Con flujo de aire XCDA automatizado, control de FFU basado en oxígeno y distribución de nitrógeno en múltiples capas, asegura condiciones de almacenamiento estables. La filtración ULPA integrada y el monitoreo en tiempo real de humedad / temperatura protegen la calidad de las máscaras.
Ideal para fábricas de EUV, lógica y memoria, empaquetado avanzado y MEMS. Modular y eficiente en energía, es una solución clave para la producción de alto rendimiento y alta fiabilidad.

Características

• Material y Diseño: Hecho de acero inoxidable SUS 304 con una superficie pulida, que ofrece resistencia a la corrosión. Equipado con una ventana de vidrio, ruedas de freno de alta carga y patas niveladoras para proporcionar un diseño estructural estable y duradero.
• Ajuste del Flujo de Nitrógeno: La fuente de entrada de aire se puede elegir entre nitrógeno y XCDA (aire seco), proporcionando opciones flexibles de fuente de gas.
• Gestión de Almacenamiento y Acceso a Retículas: Equipado con lectores de tarjetas de control de acceso y un sistema programable RFID para gestionar eficazmente las operaciones de almacenamiento y recuperación de retículas, mejorando la seguridad y la precisión.
• Monitoreo Independiente del Flujo de Nitrógeno: Cada cápsula de retícula puede monitorear de forma independiente el flujo de nitrógeno y reportar datos, utilizando un diseño ecológico de ahorro de energía para reducir el consumo innecesario de nitrógeno.
• Diseño del Gabinete: Equipado con filtros ULPA y filtros químicos, con un diseño limpio a prueba de polvo de presión positiva para prevenir eficazmente la entrada de contaminantes.
• Monitoreo de Temperatura y Humedad: Permite la configuración, registro, alarma y calibración de compensación de temperatura y humedad, con un rango de ajuste de humedad del 5%-60% HR.
• Función de Alarma: Cuando hay una anomalía durante la colocación o extracción de cápsulas de retícula, el sistema activará una alarma y registrará el evento para asegurar un funcionamiento adecuado.
• Modo de Seguridad: Equipado con alarmas por tiempo de apertura de puerta que excede los límites, alta humedad y concentración excesiva de oxígeno, proporcionando una protección de seguridad integral.
• Especificaciones de Potencia: Soporta suministro de energía de 110V/240V, 50-60Hz, cumpliendo con estándares internacionales y adecuado para diversas necesidades industriales.
• Sistema de Suministro de Gas: Cuando se activa el flujo de aire del FFU, la entrada XCDA se inicia automáticamente, asegurando que el aire seco fluya hacia el sistema.
• Ingesta y Confirmación de Nitrógeno (N2): El nitrógeno pasa a través del purificador de nitrógeno y luego se distribuye en cada pod de retícula en capas. La tubería de salida está equipada con sensores de temperatura y humedad para monitorear el flujo de nitrógeno y garantizar condiciones de almacenamiento estables para las fotomáscaras.
• Unidad de Ventilador de Filtro Programable (FFU): La condición de activación del FFU se establece en función de los niveles de concentración de oxígeno, asegurando una filtración y circulación de aire precisas.
• Filtro Químico: Filtra eficazmente contaminantes químicos como iones de carbonato, sulfuros y amoníaco en el aire seco, protegiendo las fotomáscaras de la contaminación.
• Filtro de Aire (ULPA): Capaz de filtrar partículas ultrafinas, logrando un nivel de limpieza de Clase 1, proporcionando un ambiente libre de polvo.
• Purificador de Nitrógeno: Filtra contaminantes químicos como iones de carbonato, sulfuros y amoníaco del nitrógeno, asegurando que el entorno de almacenamiento permanezca en su estado más puro.

Beneficio

• Entorno de almacenamiento limpio a nanoescala para proteger la calidad de las fotomáscaras: Equipado con un sistema de filtración de alta eficiencia ULPA, logrando limpieza de Clase 1, aislando efectivamente partículas y contaminantes en el aire para asegurar que las fotomáscaras permanezcan sin afectar por factores ambientales externos durante el almacenamiento.
• Control de gas automatizado para una humedad y limpieza estables: El diseño de distribución de entrada automática y purificación de nitrógeno XCDA, combinado con sensores de temperatura, humedad y control de concentración de O₂, monitorea y ajusta continuamente las condiciones de almacenamiento para prevenir la degradación de la fotomáscara debido a la exposición a la humedad o al oxígeno.
• Operación Eficiente en Energía para Reducir el Consumo de Nitrógeno: El sistema de control inteligente FFU incorporado se activa en función de la concentración de oxígeno en tiempo real, y el diseño modular optimiza las rutas de flujo de aire, maximizando el ahorro de nitrógeno y la eficiencia energética.

Galería

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  Armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala BM1273.

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  El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala es adecuado para almacenar cajas de retícula RSP200 o EVU POD.

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  El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala está hecho de acero inoxidable SUS 304 con resistencia a la corrosión.

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  Armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala BM1238.

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  El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala cuenta con un sistema RFID para gestionar el almacenamiento y recuperación de retículas.

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  El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala cuenta con filtros ULPA y químicos.