RFIDレティクルストレージドライエアキャビネット
BM1481-1
RFIDフォトマスクストレージドライエアキャビネット、ダストフリーフォトマスクストレージキャビネット
RFIDレティクルストレージドライエアキャビネット(RFIDマスクボックス)は、半導体業界向けに設計された専門的な装置で、フォトマスクの保管と管理に特化しています。フォトマスクは、半導体ウエハ上に回路パターンを定義するためにフォトリソグラフィプロセスで使用される重要なコンポーネントです。その精度と高コストのため、フォトマスクは安全に保管され、正確に管理される必要があります。
RFIDレティクルストレージドライエアキャビネットは、無線周波数識別(RFID)技術を利用して、フォトマスクの自動識別、追跡、管理を可能にします。
特徴
- キャビネット材料:SUS304ステンレス鋼 – 高い耐腐食性、高温耐久性、強度を持つ材料で、キャビネットの安定性と耐久性を長期間にわたって確保し、清掃も容易です。
- フォトマスク収納容量:最大168枚のフォトマスクを収納でき、大規模なフォトマスク収納ニーズに適しており、高負荷使用シナリオに最適です。
- 内蔵の湿度制御システム:高湿度によるフォトマスクの損傷を防ぐために、正確な湿度制御を提供します。さらに、システムには温度と湿度の監視機能が含まれており、保管環境が安定していることを保証します。
- リア傾斜フォトマスク保管設計:保管スロットは、フォトマスクの配置安定性を高めるためにリアチルトで設計されており、保管中の移動や不要な損傷を防ぎます。
- ガラスドア設計:ガラスドアにより、フォトマスクの保管および取り出し状況を迅速に識別でき、操作が容易になり、明確な視覚的表現を提供します。
- ドア作動式ガスフロー遮断システム:キャビネットドアが開くと、システムは自動的にエアフローを停止し、操作中の人員の安全を確保します。
- 高度なストレージ管理システム:各ストレージスロットには、正確な追跡と管理のためのRFIDアンテナが装備されています。インジケータライトは、各スロットの状態を明確に表示し、オペレーターはストレージの状態を迅速に理解できます。
- 固定ブラケット付きサポートフィート:キャビネットに安定したサポートを提供し、操作または移動中の損傷を防ぎ、長期的な安定動作を保証します。
- RFIDタグの取り付け位置:RFIDタグは、スキャンと識別を容易にするために、フォトマスクボックスの右側に取り付けられています。
アプリケーション
- 高度にカスタマイズされたデザイン:異なる要件に基づいて、フォトマスクキャビネットは異なる数量のフォトマスクを収納できるようにカスタマイズされ、さまざまなキャビネット構造に適応し、異なる規模や生産環境のニーズに応える最適な収納ソリューションを提供します。
- 精密な保護と安定した環境制御:内部は湿度レベルを正確に調整でき、静電気防止設計が施されており、フォトマスクを汚染や静電気から効果的に保護し、安定したフォトマスクの品質を確保します。
- 作業効率の向上:フォトマスクキャビネットは便利な収納スペースと操作設計を提供し、フォトマスクへの迅速かつ簡単なアクセスを可能にし、作業効率を向上させ、生産プロセスの遅延を減少させます。
- 信頼性と長期保護:フォトマスクキャビネットは頑丈な構造を持ち、長期間にわたって優れた保護性能を維持し、外部環境の変化によるフォトマスクの損傷を防ぎます。
利点
- これらの利点により、フォトマスクキャビネットは半導体、オプトエレクトロニクスプロセス、精密製造業界において不可欠なデバイスとなり、生産効率を向上させ、運用コストを大幅に削減します。
製品仕様
| モデル | RFIDレティクルドライエアストレージキャビネット BM1481-1 |
|---|---|
| 外形寸法 (mm) | W2630 × D550 × H2075 |
| 内部構成 | ラックあたり28スロット |
| ストレージアイテム | フォトマスク |
| 温度表示範囲 | 0.1 °Cから99.9 °C ± 1 °C |
| 湿度制御範囲 | 1% RHから60% RH ± 3% RH |
| 容量 | 168フォトマスク |
| 電源 | 110 V / 240 V |
| 周波数 | 50 Hz / 60 Hz |
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詳細
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