度值自动停止填充，经过工研院测试，这些设计可节省80%以上的氮气流量，大幅提升储存效率并降低运营成本。

● 智慧管理光罩柜：配有RFID管理系统，可实现智能化管理与监控，减少人工失误，确保光罩储存与使用的准确性。
● 无尘回风系统（FFU）光罩柜：确保光罩在洁净环境中储存，防止污染。
● ULPA滤网光罩柜：ULPA滤网能过滤99.999% 以上的微粒，为光罩提供极致的保护，特别适合半导体、光学和精密制程中的光罩储存。

博士門光罩柜系列，无论在精密储存、智能管理还是环境控制方面，都能为您的光罩提供最安全、最可靠的储存解决方案。

多样化储存解决方案，满足您的不同湿度需求

博士門光罩柜系列提供多种专业设计，满足不同光罩储存需求，无论是对湿度要求较低或较高的环境，我们都能提供最佳的解决方案。每款光罩柜都经过精心设计，确保光罩在稳定环境下得到妥善储存，避免外部污染或不良环境条件影响光罩品质。

主要特色与优势：

光罩平放柜
● 无控湿开方式层架设计，适合对湿度要求不高的光罩储存，提供简单且高效的储存方式。
● 适用于一般环境下，对湿度控制要求较低的光罩储存需求。
● 开放式层架设计可方便存取光罩，增加操作便利性。

密闭光罩存放
● 整层控湿密闭层架设计，适合对湿度要求较高的光罩储存，提供稳定湿度环境，有效防止湿气对光罩的损害。
● 完全密闭的设计能够防止外界湿气的影响，确保储存空间的湿度稳定，适合对环境要求高的光罩或敏感物品。

独立储位光罩存放
● 单独控湿的密闭层架设计，适合存放不同湿度要求的光罩盒，能够为每个储位提供专属的湿度控制。
● 适用于需要多样化湿度控制的环境，可以根据每个光罩盒的具体要求提供最佳的湿度条件，实现精确的储存环境控制。

为什么选择博士門光罩柜系列？

● 多种设计选择：根据光罩的湿度需求，提供无控湿、控湿或单独控湿的设计，满足不同环境条件。
● 精确环境控制：专业设计能够有效维持储存环境的稳定性，避免外部因素对光罩造成污染、氧化或损坏。
● 适用于多种光罩应用：适合半导体、光学、精密仪器及其他高精度制程中的光罩储存。

博士門光罩柜系列以其先进的控湿技术、灵活的设计方案和高效的环境控制能力，成为精密光罩储存和保护的理想选择，确保光罩在长期储存过程中保持最佳状态。