特徴

• 材料とデザイン：光沢のある仕上げのステンレス鋼SUS 304製で、耐腐食性と耐酸化性を提供します。滑り止めの衝撃吸収ゴム足が装備されており、頑丈な構造と長持ちする耐久性を確保しています。
• 湿度設定とエネルギー制御：湿度範囲は1%から60% RHまで設定可能で、ガス流量を自動的に制御することで省エネ効果を実現し、エネルギー消費を効果的に削減します。
• データストレージと接続性：外部デバイスとの統合と簡単なデータ管理のための内蔵メモリを備えており、フォトマスクデータの取得が可能です。
• ブザーと点滅警報：環境条件が異常であるか、設定範囲を超えた場合、デバイスはブザー音と点滅する警告灯を発し、ユーザーに問題を迅速に知らせます。

アプリケーション

• 安全な保管環境のための棚: フォトマスクポッドの保管は重要です。当社の製品は頑丈な棚を備えており、フォトマスクの完全性を確保するために安全で安定した保管環境を提供します。
• 湿度管理のための窒素充填: 窒素充填技術を使用することで、保管スペースの湿度が大幅に低下し、フォトマスクへの湿気による損傷を防ぎ、その寿命を延ばします。
• 安定した環境のための温度と湿度の監視: 高精度の温度および湿度監視システムを備えたキャビネットは、環境の変化を継続的にチェックし、フォトマスクが最適な条件で保管されることを保証します。
• FFUおよびULPAクリーン処理: 高度なFFUおよびULPAフィルトレーション技術を使用して、超クリーンな保管スペースを提供し、汚染物質がフォトマスクの品質に影響を与えるのを防ぎます。
• インテリジェント管理システム：キャビネットはフォトマスク保管用にFFU（ULPA）クリーンシステムを備え、ソフトウェアデータアップロード機能と組み合わされています。パスワード保護された操作、バーコード読み取り、エラーアラートシステムを特徴としており、すべてのステップで安全かつ正確な取り扱いを保証します。
• リターンエアクリーンシステム：リターンエアシステムはキャビネット内部の空気を取り込み、フィルターでろ過し、不純物を除去します。これにより、フォトマスクが清潔でほこりのない環境で保管され、損傷や汚染のリスクが低減されます。

ギャラリー

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