Gabinete de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula de múltiples propósitos
BM1296-2
Sistema de almacenamiento de fotomáscaras, Gabinete de almacenamiento de fotomáscaras de nitrógeno limpio
Las fotomáscaras son esenciales en la fabricación de semiconductores para transferir patrones de circuitos a las obleas. Cualquier defecto en una fotomáscara puede replicarse en toda la oblea, afectando directamente el rendimiento. A medida que las dimensiones de los patrones se reducen, las fotomáscaras se vuelven cada vez más sensibles a partículas y contaminación química.
Un entorno de almacenamiento de nitrógeno limpio y controlado es crítico para mantener la estabilidad a largo plazo de las fotomáscaras, ayudando a reducir la contaminación, la oxidación y la degradación.
El gabinete de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula de múltiples propósitos BOSSMEN ofrece un control ambiental preciso y estable, lo que lo hace ideal para fotomáscaras y pods de obleas que requieren condiciones de almacenamiento altamente controladas.
Características
- Zona Superior Hermética y Llenado de Nitrógeno: La parte superior del armario de almacenamiento está diseñada con una zona hermética específicamente para el almacenamiento de un solo pod de fotomáscara. Toda el área está llena de nitrógeno para garantizar una protección óptima contra la humedad. Además, un sistema integrado de monitoreo de temperatura y humedad verifica constantemente los cambios ambientales para mantener condiciones de almacenamiento estables.
- Área Abierta Inferior y Almacenamiento de POD: El área abierta inferior puede acomodar hasta cinco PODs, con cada FOUP llenado individualmente con nitrógeno para garantizar que cada producto reciba la mejor protección.
- Monitoreo en tiempo real y visualización del flujo de nitrógeno: El panel muestra el flujo total de nitrógeno para cada compartimento inferior. Cuando no hay FOUP presente en la ranura de almacenamiento, el llenado de nitrógeno se detiene automáticamente, lo que permite una gestión inteligente para mejorar la seguridad y la eficiencia.
Aplicación
- Diseño Altamente Personalizado: Basado en diferentes necesidades, el gabinete de fotomáscaras se puede personalizar para almacenar diversas cantidades de fotomáscaras y adaptarse a la estructura del gabinete, ofreciendo las mejores soluciones de almacenamiento para satisfacer las demandas de diferentes escalas y entornos de producción.
- Protección de Precisión y Control Estable del Entorno: El interior permite un ajuste preciso de la humedad y cuenta con un diseño antiestático para proteger eficazmente las fotomáscaras, previniendo la contaminación y la electricidad estática que puedan afectar su calidad, asegurando un rendimiento estable de las fotomáscaras.
- Mejora de la Eficiencia Laboral: El armario para fotomáscaras proporciona un espacio de almacenamiento conveniente y un diseño operativo, facilitando el acceso y almacenamiento rápido de fotomáscaras, mejorando la eficiencia operativa y reduciendo retrasos en el proceso de producción.
- Fiabilidad y Protección a Largo Plazo: El armario está construido con una estructura robusta, asegurando durabilidad a largo plazo mientras mantiene excelentes efectos de protección para evitar que las fotomáscaras se dañen debido a cambios ambientales externos.
Beneficio
- Estas ventajas hacen que el gabinete de fotomáscaras sea una pieza de equipo indispensable en las industrias de semiconductores, optoelectrónica y fabricación de precisión, mejorando la eficiencia de producción mientras reduce significativamente los costos operativos.
Especificaciones del producto
| Modelo | Gabinete de almacenamiento de nitrógeno con retícula multipropósito BM1296-2 |
|---|---|
| Dimensiones Externas (mm) | W1500 × H1901 × D700 |
| Artículos de almacenamiento | Cápsulas de fotomáscara, Cápsulas de transporte de obleas |
| Rango de Visualización de Temperatura | 0.1 °C a 99.9 °C ± 1 °C |
| Rango de Control de Humedad | 1% HR a 60% HR ± 3% HR |
| Consumo de energía | 16 W |
| Capacidad | Nivel Superior: 60 Pods de Fotomáscara Nivel Inferior: 15 Pods de Transporte de Wafers |
| Fuente de Alimentación | 110 V / 240 V |
| Frecuencia | 50 Hz / 60 Hz |
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Gabinete de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula de múltiples propósitos – Control de Humedad de Precisión por BOSSMEN
El Gabinete de almacenamiento de nitrógeno para pod de retícula de múltiples propósitos está diseñado para proteger materiales sensibles, electrónica e instrumentos de daños por humedad.BOSSMEN integra sistemas avanzados de control de humedad para mantener niveles estables de HR, asegurando fiabilidad en la fabricación, laboratorios e instalaciones de investigación.
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