無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃 | 台灣高品質無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃製造商 | 博士門股份有限公司
博士門是台灣專業製造無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃及提供無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃服務的優良廠商(成立於西元1993年)博士門BOSSMEN是防潮箱、氮氣櫃、手套箱、展示櫃與掛畫架的專業製造商，服務橫跨科技產業與博物館文資領域。我們提供整合型環境控濕解決方案，包含溫濕度監控系統、恆溫恆濕設備與防火防潮保險櫃。公司擁有軟硬體整合開發實力與多年空間設計經驗，是企業與機構尋求專業濕度管理最佳選擇。
無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃
BM1277
光罩儲放系統, 潔淨氮氣光罩存放櫃
光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃是專為半導體及光電產業設計的高潔淨度儲存設備，有效保護Reticle / Mask免於粒子污染與氧化。此設備結合FFU（風機濾網機組）與ULPA超高效濾網，搭配持續氮氣充填與回風潔淨循環系統，能長時間維持櫃內無塵與低濕環境，是關鍵製程中不可或缺的防護設備。
本儲存櫃外殼採防靜電材質製成，設有氣密門與差壓監控設計，適合放置於Class 100或更高等級的無塵室環境中。氮氣自動補充與濃度監控系統可降低人力操作需求，提升管理效率，並延長光罩壽命，降低生產風險。
此系列產品可依客戶需求客製化，適用於各式Reticle尺寸與儲存數量規格，亦可整合MES系統進行智能化管理，是智慧製造趨勢下的最佳選擇。
產品特性
- 材質與設計：採用不鏽鋼SUS 304亮面材質，具有防腐蝕、抗氧化的優點，並配備防滑避震橡膠腳墊，結構堅固，使用耐久。
- 高精密濕度控制，並透過LED數字顯示實時監控，濕度精確至3%RH，濕度範圍可設定於1%～60%RH，並可通過自動控制氣體流入來實現節能效果，有效降低能耗。
產品優勢
- 配備層架，安全存放環境：光罩盒的存放至關重要，我們的產品設計了堅固的層架，能有效提供安全且穩定的存放環境，確保光罩的完整性。
- 氮氣填充：降濕防潮利用氮氣填充技術，顯著降低存放空間的濕度，從而有效防止光罩受潮，延長其使用壽命。
- 溫濕度監控，穩定環境：內置高精度的溫濕度監控系統，隨時檢測環境變化，確保光罩在最佳條件下存放。
- FFU與ULPA潔淨處理：採用先進的FFU與ULPA過濾技術，提供超潔淨的存放空間，避免任何污染物影響光罩品質。
- 傾斜設計，防滑安全：本櫃的層架設計向後傾斜，有效防止光罩滑落，確保每一個光罩都能安全存放。
產品規格
| 型號 | 光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃 BM1277 |
|---|---|
| 外吋 (mm) | W2080 x H1000 x D550 |
| 儲存內容 | 光罩盒 |
| 溫度顯示 | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| 控濕範圍 | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| 耗電量 | 16W |
| 容量 | 66PCS |
| 電源 | 110V/240V |
| 頻率 | 50Hz/60Hz |
- 相片集
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BM1277光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃。 -
光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃，採用先進的FFU與ULPA過濾技術。 -
光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃，本櫃的層架設計向後傾斜，有效防止光罩滑落。
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多用途光罩儲存氮氣櫃
BM1296-2
光罩是將積體電路的各種電路設計圖案轉印到晶圓上的關鍵模具，對晶圓生產至關重要，經由微影技術，光罩將設計圖案縮小並透過曝光反映於晶圓上，如果光罩品質出現缺陷，這些缺陷將被複製到晶圓的每個晶粒上，直接影響晶圓的良率。 隨著微影技術的進步，光罩圖案越來越精細，光罩污染及良率損失的風險也隨之增加，倍縮光罩的塗層特別精細且易受損，外來的粉塵與化學殘留物，都是潛在的污染源，對光罩品質構成威脅。 除了光罩本身的製造品質，光罩的保存方式也極為重要，為了確保光罩的長期穩定性，通常會將光罩存放在潔淨的氮氣櫃中，藉由氮氣清除光罩上的化學污染，並保持適當的濕度環境。 我們的多用途光罩儲存氮氣櫃專為滿足不同客戶需求而設計，具備高效、智能的儲存解決方案，特別適合需要高度精密環境的光罩與晶圓傳送盒
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RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃
BM1305
回風功能是指空氣循環系統中的一部分，將室內空氣吸回並經過過濾後再進行排放或循環使用，此系統可有效保持儲存環境中的空氣潔淨，特別是在需要高潔淨度的場所（如光罩儲存櫃）中，對於過濾極細粉塵和有害物質至關重要。 在RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃中，回風系統會將櫃內的空氣吸入並過濾，去除其中的污染物，保證光罩處於潔淨、無塵的環境，從而降低光罩受損和污染的風險，確保其品質穩定。
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開放式9寸光罩儲存櫃
BM1307
這款光罩櫃為開放式設計，專為存放光罩盒而打造。此產品不具備控濕功能，也不提供氮氣填充，因此適用於對環境要求較低的存儲需求，9吋光罩盒儲物架提供有效空間管理，方便存取光罩盒，適用於一般儲存用途，無需額外的氣體或濕度控制系統。
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RFID無塵光罩儲存氮氣櫃
BM1324-2
RFID無塵光罩儲存氮氣櫃為光罩提供最佳保護，並在潔淨、受控的環境中儲存。通過氮氣充填來防止濕氣和氧化，從而保持光罩的品質並延長其使用壽命。無塵設計確保儲存空間無污染，避免外界顆粒進入。 配備RFID技術，該櫃能夠輕鬆跟蹤和管理光罩，提高庫存效率。可調節的氮氣流量讓使用者能夠根據具體需求定制儲存條件，保持穩定的低氧環境。 這款無塵光罩儲存櫃是高精度行業的理想選擇，保證安全可靠的光罩儲存，並有效防止環境因素造成損害。憑藉其先進的功能，它是無污染光罩儲存的必備解決方案。
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RFID光罩儲存乾燥空氣櫃
BM1481-1
RFID光罩儲存乾燥空氣櫃（RFID Mask Box）是一種用於半導體產業的設備，專門設計用於儲存和管理光罩（Mask）的工具。 光罩是半導體製造過程中用於曝光的重要元件，它們用於在光刻過程中定義電路圖案。由於光罩非常精密且昂貴，必須確保其安全存放和精確管理。 RFID光罩儲存乾燥空氣櫃透過採用無線射頻辨識（RFID）技術，實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。
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開放式9寸RFID光罩儲存櫃
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開放式9寸RFID光罩儲存櫃-簡單而高效的光罩儲存系統，適用於高頻繁的操作開放式9寸RFID光罩儲存櫃設計簡單而高效，專為高頻繁操作環境中的光罩儲存需求而打造。開放式架構方便快速存取，提升工作效率，並有效減少操作過程中的繁瑣。 配備...
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博士門 無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃介紹
博士門股份有限公司是台灣一家擁有超過30年經驗的專業無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃生產服務商。 我們成立於西元1993年, 在電子零組件製造業領域上, 博士門提供專業高品質的無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃製造服務, 博士門結合先進的檢測設備，進行全面的品質檢驗與測試，包括尺寸精度、功能測試、耐久性檢驗等，確保產品符合客戶需求和市場規範。