Armadio per la Conservazione di Pod Reticolo in Azoto con FFU e Filtro ULPA
BM1277
Armadio per la Conservazione di Reticoli in Gas Inerte (con FFU e Filtro ULPA) Sistema di Conservazione di Pod Reticolo ad Alta Pulizia (Tipo Purificato in Azoto)
Il Cabinet di Stoccaggio dell'Azoto Reticle Pod con FFU e Filtro ULPA è progettato per proteggere i reticoli e le maschere dalla contaminazione e dall'ossidazione nelle camere bianche per semiconduttori e fotonica. Presenta una filtrazione ULPA, un flusso d'aria FFU e un purging continuo di azoto per mantenere un ambiente pulito, secco e privo di statica.
Realizzato con materiali antistatici e costruzione ermetica, supporta gli standard di cleanroom di Classe 100 o superiori. Il controllo automatico dell'azoto e il monitoraggio della pressione differenziale migliorano l'efficienza e prolungano la vita del reticolo.
Sono disponibili dimensioni personalizzate e integrazione MES per applicazioni di fabbrica intelligente.
Caratteristiche
- Materiale e design: Realizzato in acciaio inossidabile SUS 304 con una finitura lucida, offre resistenza alla corrosione e all'ossidazione. È dotato di piedi in gomma anti-scivolo e ammortizzanti per una struttura robusta e una durata prolungata.
- Controllo dell'umidità ad alta precisione: monitoraggio in tempo reale tramite display digitale a LED, con un'accuratezza dell'umidità fino al 3% RH. L'intervallo di umidità può essere impostato da 1% a 60% RH, e il controllo automatico del flusso di gas aiuta a ottenere effetti di risparmio energetico, riducendo efficacemente il consumo energetico.
Beneficio
- Dotato di ripiani per una conservazione sicura: La conservazione dei pod reticolari è cruciale. Il nostro prodotto presenta ripiani robusti che offrono un ambiente di stoccaggio sicuro e stabile, garantendo l'integrità dei reticoli.
- Riempimento di azoto: La tecnologia di riempimento di azoto riduce l'umidità nello spazio di stoccaggio, prevenendo efficacemente i danni da umidità ai reticoli e prolungandone la vita utile.
- Monitoraggio di temperatura e umidità per un ambiente stabile: Un sistema di monitoraggio della temperatura e dell'umidità ad alta precisione integrato rileva costantemente i cambiamenti ambientali per garantire condizioni di stoccaggio ottimali per i reticoli.
- Trattamento di pulizia FFU e ULPA: Tecnologie avanzate di filtrazione FFU e ULPA sono utilizzate per fornire uno spazio di stoccaggio ultra-pulito, prevenendo qualsiasi contaminante che possa influenzare la qualità dei reticoli.
- Design inclinato per la sicurezza anti-scivolo: I ripiani dell'armadio sono progettati con un'inclinazione all'indietro, prevenendo efficacemente lo scivolamento dei reticoli, garantendo che ogni reticolo sia conservato in sicurezza.
Specifiche del Prodotto
| Modello | Armadio per azoto Reticle Pod FFU + ULPA BM1277 |
|---|---|
| Dimensioni Esterne (mm) | W2080 x H1000 x D550 |
| Contenuti Conservati | Pod reticolo |
| Display della Temperatura | 0,1°C ~ 99,9°C ± 1°C |
| Intervallo di Controllo dell'Umidità | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| Consumo Energetico | 16W |
| Capacità | 66PCS |
| Tensione | 110V/240V |
| Frequenza | 50Hz/60Hz |
- Galleria
- Cabinet di Stoccaggio dell'Azoto per Pod Reticolo BM1277 con FFU e Filtro ULPA.
- Il Cabinet di Azoto per Pod Reticolo utilizza filtri FFU e ULPA per fornire uno spazio di stoccaggio pulito, proteggendo i fotomask dalla contaminazione.
- Il Cabinet di Azoto per Pod Reticolo ha ripiani inclinati che impediscono ai fotomask di scivolare, garantendo uno stoccaggio sicuro.
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