Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA – Control de Humedad de Precisión por BOSSMEN
El armario de almacenamiento de nitrógeno Reticle Pod con FFU y filtro ULPA está diseñado para proteger retículas y máscaras de la contaminación y la oxidación en salas limpias de semiconductores y fotónica. Cuenta con filtración ULPA, flujo de aire FFU y purga continua de nitrógeno para mantener un ambiente limpio, seco y libre de estática.
Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA
BM1277
Armario de almacenamiento de retículas de gas inerte (con FFU y filtro ULPA) Sistema de almacenamiento de pod de retícula de alta limpieza (tipo purgado con nitrógeno)
El armario de almacenamiento de nitrógeno Reticle Pod con FFU y filtro ULPA está diseñado para proteger retículas y máscaras de la contaminación y la oxidación en salas limpias de semiconductores y fotónica. Cuenta con filtración ULPA, flujo de aire FFU y purga continua de nitrógeno para mantener un ambiente limpio, seco y libre de estática.
Construido con materiales antiestáticos y una construcción hermética, cumple con los estándares de sala limpia de Clase 100 o mejores. El control automatizado de nitrógeno y el monitoreo de presión diferencial mejoran la eficiencia y extienden la vida útil del retículo.
Se encuentran disponibles tamaños personalizados e integración MES para aplicaciones de fábricas inteligentes.
Características
- Material y diseño: Hecho de acero inoxidable SUS 304 con un acabado brillante, ofreciendo resistencia a la corrosión y oxidación. Está equipado con pies de goma antideslizantes y amortiguadores para una estructura robusta y durabilidad a largo plazo.
- Control de Humedad de Alta Precisión: Monitoreo en tiempo real a través de una pantalla digital LED, con una precisión de humedad de hasta 3% HR. El rango de humedad se puede establecer de 1% a 60% HR, y el control automático del flujo de gas ayuda a lograr efectos de ahorro de energía, reduciendo efectivamente el consumo de energía.
Beneficio
- Equipado con estantes para un almacenamiento seguro: El almacenamiento de los pods de retícula es crucial. Nuestro producto cuenta con estantes robustos que proporcionan un entorno de almacenamiento seguro y estable, asegurando la integridad de las retículas.
- Llenado de nitrógeno: La tecnología de llenado de nitrógeno reduce la humedad en el espacio de almacenamiento, previniendo eficazmente daños por humedad a las retículas y extendiendo su vida útil.
- Monitoreo de temperatura y humedad para un entorno estable: Un sistema de monitoreo de temperatura y humedad de alta precisión incorporado detecta constantemente los cambios ambientales para asegurar condiciones óptimas de almacenamiento para las retículas.
- Tratamiento limpio FFU y ULPA: Se utilizan tecnologías avanzadas de filtración FFU y ULPA para proporcionar un espacio de almacenamiento ultra limpio, evitando que cualquier contaminante afecte la calidad de las retículas.
- Diseño inclinado para seguridad antideslizante: Los estantes del gabinete están diseñados con una inclinación hacia atrás, previniendo eficazmente que las retículas se deslicen, asegurando que cada retícula esté almacenada de forma segura.
Especificaciones del Producto
| Modelo | Gabinete de Nitrógeno para Pod de Retícula FFU + ULPA BM1277 |
|---|---|
| Dimensiones Externas (mm) | W2080 x H1000 x D550 |
| Contenidos Almacenados | Pod de retícula |
| Pantalla de Temperatura | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| Rango de Control de Humedad | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| Consumo de Energía | 16W |
| Capacidad | 66PCS |
| Voltaje | 110V/240V |
| Frecuencia | 50Hz/60Hz |
- Galería
Gabinete de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula BM1277 con FFU y filtro ULPA.
El gabinete de nitrógeno para pod de retícula utiliza filtros FFU y ULPA para proporcionar un espacio de almacenamiento limpio, protegiendo las fotomáscaras de la contaminación.
El gabinete de nitrógeno para pod de retícula tiene estantes inclinados que evitan que las fotomáscaras se deslicen, asegurando un almacenamiento seguro.
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El Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA está diseñado para proteger materiales sensibles, electrónica e instrumentos de daños por humedad.BOSSMEN integra sistemas avanzados de control de humedad para mantener niveles estables de HR, asegurando fiabilidad en la fabricación, laboratorios e instalaciones de investigación.
Diseñado con precisión y durabilidad, el Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA ofrece un rendimiento constante para entornos de almacenamiento y procesos a largo plazo.Desde salas limpias hasta laboratorios de calidad, los productos BOSSMEN ayudan a los usuarios a reducir la corrosión, la oxidación y los riesgos de ESD mientras mantienen el cumplimiento de estrictas normas ambientales.
Descubre cómo el Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA mejora la productividad y la preservación en tu flujo de trabajo.Cada unidad refleja los treinta años de experiencia en control de humedad de BOSSMEN, combinando innovación, seguridad y valor medible para aplicaciones industriales y de laboratorio.