Fotomasken-Lagersystem, sauberer Stickstoff-Fotomaskenlager-Schrank

Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank

Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank - Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank
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Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank

BM1296-2

Fotomasken-Lagersystem, sauberer Stickstoff-Fotomaskenlager-Schrank

Photomasken sind in der Halbleiterfertigung unerlässlich, um Schaltmuster auf Wafer zu übertragen. Jeder Defekt in einer Photomaske kann auf dem Wafer reproduziert werden, was sich direkt auf den Ertrag auswirkt. Mit der Verkleinerung der Musterdimensionen werden Photomasken zunehmend empfindlicher gegenüber Partikeln und chemischer Kontamination.

 

Eine saubere, kontrollierte Stickstofflagerumgebung ist entscheidend für die langfristige Stabilität von Fotomasken und hilft, Kontamination, Oxidation und Degradation zu reduzieren.

 

Der BOSSMEN Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank bietet präzise und stabile Umweltkontrolle und ist ideal für Fotomasken und Wafer-Pods, die hochkontrollierte Lagerbedingungen erfordern.

Funktionen
  • Obere luftdichte Zone und Stickstofffüllung: Der obere Teil des Aufbewahrungsschranks ist mit einer luftdichten Zone ausgestattet, die speziell für die Lagerung von einzelnen Fotomasken-Pods konzipiert ist. Der gesamte Bereich ist mit Stickstoff gefüllt, um optimalen Feuchtigkeitsschutz zu gewährleisten. Darüber hinaus überwacht ein integriertes Temperatur- und Feuchtigkeitsüberwachungssystem ständig Umweltveränderungen, um stabile Lagerbedingungen aufrechtzuerhalten.
  • Untere offene Fläche und POD-Lagerung: Die untere offene Fläche kann bis zu fünf PODs aufnehmen, wobei jeder FOUP individuell mit Stickstoff gefüllt wird, um sicherzustellen, dass jedes Produkt den besten Schutz erhält.
  • Echtzeitüberwachung und Stickstoffflussanzeige: Das Panel zeigt den gesamten Stickstofffluss für jedes untere Fach an. Wenn sich kein FOUP im Lagerplatz befindet, stoppt die Stickstoffbefüllung automatisch, was ein intelligentes Management ermöglicht, um Sicherheit und Effizienz zu verbessern.
Anwendung
  • Hochgradig angepasstes Design: Basierend auf unterschiedlichen Bedürfnissen kann der Fotomaskenschrank angepasst werden, um unterschiedliche Mengen an Fotomasken zu lagern und an die Schrankstruktur angepasst zu werden, um die besten Lagerlösungen zu bieten, die den Anforderungen verschiedener Größen und Produktionsumgebungen gerecht werden.
  • Präzisionsschutz und stabile Umweltkontrolle: Das Innere ermöglicht eine präzise Feuchtigkeitsanpassung und verfügt über ein antistatisches Design, um Fotomasken effektiv zu schützen, Kontamination und statische Elektrizität zu verhindern, die ihre Qualität beeinträchtigen könnten, und sorgt für eine stabile Leistung der Fotomasken.
  • Verbesserte Arbeitseffizienz: Der Fotomaskenschrank bietet praktischen Stauraum und ein funktionales Design, das den schnellen Zugriff und die Lagerung von Fotomasken erleichtert, die Betriebseffizienz verbessert und Verzögerungen im Produktionsprozess reduziert.
  • Zuverlässigkeit und langfristiger Schutz: Der Schrank ist mit einer robusten Struktur gebaut, die langfristige Haltbarkeit gewährleistet und gleichzeitig hervorragende Schutzeffekte bietet, um zu verhindern, dass Fotomasken durch äußere Umwelteinflüsse beschädigt werden.
Vorteil
  • Diese Vorteile machen den Fotomaskenschrank zu einem unverzichtbaren Gerät in der Halbleiter-, Optoelektronik- und Präzisionsfertigungsindustrie, da er die Produktionseffizienz steigert und gleichzeitig die Betriebskosten erheblich senkt.
Produktspezifikationen
ModellMultifunktionaler Retikel-Stickstofflagerungsschrank
BM1296-2
Äußere Abmessungen (mm)W1500 × H1901 × D700
LagerartikelPhotomasken-Pods, Wafer-Transport-Pods
Temperaturanzeigebereich0,1 °C bis 99,9 °C ± 1 °C
Luftfeuchtigkeitsregelbereich1% RH bis 60% RH ± 3% RH
Stromverbrauch16 W
KapazitätOberes Niveau: 60 Photomasken-Pods
Unteres Niveau: 15 Wafer-Transport-Pods
Stromversorgung110 V / 240 V
Frequenz50 Hz / 60 Hz
Galerie
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Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank – Präzise Feuchtigkeitskontrolle von BOSSMEN

Der Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank ist dafür ausgelegt, empfindliche Materialien, Elektronik und Instrumente vor Feuchtigkeitsschäden zu schützen.BOSSMEN integriert fortschrittliche Feuchtigkeitskontrollsysteme, um stabile RH-Werte aufrechtzuerhalten und Zuverlässigkeit in der Fertigung, in Laboren und in Forschungseinrichtungen zu gewährleisten.

Mit Präzision und Langlebigkeit konstruiert, bietet der Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank eine konsistente Leistung für langfristige Lager- und Prozessumgebungen.Von Reinräumen bis hin zu Qualitätslaboren helfen die Produkte von BOSSMEN den Nutzern, Korrosion, Oxidation und ESD-Risiken zu reduzieren und gleichzeitig die Einhaltung strenger Umweltstandards zu gewährleisten.

Entdecken Sie, wie der Mehrzweck-Reticle-Pod-Stickstofflager-Schrank die Produktivität und Erhaltung in Ihrem Arbeitsablauf verbessert.Jede Einheit spiegelt die dreißigjährige Expertise von BOSSMEN im Bereich der Feuchtigkeitskontrolle wider und kombiniert Innovation, Sicherheit und messbaren Wert für industrielle und laboratorische Anwendungen.