Armadio in azoto per pod reticolo senza particelle
BM1305
Sistema di Ritorno dell'Aria Pulita ad Alta Efficienza per Fotomask, Cabinet per Ritorno dell'Aria Pulita per Fotomask
Nel Cabinet per Azoto con Reticolo Senza Particelle, il sistema di aria di ritorno ricircola continuamente l'aria all'interno del cabinet e filtra particelle e contaminanti. Questo assicura che i fotomask vengano mantenuti in un ambiente pulito e privo di polvere, riducendo efficacemente il rischio di danni e contaminazione, mantenendo al contempo una qualità stabile.
Caratteristiche
- Materiale e Design: Realizzato in acciaio inossidabile SUS 304 con una finitura lucida, offre resistenza alla corrosione e all'ossidazione. È dotato di piedi in gomma anti-scivolo e ammortizzanti, garantendo una struttura robusta e una durata prolungata.
- Impostazione dell'Umidità e Controllo Energetico: L'intervallo di umidità può essere impostato dal 1% al 60% RH, e gli effetti di risparmio energetico sono ottenuti controllando automaticamente il flusso di gas, riducendo efficacemente il consumo energetico.
- Archiviazione Dati e Connettività: Memoria integrata per una facile gestione dei dati e integrazione con dispositivi esterni, consentendo il recupero dei dati del fotomask per il tracciamento.
- Buzzer e Allerta Lampeggiante: Quando le condizioni ambientali sono anomale o il range impostato è superato, il dispositivo emetterà un suono di buzzer e luci di avviso lampeggianti per avvisare prontamente gli utenti di affrontare il problema.
Applicazione
- Scaffalatura per un Ambiente di Stoccaggio Sicuro: Lo stoccaggio dei pod di fotomask è critico. Il nostro prodotto presenta scaffalature robuste, fornendo un ambiente di stoccaggio sicuro e stabile per garantire l'integrità delle fotomask.
- Riempimento di Azoto per il Controllo dell'Umidità: Utilizzando la tecnologia di riempimento di azoto, l'umidità nello spazio di stoccaggio è significativamente ridotta, prevenendo danni da umidità alle fotomask e prolungando la loro durata.
- Monitoraggio di Temperatura e Umidità per un Ambiente Stabile: Dotato di un sistema di monitoraggio di temperatura e umidità ad alta precisione, il cabinet controlla continuamente i cambiamenti ambientali per garantire che le fotomask siano conservate in condizioni ottimali.
- Elaborazione Pulita FFU e ULPA: Viene utilizzata una tecnologia avanzata di filtrazione FFU e ULPA per fornire uno spazio di stoccaggio ultra-pulito, prevenendo contaminanti che possano influenzare la qualità delle fotomask.
- Sistema di gestione intelligente: Il cabinet è progettato con un sistema di pulizia FFU (ULPA) per lo stoccaggio dei fotomask, abbinato a funzioni di caricamento dati software. Presenta operazioni protette da password, lettura di codici a barre e sistemi di allerta per errori per garantire una gestione sicura e accurata in ogni fase.
- Sistema di Pulizia dell'Aria di Ritorno: Il sistema di aria di ritorno aspira l'aria dall'interno del cabinet, la filtra e rimuove i contaminanti, garantendo che i fotomask siano conservati in un ambiente pulito e privo di polvere, riducendo il rischio di danni e contaminazione.
Specifiche del prodotto
| Modello | Armadio di stoccaggio dell'azoto con reticolo per aria di ritorno pulita RFID BM1305 |
|---|---|
| Dimensioni Esterne (mm) | W1780 × H2131 × D600 |
| Articolo di Stoccaggio | Pod Reticolo RSP-200-ABS |
| Intervallo di Visualizzazione della Temperatura | 0,1 °C a 99,9 °C ± 1 °C |
| Intervallo di Controllo dell'Umidità | 1% RH a 60% RH ± 3% RH |
| Capacità | 56 Pod Reticolo |
| Alimentazione | 110 V / 240 V |
| Frequenza | 50 Hz / 60 Hz |
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