光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃
BM1277
光罩儲放系統, 潔淨氮氣光罩存放櫃
光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃是專為半導體及光電產業設計的高潔淨度儲存設備,有效保護Reticle / Mask免於粒子污染與氧化。此設備結合FFU(風機濾網機組)與ULPA超高效濾網,搭配持續氮氣充填與回風潔淨循環系統,能長時間維持櫃內無塵與低濕環境,是關鍵製程中不可或缺的防護設備。
本儲存櫃外殼採防靜電材質製成,設有氣密門與差壓監控設計,適合放置於Class 100或更高等級的無塵室環境中。氮氣自動補充與濃度監控系統可降低人力操作需求,提升管理效率,並延長光罩壽命,降低生產風險。
此系列產品可依客戶需求客製化,適用於各式Reticle尺寸與儲存數量規格,亦可整合MES系統進行智能化管理,是智慧製造趨勢下的最佳選擇。
產品特性
- 材質與設計:採用不鏽鋼SUS 304亮面材質,具有防腐蝕、抗氧化的優點,並配備防滑避震橡膠腳墊,結構堅固,使用耐久。
- 高精密濕度控制,並透過LED數字顯示實時監控,濕度精確至3%RH,濕度範圍可設定於1%~60%RH,並可通過自動控制氣體流入來實現節能效果,有效降低能耗。
產品優勢
- 配備層架,安全存放環境:光罩盒的存放至關重要,我們的產品設計了堅固的層架,能有效提供安全且穩定的存放環境,確保光罩的完整性。
- 氮氣填充:降濕防潮利用氮氣填充技術,顯著降低存放空間的濕度,從而有效防止光罩受潮,延長其使用壽命。
- 溫濕度監控,穩定環境:內置高精度的溫濕度監控系統,隨時檢測環境變化,確保光罩在最佳條件下存放。
- FFU與ULPA潔淨處理:採用先進的FFU與ULPA過濾技術,提供超潔淨的存放空間,避免任何污染物影響光罩品質。
- 傾斜設計,防滑安全:本櫃的層架設計向後傾斜,有效防止光罩滑落,確保每一個光罩都能安全存放。
產品規格
| 型號 | 光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃 BM1277 |
|---|---|
| 外吋 (mm) | W2080 x H1000 x D550 |
| 儲存內容 | 光罩盒 |
| 溫度顯示 | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| 控濕範圍 | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| 耗電量 | 16W |
| 容量 | 66PCS |
| 電源 | 110V/240V |
| 頻率 | 50Hz/60Hz |
- 相片集
博士門 光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃介紹
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