当FFU（可程式过滤风车组）启动时，系统自动开启XCDA（极度干燥空气）进气，确保干燥洁净气体流入储存区。氮气经过纯化器处理后分层导入各光罩盒，并于出气端配置温湿度感测器，即时监控储存环境，确保氮气流通与湿度稳定。 FFU可根据氧浓度自动调节启动条件，搭配ULPA空气过滤网，有效过滤超细微粒，达成Class 1洁净度标准。
本产品适用于EUV光罩、先进逻辑与记忆体制程、高阶封装、光电元件与MEMS制造等产业，是确保高良率与稳定供应链的关键设备。模组化设计可依需求扩充，兼具高效、节能与智能管理功能。

产品特性

● 材质与设计：采用不锈钢SUS 304亮面材质，具防腐蚀功能，并设有玻璃视窗、高载重刹车轮及水平脚垫，提供稳定且耐用的结构设计。
● 氮气流量调节：进气源可选择氮气及XCDA（干燥空气），提供灵活的气源选择。
● 光罩储放取出管理：配备门禁刷卡及RFID程控系统，有效管理光罩的存取操作，提升安全性及精确度。
● 独立氮气流量监控：每个光罩盒均可独立监控氮气流量并回报数据，采用超环保节能设计，降低不必要的氮气消耗。
● 柜体设计：
安装了ULPA网及化学滤网，采用正压防尘洁净设计，有效防止污染物进入。
温湿度监控：可设定、纪录、警报及偏移校正温湿度，并支援湿度调整范围5% - 60%RH。
警示功能：当光罩盒放入及取出异常时，系统会发出警报并记录事件，确保操作流程无误。
安全模式：配备门扇开门时间过长警报、湿气过高警报及氧浓度过高警报，提供全方位的安全保障。
电源规格：支援110V/240V，50-60Hz电源，符合国际标准，适用于各种工业需求。
供气系统:当FFU风量启动时，XCDA进气会自动启动，确保干燥空气流入系统。
氮气(N2) 进气启动与确认：氮气经过氮气纯化器过滤后，分层分流进入各个光罩盒。出气管路配备温湿度感测器，监控氮气流出状况，确保光罩储存环境稳定。
可程式过滤风车组(FFU)：使用氧浓度数值来设定FFU启动条件，实现精确的空气过滤与流通。
化学过滤网：能有效过滤干燥空气中的碳酸根离子、硫化物、氨气等化学污染气体，保护光罩免受污染。
空气过滤网(ULPA)：可过滤极细粉尘，达到Class 1等级，提供无尘环境。
氮气纯化器：能过滤氮气中的碳酸根离子、硫化物、氨气等化学污染气体，确保储存环境达到最纯净状态。

产品优势

• 奈米级洁净储存环境，守护光罩品质：采用ULPA高效过滤系统，达Class 1无尘等级，有效隔绝空气中微粒与污染物，确保光罩在储存期间不受外部环境影响。
• 自动气体控制，湿度与洁净度双重稳定：XCDA自动进气与氮气纯化分流设计，搭配温湿度感测与O₂浓度控制，全天候监控与调节储存条件，避免光罩因湿气、氧气而劣化。
• 节能高效运作，降低氮气耗损：内建智慧型FFU控制系统，可依实际氧浓度条件启动风车，并以模组化设计优化气流路径，达到氮气节省与能源效率最大化。
• 多元产业应用，弹性扩充设计：可应用于半导体、光电、EUV、高阶封装等场域，柜体支援客制化与模组扩充，满足不同制程与储存需求，是洁净室设备的最佳选择。

相片集

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  精密洁净奈米级光罩，采用不锈钢SUS 304亮面材质，具防腐蚀功能，可以存放8个RSP200或EVU POD光罩盒。

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  BM1273精密洁净奈米级光罩储存氮气柜。

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  精密洁净奈米级光罩，具防腐蚀功能，可以存放40个RSP200或EVU POD光罩盒。

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  软体独立氮气流量监控，每个光罩盒均可独立监控氮气流量并回报数据，采用超环保节能设计。

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  精密洁净奈米级光罩配备取出管理，配备门禁刷卡及RFID程控系统。

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  精密洁净奈米级光罩，安装了ULPA网及化学滤网，采用正压防尘洁净设计。

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