Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA – Control de Humedad de Precisión por BOSSMEN
El armario de almacenamiento de nitrógeno Reticle Pod con FFU y filtro ULPA está diseñado para proteger retículas y máscaras de la contaminación y la oxidación en salas limpias de semiconductores y fotónica. Cuenta con filtración ULPA, flujo de aire FFU y purga continua de nitrógeno para mantener un ambiente limpio, seco y libre de estática.
Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA
BM1277
Armario de almacenamiento de retículas de gas inerte (con FFU y filtro ULPA) Sistema de almacenamiento de pod de retícula de alta limpieza (tipo purgado con nitrógeno)
El armario de almacenamiento de nitrógeno Reticle Pod con FFU y filtro ULPA está diseñado para proteger retículas y máscaras de la contaminación y la oxidación en salas limpias de semiconductores y fotónica. Cuenta con filtración ULPA, flujo de aire FFU y purga continua de nitrógeno para mantener un ambiente limpio, seco y libre de estática.
Construido con materiales antiestáticos y una construcción hermética, cumple con los estándares de sala limpia de Clase 100 o mejores. El control automatizado de nitrógeno y el monitoreo de presión diferencial mejoran la eficiencia y extienden la vida útil del retículo.
Se encuentran disponibles tamaños personalizados e integración MES para aplicaciones de fábricas inteligentes.
Características
- Material y diseño: Hecho de acero inoxidable SUS 304 con un acabado brillante, ofreciendo resistencia a la corrosión y oxidación. Está equipado con pies de goma antideslizantes y amortiguadores para una estructura robusta y durabilidad a largo plazo.
- Control de Humedad de Alta Precisión: Monitoreo en tiempo real a través de una pantalla digital LED, con una precisión de humedad de hasta 3% HR. El rango de humedad se puede establecer de 1% a 60% HR, y el control automático del flujo de gas ayuda a lograr efectos de ahorro de energía, reduciendo efectivamente el consumo de energía.
Beneficio
- Equipado con estantes para un almacenamiento seguro: El almacenamiento de los pods de retícula es crucial. Nuestro producto cuenta con estantes robustos que proporcionan un entorno de almacenamiento seguro y estable, asegurando la integridad de las retículas.
- Llenado de nitrógeno: La tecnología de llenado de nitrógeno reduce la humedad en el espacio de almacenamiento, previniendo eficazmente daños por humedad a las retículas y extendiendo su vida útil.
- Monitoreo de temperatura y humedad para un entorno estable: Un sistema de monitoreo de temperatura y humedad de alta precisión incorporado detecta constantemente los cambios ambientales para asegurar condiciones óptimas de almacenamiento para las retículas.
- Tratamiento limpio FFU y ULPA: Se utilizan tecnologías avanzadas de filtración FFU y ULPA para proporcionar un espacio de almacenamiento ultra limpio, evitando que cualquier contaminante afecte la calidad de las retículas.
- Diseño inclinado para seguridad antideslizante: Los estantes del gabinete están diseñados con una inclinación hacia atrás, previniendo eficazmente que las retículas se deslicen, asegurando que cada retícula esté almacenada de forma segura.
Especificaciones del Producto
| Modelo | Gabinete de Nitrógeno para Pod de Retícula FFU + ULPA BM1277 |
|---|---|
| Dimensiones Externas (mm) | W2080 x H1000 x D550 |
| Contenidos Almacenados | Pod de retícula |
| Pantalla de Temperatura | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| Rango de Control de Humedad | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| Consumo de Energía | 16W |
| Capacidad | 66PCS |
| Voltaje | 110V/240V |
| Frecuencia | 50Hz/60Hz |
- Galería
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Gabinete de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula BM1277 con FFU y filtro ULPA. -
El gabinete de nitrógeno para pod de retícula utiliza filtros FFU y ULPA para proporcionar un espacio de almacenamiento limpio, protegiendo las fotomáscaras de la contaminación. -
El gabinete de nitrógeno para pod de retícula tiene estantes inclinados que evitan que las fotomáscaras se deslicen, asegurando un almacenamiento seguro.
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El Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA está diseñado para proteger materiales sensibles, electrónica e instrumentos de daños por humedad.BOSSMEN integra sistemas avanzados de control de humedad para mantener niveles estables de HR, asegurando fiabilidad en la fabricación, laboratorios e instalaciones de investigación.
Diseñado con precisión y durabilidad, el Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA ofrece un rendimiento constante para entornos de almacenamiento y procesos a largo plazo.Desde salas limpias hasta laboratorios de calidad, los productos BOSSMEN ayudan a los usuarios a reducir la corrosión, la oxidación y los riesgos de ESD mientras mantienen el cumplimiento de estrictas normas ambientales.
Descubre cómo el Armario de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula con FFU y filtro ULPA mejora la productividad y la preservación en tu flujo de trabajo.Cada unidad refleja los treinta años de experiencia en control de humedad de BOSSMEN, combinando innovación, seguridad y valor medible para aplicaciones industriales y de laboratorio.