다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛 – BOSSMEN의 정밀 습도 제어
포토마스크는 반도체 제조에서 회로 패턴을 웨이퍼에 전사하는 데 필수적입니다. 포토마스크의 결함은 웨이퍼 전반에 걸쳐 복제될 수 있으며, 이는 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 패턴 치수가 줄어들수록 포토마스크는 입자와 화학 오염에 더욱 민감해집니다.
청정하고 제어된 질소 저장 환경은 장기적인 포토마스크 안정성을 유지하는 데 중요하며, 오염, 산화 및 열화를 줄이는 데 도움을 줍니다.
BOSSMEN 다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛은 정밀하고 안정적인 환경 제어를 제공하여, 고도로 제어된 저장 조건이 필요한 포토마스크 및 웨이퍼 포드에 이상적입니다.
다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛
BM1296-2
포토마스크 저장 시스템, 청정 질소 포토마스크 저장 캐비닛
포토마스크는 반도체 제조에서 회로 패턴을 웨이퍼에 전사하는 데 필수적입니다. 포토마스크의 결함은 웨이퍼 전반에 걸쳐 복제될 수 있으며, 이는 수율에 직접적인 영향을 미칩니다. 패턴 치수가 줄어들수록 포토마스크는 입자와 화학 오염에 더욱 민감해집니다.
청정하고 제어된 질소 저장 환경은 장기적인 포토마스크 안정성을 유지하는 데 중요하며, 오염, 산화 및 열화를 줄이는 데 도움을 줍니다.
BOSSMEN 다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛은 정밀하고 안정적인 환경 제어를 제공하여, 고도로 제어된 저장 조건이 필요한 포토마스크 및 웨이퍼 포드에 이상적입니다.
특징
- 상부 밀폐 구역 및 질소 충전: 저장 캐비닛의 상부는 단일 포토마스크 포드 저장을 위해 특별히 설계된 밀폐 구역으로 구성되어 있습니다. 전체 영역은 최적의 습기 보호를 위해 질소로 채워져 있습니다. 또한, 통합 온도 및 습도 모니터링 시스템이 환경 변화를 지속적으로 확인하여 안정적인 저장 조건을 유지합니다.
- 하부 개방 구역 및 POD 저장소: 하부 개방 구역은 최대 다섯 개의 POD를 수용할 수 있으며, 각 FOUP는 질소로 개별적으로 채워져 각 제품이 최상의 보호를 받을 수 있도록 합니다.
- 실시간 모니터링 및 질소 흐름 표시: 패널은 각 하부 구획의 총 질소 흐름을 표시합니다. 저장 슬롯에 FOUP가 없을 때 질소 주입이 자동으로 중지되어 안전성과 효율성을 높이는 스마트 관리가 가능해집니다.
응용
- 고도로 맞춤화된 디자인: 다양한 요구에 따라 포토마스크 캐비닛은 다양한 수량의 포토마스크를 저장할 수 있도록 맞춤화할 수 있으며, 캐비닛 구조에 맞게 조정되어 다양한 규모와 생산 환경의 요구를 충족하는 최상의 저장 솔루션을 제공합니다.
- 정밀 보호 및 안정적인 환경 제어: 내부는 정밀한 습도 조절이 가능하며, 반정전기 설계를 통해 포토마스크를 효과적으로 보호하여 오염과 정전기가 품질에 영향을 미치지 않도록 하여 안정적인 포토마스크 성능을 보장합니다.
- 작업 효율성 향상: 포토마스크 캐비닛은 편리한 저장 공간과 운영 디자인을 제공하여 포토마스크에 쉽게 접근하고 신속하게 저장할 수 있어 운영 효율성을 높이고 생산 과정에서의 지연을 줄입니다.
- 신뢰성 및 장기 보호: 이 캐비닛은 견고한 구조로 제작되어 장기적인 내구성을 보장하며, 외부 환경 변화로 인한 포토마스크 손상을 방지하는 우수한 보호 효과를 유지합니다.
이점
- 이러한 장점으로 인해 포토마스크 캐비닛은 반도체, 광전자 및 정밀 제조 산업에서 필수 장비가 되어 생산 효율성을 높이고 운영 비용을 크게 줄여줍니다.
제품 사양
| 모델 | 다목적 조준기 질소 저장 캐비닛 BM1296-2 |
|---|---|
| 외부 치수 (mm) | W1500 × H1901 × D700 |
| 저장 항목 | 포토마스크 팟, 웨이퍼 운반 팟 |
| 온도 표시 범위 | 0.1 °C에서 99.9 °C ± 1 °C |
| 습도 조절 범위 | 1% RH에서 60% RH ± 3% RH |
| 전력 소비 | 16 W |
| 용량 | 상위 레벨: 60 포토마스크 팟 하위 레벨: 15 웨이퍼 운반 팟 |
| 전원 공급 장치 | 110 V / 240 V |
| 주파수 | 50 Hz / 60 Hz |
- 갤러리
BM1296-2.
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세부
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다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛 – BOSSMEN에 의한 정밀 습도 제어
다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛는 민감한 재료, 전자기기 및 기기를 습기 손상으로부터 보호하도록 설계되었습니다.BOSSMEN은 안정적인 상대 습도(RH) 수준을 유지하기 위해 고급 습도 제어 시스템을 통합하여 제조, 실험실 및 연구 시설에서 신뢰성을 보장합니다.
정밀성과 내구성을 갖춘 다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛는 장기 저장 및 프로세스 환경에서 일관된 성능을 제공합니다.클린룸에서 품질 실험실에 이르기까지, BOSSMEN 제품은 사용자가 부식, 산화 및 ESD 위험을 줄이는 데 도움을 주며, 엄격한 환경 기준을 준수하도록 합니다.
다목적 레티클 포드 질소 저장 캐비닛가 귀하의 작업 흐름에서 생산성과 보존을 어떻게 향상시키는지 알아보세요.각 유닛은 BOSSMEN의 30년 습도 조절 전문성을 반영하며, 혁신, 안전성 및 산업 및 실험실 응용을 위한 측정 가능한 가치를 결합합니다.