Gabinete de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala – Control de Humedad de Precisión por BOSSMEN
Diseñado para el almacenamiento de fotomáscaras de semiconductores avanzados y EUV, este gabinete proporciona un ambiente de nitrógeno limpio de Clase 1 y baja humedad para proteger las máscaras de la contaminación, daños y oxidación.
Gabinete de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala
BM1238, BM1273
Sistema de Almacenamiento de Retículas Libre de Polvo, Gabinete de Almacenamiento de Retículas Limpias de Alta Eficiencia
Diseñado para el almacenamiento de fotomáscaras de semiconductores avanzados y EUV, este gabinete proporciona un ambiente de nitrógeno limpio de Clase 1 y baja humedad para proteger las máscaras de la contaminación, daños y oxidación.
Con flujo de aire XCDA automatizado, control de FFU basado en oxígeno y distribución de nitrógeno en múltiples capas, asegura condiciones de almacenamiento estables. La filtración ULPA integrada y el monitoreo en tiempo real de humedad / temperatura protegen la calidad de las máscaras.
Ideal para fábricas de EUV, lógica y memoria, empaquetado avanzado y MEMS. Modular y eficiente en energía, es una solución clave para la producción de alto rendimiento y alta fiabilidad.
Características
- Material y Diseño: Hecho de acero inoxidable SUS 304 con una superficie pulida, que ofrece resistencia a la corrosión. Equipado con una ventana de vidrio, ruedas de freno de alta carga y patas niveladoras para proporcionar un diseño estructural estable y duradero.
- Ajuste del Flujo de Nitrógeno: La fuente de entrada de aire se puede elegir entre nitrógeno y XCDA (aire seco), proporcionando opciones flexibles de fuente de gas.
- Gestión de Almacenamiento y Acceso a Retículas: Equipado con lectores de tarjetas de control de acceso y un sistema programable RFID para gestionar eficazmente las operaciones de almacenamiento y recuperación de retículas, mejorando la seguridad y la precisión.
- Monitoreo Independiente del Flujo de Nitrógeno: Cada cápsula de retícula puede monitorear de forma independiente el flujo de nitrógeno y reportar datos, utilizando un diseño ecológico de ahorro de energía para reducir el consumo innecesario de nitrógeno.
- Diseño del Gabinete: Equipado con filtros ULPA y filtros químicos, con un diseño limpio a prueba de polvo de presión positiva para prevenir eficazmente la entrada de contaminantes.
- Monitoreo de Temperatura y Humedad: Permite la configuración, registro, alarma y calibración de compensación de temperatura y humedad, con un rango de ajuste de humedad del 5%-60% HR.
- Función de Alarma: Cuando hay una anomalía durante la colocación o extracción de cápsulas de retícula, el sistema activará una alarma y registrará el evento para asegurar un funcionamiento adecuado.
- Modo de Seguridad: Equipado con alarmas por tiempo de apertura de puerta que excede los límites, alta humedad y concentración excesiva de oxígeno, proporcionando una protección de seguridad integral.
- Especificaciones de Potencia: Soporta suministro de energía de 110V/240V, 50-60Hz, cumpliendo con estándares internacionales y adecuado para diversas necesidades industriales.
- Sistema de Suministro de Gas: Cuando se activa el flujo de aire del FFU, la entrada XCDA se inicia automáticamente, asegurando que el aire seco fluya hacia el sistema.
- Ingesta y Confirmación de Nitrógeno (N2): El nitrógeno pasa a través del purificador de nitrógeno y luego se distribuye en cada pod de retícula en capas. La tubería de salida está equipada con sensores de temperatura y humedad para monitorear el flujo de nitrógeno y garantizar condiciones de almacenamiento estables para las fotomáscaras.
- Unidad de Ventilador de Filtro Programable (FFU): La condición de activación del FFU se establece en función de los niveles de concentración de oxígeno, asegurando una filtración y circulación de aire precisas.
- Filtro Químico: Filtra eficazmente contaminantes químicos como iones de carbonato, sulfuros y amoníaco en el aire seco, protegiendo las fotomáscaras de la contaminación.
- Filtro de Aire (ULPA): Capaz de filtrar partículas ultrafinas, logrando un nivel de limpieza de Clase 1, proporcionando un ambiente libre de polvo.
- Purificador de Nitrógeno: Filtra contaminantes químicos como iones de carbonato, sulfuros y amoníaco del nitrógeno, asegurando que el entorno de almacenamiento permanezca en su estado más puro.
Beneficio
- Entorno de almacenamiento limpio a nanoescala para proteger la calidad de las fotomáscaras: Equipado con un sistema de filtración de alta eficiencia ULPA, logrando limpieza de Clase 1, aislando efectivamente partículas y contaminantes en el aire para asegurar que las fotomáscaras permanezcan sin afectar por factores ambientales externos durante el almacenamiento.
- Control de gas automatizado para una humedad y limpieza estables: El diseño de distribución de entrada automática y purificación de nitrógeno XCDA, combinado con sensores de temperatura, humedad y control de concentración de O₂, monitorea y ajusta continuamente las condiciones de almacenamiento para prevenir la degradación de la fotomáscara debido a la exposición a la humedad o al oxígeno.
- Operación Eficiente en Energía para Reducir el Consumo de Nitrógeno: El sistema de control inteligente FFU incorporado se activa en función de la concentración de oxígeno en tiempo real, y el diseño modular optimiza las rutas de flujo de aire, maximizando el ahorro de nitrógeno y la eficiencia energética.
Especificaciones del Producto
| Modelo | Gabinete de Nitrógeno para Pod de Retícula a Nanoescala BM1283-2 |
Gabinete de Nitrógeno para Pod de Retícula a Nanoescala BM1273 |
|---|---|---|
| Dimensiones Externas (mm) | W2800 x H2150 x D750 | W1800 x H2071 x D550 |
| Contenidos Almacenados | RSP200 o EVU POD | |
| Pantalla de Temperatura | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C | |
| Rango de Control de Humedad | 5%RH ~ 60% ± 3%RH | |
| Capacidad | 40PCS | 8PCS |
| Voltaje | 110V/240V | |
| Frecuencia | 50Hz/60Hz | |
- Galería
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Armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala BM1273. -
El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala es adecuado para almacenar cajas de retícula RSP200 o EVU POD. -
El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala está hecho de acero inoxidable SUS 304 con resistencia a la corrosión. -
Armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala BM1238. -
El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala cuenta con un sistema RFID para gestionar el almacenamiento y la recuperación de retículas. -
El armario de nitrógeno para pod de retícula a nanoescala cuenta con filtros ULPA y químicos.
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