光罩柜

精确湿度控制,确保光罩稳定储存/ 提供挂画架、展示柜、环境控湿设备的整合解决方案。

博士門光罩柜系列专为高精密光罩储存需求设计,提供全方位的湿度控制解决方案。

光罩柜

精确湿度控制,确保光罩稳定储存

博士門光罩柜专为高精密光罩储存需求设计,提供全方位的湿度控制解决方案。无论是防潮、防尘、温控、真空或抗静电光罩盒需求,每款光罩储存柜均可根据光罩盒的形式量身定制,适应不同环境需求,提供最佳储存环境,确保光罩长期稳定、高效运行。


博士門高效率光罩储存方案:节省气体、提升效率,专为半导体与光学产业设计

此外,我们的光罩柜系列还具备先进的单独储位充气与整间储位充气设计,支持氮气与CDA气体的填充,以满足不同科技厂原有设备匹配需求,达到湿度值自动停止填充,经过工研院测试,这些设计可节省80%以上的氮气流量,大幅提升储存效率并降低运营成本。

● 智慧管理光罩柜:配有RFID管理系统,可实现智能化管理与监控,减少人工失误,确保光罩储存与使用的准确性。
● 无尘回风系统(FFU)光罩柜:确保光罩在洁净环境中储存,防止污染。
● ULPA滤网光罩柜:ULPA滤网能过滤99.999% 以上的微粒,为光罩提供极致的保护,特别适合半导体、光学和精密制程中的光罩储存。
 
博士門光罩柜系列,无论在精密储存、智能管理还是环境控制方面,都能为您的光罩提供最安全、最可靠的储存解决方案。

多样化储存解决方案,满足您的不同湿度需求

博士門光罩柜系列提供多种专业设计,满足不同光罩储存需求,无论是对湿度要求较低或较高的环境,我们都能提供最佳的解决方案。每款光罩柜都经过精心设计,确保光罩在稳定环境下得到妥善储存,避免外部污染或不良环境条件影响光罩品质。

主要特色与优势:

光罩平放柜
● 无控湿开方式层架设计,适合对湿度要求不高的光罩储存,提供简单且高效的储存方式。
● 适用于一般环境下,对湿度控制要求较低的光罩储存需求。
● 开放式层架设计可方便存取光罩,增加操作便利性。
 
密闭光罩存放
● 整层控湿密闭层架设计,适合对湿度要求较高的光罩储存,提供稳定湿度环境,有效防止湿气对光罩的损害。
● 完全密闭的设计能够防止外界湿气的影响,确保储存空间的湿度稳定,适合对环境要求高的光罩或敏感物品。
 
独立储位光罩存放
● 单独控湿的密闭层架设计,适合存放不同湿度要求的光罩盒,能够为每个储位提供专属的湿度控制。
● 适用于需要多样化湿度控制的环境,可以根据每个光罩盒的具体要求提供最佳的湿度条件,实现精确的储存环境控制。

为什么选择博士門光罩柜系列?

● 多种设计选择:根据光罩的湿度需求,提供无控湿、控湿或单独控湿的设计,满足不同环境条件。
● 精确环境控制:专业设计能够有效维持储存环境的稳定性,避免外部因素对光罩造成污染、氧化或损坏。
● 适用于多种光罩应用:适合半导体、光学、精密仪器及其他高精度制程中的光罩储存。
 
博士門光罩柜系列以其先进的控湿技术、灵活的设计方案和高效的环境控制能力,成为精密光罩储存和保护的理想选择,确保光罩在长期储存过程中保持最佳状态。

光罩柜

  • 展示:
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光罩储存氮气柜 - 光罩储存氮气柜,提供光罩稳定的无尘存放环境。
光罩储存氮气柜
BM1133-2

在半导体与光电制程中,任何微小的污染都可能导致整批晶圆报废,特别是光罩储存环节的环境控管更是不容忽视。博士門光罩储存氮气柜专为高阶制程需求打造,提供稳定洁净的低湿氮气环境,有效降低光罩表面化学污染、静电损伤与微粒附着风险,进一步提升制程良率与产品可靠度。

细节
精密洁净奈米级光罩储存氮气柜 - 精密洁净奈米级光罩储存氮气柜,提供光罩稳定的无尘存放环境。
精密洁净奈米级光罩储存氮气柜
BM1238, BM1273

精密洁净奈米级光罩储存氮气柜专为先进半导体制程与奈米级光罩储存需求设计,提供Class...

细节
无尘回风洁净光罩储存氮气柜 - 光无尘回风洁净光罩储存氮气柜专为精密光罩的保存设计,提供洁净、稳定的光罩储存环境。
无尘回风洁净光罩储存氮气柜
BM1277

光无尘回风洁净光罩储存氮气柜是专为半导体及光电产业设计的高洁净度储存设备,有效保护Reticle...

