RFID 레티클 저장 건조 공기 캐비닛
BM1481-1
RFID 포토마스크 저장 건조 공기 캐비닛, 먼지 없는 포토마스크 저장 캐비닛
RFID 레티클 저장 건조 공기 캐비닛(RFID 마스크 박스)은 반도체 산업을 위해 설계된 전문 장치로, 포토마스크를 저장하고 관리하는 데 사용됩니다. 포토마스크는 반도체 웨이퍼에 회로 패턴을 정의하는 포토리소그래피 과정에서 사용되는 필수 구성 요소입니다. 그 정밀성과 높은 비용으로 인해 포토마스크는 안전하게 저장되고 정확하게 관리되어야 합니다.
RFID 레티클 저장 건조 공기 캐비닛은 자동 식별, 추적 및 포토마스크 관리를 가능하게 하는 무선 주파수 식별(RFID) 기술을 활용합니다.
특징
- 캐비닛 재질: SUS304 스테인리스 스틸 – 높은 내식성과 고온 내구성을 가진 강한 재질로, 캐비닛의 안정성과 내구성을 보장하며 장기 사용에 적합하고 청소도 용이합니다.
- 포토마스크 저장 용량: 최대 168개의 포토마스크를 수용할 수 있어 대규모 포토마스크 저장 요구에 적합하며, 고부하 사용 시나리오에 이상적입니다.
- 내장 습도 제어 시스템: 높은 습도로 인한 포토마스크 손상을 방지하기 위해 정밀한 습도 제어를 제공합니다. 또한, 시스템에는 저장 환경이 안정적으로 유지되도록 온도 및 습도 모니터링 기능이 포함되어 있습니다.
- 후방 기울임 포토마스크 보관 설계: 보관 슬롯은 포토마스크의 안정성을 높이고 보관 중 움직임이나 불필요한 손상을 방지하기 위해 후방으로 기울어지게 설계되었습니다.
- 유리문 설계: 유리문을 통해 포토마스크의 보관 및 검색 상태를 빠르게 식별할 수 있어 작업이 용이하고 명확한 시각적 표현을 제공합니다.
- 도어 작동 가스 흐름 차단 시스템: 캐비닛 도어가 열리면 시스템이 자동으로 공기 흐름을 중단하여 작업 중 인원의 안전을 보장합니다.
- 고급 보관 관리 시스템: 각 보관 슬롯에는 정확한 추적 및 관리를 위한 RFID 안테나가 장착되어 있습니다. 표시등이 각 슬롯의 상태를 명확하게 표시하여 운영자가 보관 상태를 신속하게 파악할 수 있습니다.
- 고정 브래킷이 있는 지지대: 캐비닛에 안정적인 지지를 제공하여 작동 또는 이동 중 손상을 방지하고 장기간 안정적인 운영을 보장합니다.
- RFID 태그 설치 위치: RFID 태그는 포토마스크 상자의 오른쪽에 설치되어 쉬운 스캔 및 식별이 가능합니다.
응용
- 고도로 맞춤화된 디자인: 다양한 요구 사항에 따라 포토마스크 캐비닛은 다양한 수량의 포토마스크를 저장하고 서로 다른 캐비닛 구조에 적응할 수 있도록 맞춤화할 수 있으며, 다양한 규모와 생산 환경의 요구를 충족하는 최상의 저장 솔루션을 제공합니다.
- 정밀한 보호 및 안정적인 환경 제어: 내부는 습도 수준을 정밀하게 조절할 수 있으며, 정전기 방지 설계가 적용되어 포토마스크를 오염과 정전기로부터 효과적으로 보호하여 안정적인 포토마스크 품질을 보장합니다.
- 작업 효율성 향상: 포토마스크 캐비닛은 편리한 저장 공간과 운영 디자인을 제공하여 포토마스크에 빠르고 쉽게 접근할 수 있게 하여 운영 효율성을 개선하고 생산 과정의 지연을 줄입니다.
- 신뢰성 및 장기 보호: 포토마스크 캐비닛은 견고한 구조를 갖추고 있어 장기적으로 우수한 보호 성능을 유지하며 외부 환경 변화로 인한 포토마스크 손상을 방지합니다.
이점
- 이러한 장점으로 인해 포토마스크 캐비닛은 반도체, 광전자 공정 및 정밀 제조 산업에서 필수적인 장치가 되어 생산 효율성을 높이고 운영 비용을 크게 줄입니다.
제품 사양
| 모델 | RFID 레티클 건조 공기 저장 캐비닛 BM1481-1 |
|---|---|
| 외부 치수 (mm) | W2630 × D550 × H2075 |
| 내부 구성 | 랙당 28 슬롯 |
| 저장 항목 | 포토마스크 |
| 온도 표시 범위 | 0.1 °C에서 99.9 °C ± 1 °C |
| 습도 조절 범위 | 1% RH에서 60% RH ± 3% RH |
| 용량 | 168 포토마스크 |
| 전원 공급 | 110 V / 240 V |
| 주파수 | 50 Hz / 60 Hz |
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세부
RFID 레티클 저장 건조 공기 캐비닛 – BOSSMEN에 의한 정밀 습도 제어
RFID 레티클 저장 건조 공기 캐비닛는 민감한 재료, 전자기기 및 기기를 습기 손상으로부터 보호하도록 설계되었습니다.BOSSMEN은 안정적인 상대 습도(RH) 수준을 유지하기 위해 고급 습도 제어 시스템을 통합하여 제조, 실험실 및 연구 시설에서 신뢰성을 보장합니다.
정밀성과 내구성을 갖춘 RFID 레티클 저장 건조 공기 캐비닛는 장기 저장 및 프로세스 환경에서 일관된 성능을 제공합니다.클린룸에서 품질 실험실에 이르기까지, BOSSMEN 제품은 사용자가 부식, 산화 및 ESD 위험을 줄이는 데 도움을 주며, 엄격한 환경 기준을 준수하도록 합니다.
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