Construido con materiales antiestáticos y una construcción hermética, cumple con los estándares de sala limpia de Clase 100 o mejores. El control automatizado de nitrógeno y el monitoreo de presión diferencial mejoran la eficiencia y extienden la vida útil del retículo.
Se encuentran disponibles tamaños personalizados e integración MES para aplicaciones de fábricas inteligentes.

Características

• Material y Diseño: Hecho de acero inoxidable SUS 304 con un acabado brillante, que ofrece resistencia a la corrosión y oxidación. Está equipado con patas de goma antideslizantes y amortiguadoras para una estructura robusta y durabilidad a largo plazo.
• Control de Humedad de Alta Precisión: Monitoreo en tiempo real a través de una pantalla digital LED, con una precisión de humedad de hasta 3% HR. El rango de humedad se puede establecer de 1% a 60% HR, y el control automático del flujo de gas ayuda a lograr efectos de ahorro de energía, reduciendo efectivamente el consumo de energía.

Beneficio

• Equipado con estantes para un almacenamiento seguro: El almacenamiento de los pods de retícula es crucial. Nuestro producto cuenta con estantes robustos que proporcionan un entorno de almacenamiento seguro y estable, asegurando la integridad de las retículas.
• Llenado de nitrógeno: La tecnología de llenado de nitrógeno reduce la humedad en el espacio de almacenamiento, previniendo eficazmente daños por humedad a las retículas y extendiendo su vida útil.
• Monitoreo de temperatura y humedad para un entorno estable: Un sistema de monitoreo de temperatura y humedad de alta precisión incorporado detecta constantemente los cambios ambientales para asegurar condiciones óptimas de almacenamiento para las retículas.
• Tratamiento limpio FFU y ULPA: Se utilizan tecnologías avanzadas de filtración FFU y ULPA para proporcionar un espacio de almacenamiento ultra limpio, evitando que cualquier contaminante afecte la calidad de las retículas.
• Diseño Inclinado para Seguridad Antideslizante: Las estanterías del gabinete están diseñadas con una inclinación hacia atrás, lo que previene eficazmente que los retículos se deslicen, asegurando que cada retículo se almacene de manera segura.

Galería

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  Gabinete de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula BM1277 con FFU y filtro ULPA.

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  El gabinete de nitrógeno para pod de retícula utiliza filtros FFU y ULPA para proporcionar un espacio de almacenamiento limpio, protegiendo las fotomáscaras de la contaminación.

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  El gabinete de nitrógeno para pod de retícula tiene estantes inclinados que evitan que las fotomáscaras se deslicen, asegurando un almacenamiento seguro.