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多用途光罩储存氮气柜 - 用途光罩储存氮气柜专为精密光罩的保存设计,提供洁净、稳定的光罩储存环境。
多用途光罩储存氮气柜
BM1296-2

光罩是将积体电路的各种电路设计图案转印到晶圆上的关键模具,对晶圆生产至关重要,经由微影技术,光罩将设计图案缩小并透过曝光反映于晶圆上,如果光罩品质出现缺陷,这些缺陷将被复制到晶圆的每个晶粒上,直接影响晶圆的良率。   随着微影技术的进步,光罩图案越来越精细,光罩污染及良率损失的风险也随之增加,倍缩光罩的涂层特别精细且易受损,外来的粉尘与化学残留物,都是潜在的污染源,对光罩品质构成威胁。   除了光罩本身的制造品质,光罩的保存方式也极为重要,为了确保光罩的长期稳定性,通常会将光罩存放在洁净的氮气柜中,藉由氮气清除光罩上的化学污染,并保持适当的湿度环境。   我们的多用途光罩储存氮气柜专为满足不同客户需求而设计,具备高效、智能的储存解决方案,特别适合需要高度精密环境的光罩与晶圆传送盒

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RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜 - RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜通过高效的回风系统,持续过滤并循环洁净空气。
RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜
BM1305

回风功能是指空气循环系统中的一部分,将室内空气吸回并经过过滤后再进行排放或循环使用,此系统可有效保持储存环境中的空气洁净,特别是在需要高洁净度的场所(如光罩储存柜)中,对于过滤极细粉尘和有害物质至关重要。 在RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜中,回风系统会将柜内的空气吸入并过滤,去除其中的污染物,保证光罩处于洁净、无尘的环境,从而降低光罩受损和污染的风险,确保其品质稳定。

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开放式9寸光罩储存柜 - 开放式9寸光罩储存柜,提供光罩盒整齐摆放便捷拿取储存空间。
开放式9寸光罩储存柜
BM1307

这款光罩柜为开放式设计,专为存放光罩盒而打造。此产品不具备控湿功能,也不提供氮气填充,因此适用于对环境要求较低的存储需求,9吋光罩盒储物架提供有效空间管理,方便存取光罩盒,适用于一般储存用途,无需额外的气体或湿度控制系统。

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RFID无尘光罩储存氮气柜 - 内部氮气流量可调节,无尘设计保护光罩免受湿气和氧化影响。
RFID无尘光罩储存氮气柜
BM1324-2

RFID无尘光罩储存氮气柜为光罩提供最佳保护,并在洁净、受控的环境中储存。通过氮气充填来防止湿气和氧化,从而保持光罩的品质并延长其使用寿命。无尘设计确保储存空间无污染,避免外界颗粒进入。 配备RFID技术,该柜能够轻松跟踪和管理光罩,提高库存效率。可调节的氮气流量让使用者能够根据具体需求定制储存条件,保持稳定的低氧环境。   这款无尘光罩储存柜是高精度行业的理想选择,保证安全可靠的光罩储存,并有效防止环境因素造成损害。凭借其先进的功能,它是无污染光罩储存的必备解决方案。

细节
RFID光罩储存干燥空气柜 - RFID光罩储存干燥空气柜实现了对光罩的自动辨识、追踪和管理。
RFID光罩储存干燥空气柜
BM1481-1

RFID光罩储存干燥空气柜(RFID Mask Box)是一种用于半导体产业的设备,专门设计用于储存和管理光罩(Mask)的工具。 光罩是半导体制造过程中用于曝光的重要元件,它们用于在光刻过程中定义电路图案。由于光罩非常精密且昂贵,必须确保其安全存放和精确管理。 RFID光罩储存干燥空气柜透过采用无线射频辨识(RFID)技术,实现了对光罩的自动辨识、追踪和管理。

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开放式9寸RFID光罩储存柜 - 简单而高效的光罩储存系统,适用于高频繁的操作环境。
开放式9寸RFID光罩储存柜
PS0001

开放式9寸RFID光罩储存柜-简单而高效的光罩储存系统,适用于高频繁的操作开放式9寸RFID光罩储存柜设计简单而高效,专为高频繁操作环境中的光罩储存需求而打造。开放式架构方便快速存取,提升工作效率,并有效减少操作过程中的繁琐。 配备RFID进出管理系统,可实现精确的光罩追踪与管理,确保每次取用和存放都能轻松记录,提升管理精度与安全性。 此光罩储存架不具备控湿功能,适合需求较为宽松的环境,提供基本的储存空间,不含额外的湿度控制系统,适用于一般储放环境。

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博士門光罩柜介绍

博士門股份有限公司是台湾一家拥有超过30年经验的专业光罩柜生产服务商。 我们成立于西元1993年, 在电子零组件制造业领域上,博士門提供专业高品质的光罩柜制造服务,博士門结合先进的检测设备,进行全面的品质检验与测试,包括尺寸精度、功能测试、耐久性检验等,确保产品符合客户需求和市场规范。