Gabinete de Nitrogênio para Pod de Retícula em Nanoscale – Controle de Umidade de Precisão pela BOSSMEN
Projetado para armazenamento avançado de semicondutores e fotomáscaras EUV, este armário fornece um ambiente de nitrogênio limpo Classe 1, com baixa umidade, para proteger as máscaras da contaminação, danos e oxidação.
Gabinete de Nitrogênio para Pod de Retícula em Nanoscale
BM1238, BM1273
Sistema de Armazenamento de Retículas Livre de Poeira, Armário de Armazenamento de Retículas Limpo de Alta Eficiência
Projetado para armazenamento avançado de semicondutores e fotomáscaras EUV, este armário fornece um ambiente de nitrogênio limpo Classe 1, com baixa umidade, para proteger as máscaras da contaminação, danos e oxidação.
Com fluxo de ar automatizado XCDA, controle de FFU baseado em oxigênio e distribuição de nitrogênio em múltiplas camadas, garante condições de armazenamento estáveis. A filtração ULPA integrada e o monitoramento em tempo real de umidade / temperatura protegem a qualidade das máscaras.
Ideal para fábricas de EUV, lógica e memória, embalagem avançada e MEMS. Modular e energeticamente eficiente, é uma solução chave para produção de alta produtividade e alta confiabilidade.
Recursos
- Material e Design: Feito de aço inoxidável SUS 304 com superfície polida, oferecendo resistência à corrosão. Equipado com uma janela de vidro, rodas de freio de alta carga e pés niveladores para proporcionar um design estrutural estável e durável.
- Ajuste do Fluxo de Nitrogênio: A fonte de entrada de ar pode ser escolhida entre nitrogênio e XCDA (ar seco), proporcionando opções flexíveis de fonte de gás.
- Gerenciamento de Armazenamento e Acesso a Retículas: Equipado com leitores de cartão de controle de acesso e um sistema programável RFID para gerenciar efetivamente as operações de armazenamento e recuperação de retículas, melhorando a segurança e a precisão.
- Monitoramento Independente do Fluxo de Nitrogênio: Cada módulo de retícula pode monitorar independentemente o fluxo de nitrogênio e relatar dados, utilizando um design ecológico de economia de energia para reduzir o consumo desnecessário de nitrogênio.
- Design do Armário: Equipado com filtros ULPA e filtros químicos, apresentando um design limpo à prova de poeira com pressão positiva para prevenir efetivamente a entrada de contaminantes.
- Monitoramento de Temperatura e Umidade: Permite a configuração, registro, alarme e calibração de compensação de temperatura e umidade, com uma faixa de ajuste de umidade de 5%-60% RH.
- Função de Alarme: Quando há uma anomalia durante a colocação ou remoção de módulos de retícula, o sistema acionará um alarme e registrará o evento para garantir a operação adequada.
- Modo de Segurança: Equipado com alarmes para tempo de abertura de porta excedendo limites, alta umidade e concentração excessiva de oxigênio, proporcionando proteção abrangente de segurança.
- Especificações de Energia: Suporta fonte de alimentação de 110V/240V, 50-60Hz, atendendo a padrões internacionais e adequado para diversas necessidades industriais.
- Sistema de Fornecimento de Gás: Quando o fluxo de ar do FFU é ativado, a entrada do XCDA inicia automaticamente, garantindo que o ar seco flua para o sistema.
- Ingestão e Confirmação de Nitrogênio (N2): O nitrogênio passa pelo purificador de nitrogênio e é então distribuído em camadas em cada cápsula de retículo. O tubo de saída é equipado com sensores de temperatura e umidade para monitorar o fluxo de nitrogênio e garantir condições de armazenamento estáveis para as fotomáscaras.
- Unidade de Ventilador com Filtro Programável (FFU): A condição de ativação do FFU é definida com base nos níveis de concentração de oxigênio, garantindo filtração e circulação de ar precisas.
- Filtro Químico: Filtra efetivamente contaminantes químicos como íons carbonato, sulfetos e amônia no ar seco, protegendo as fotomáscaras da poluição.
- Filtro de Ar (ULPA): Capaz de filtrar partículas ultrafinas, alcançando o nível de limpeza Classe 1, proporcionando um ambiente livre de poeira.
- Purificador de Nitrogênio: Filtra contaminantes químicos como íons carbonato, sulfetos e amônia do nitrogênio, garantindo que o ambiente de armazenamento permaneça em seu estado mais puro.
Benefício
- Ambiente de Armazenamento Limpo em Escala Nanométrica para Proteger a Qualidade da Fotomáscara: Equipado com um sistema de filtragem de alta eficiência ULPA, alcançando limpeza de Classe 1, isolando efetivamente partículas e contaminantes no ar para garantir que as fotomáscaras permaneçam inalteradas por fatores ambientais externos durante o armazenamento.
- Controle Automatizado de Gás para Umidade e Limpeza Estáveis: O design de distribuição de entrada automática e purificação de nitrogênio do XCDA, combinado com sensores de temperatura, umidade e controle de concentração de O₂, monitora e ajusta continuamente as condições de armazenamento para prevenir a degradação da fotomáscara devido à umidade ou exposição ao oxigênio.
- Operação Eficiente em Energia para Reduzir o Consumo de Nitrogênio: O sistema de controle inteligente FFU embutido é ativado com base na concentração de oxigênio em tempo real, e o design modular otimiza os caminhos de fluxo de ar, maximizando a economia de nitrogênio e a eficiência energética.
Especificações do Produto
| Modelo | Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Nanoscale BM1283-2 |
Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Nanoscale BM1273 |
|---|---|---|
| Dimensões Externas (mm) | L2800 x A2150 x P750 | L1800 x A2071 x P550 |
| Conteúdos Armazenados | RSP200 ou EVU POD | |
| Exibição de Temperatura | 0,1°C ~ 99,9°C ± 1°C | |
| Faixa de Controle de Umidade | 5%RH ~ 60% ± 3%RH | |
| Capacidade | 40PCS | 8PCS |
| Voltagem | 110V/240V | |
| Frequência | 50Hz/60Hz | |
- Galeria
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Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Escala Nanométrica BM1273. -
O Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Escala Nanométrica é adequado para armazenar caixas de retículo RSP200 ou EVU POD. -
O Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Escala Nanométrica é feito de aço inoxidável SUS 304 com resistência à corrosão. -
Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Escala Nanométrica BM1238. -
O Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Escala Nanométrica possui sistema RFID para gerenciar o armazenamento e a recuperação de retículos. -
O Armário de Nitrogênio para Pod de Retículo em Escala Nanométrica possui filtros ULPA e químicos.
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Descubra como o Gabinete de Nitrogênio para Pod de Retícula em Nanoscale melhora a produtividade e a preservação no seu fluxo de trabalho.Cada unidade reflete os trinta anos de experiência da BOSSMEN em controle de umidade, combinando inovação, segurança e valor mensurável para aplicações industriais e laboratoriais.