ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์
BM1296-2
ระบบเก็บฟิล์มฟอโตมาสก์ , ตู้เก็บฟิล์มฟอโตมาสก์ไนโตรเจนที่สะอาด
ฟอตโต้แมสก์มีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการถ่ายโอนลวดลายวงจรลงบนเวเฟอร์ ความบกพร่องใด ๆ ในฟอตโต้แมสก์สามารถถูกทำซ้ำไปทั่วเวเฟอร์ ซึ่งส่งผลโดยตรงต่อผลผลิต เมื่อขนาดของลวดลายลดลง ฟอตโต้แมสก์จะมีความไวต่ออนุภาคและการปนเปื้อนทางเคมีมากขึ้น
สภาพแวดล้อมการเก็บไนโตรเจนที่สะอาดและควบคุมได้มีความสำคัญต่อการรักษาความเสถียรของฟิล์มฟอโตมาสก์ในระยะยาว ช่วยลดการปนเปื้อน การเกิดออกซิเดชัน และการเสื่อมสภาพ.
ตู้เก็บไนโตรเจนแบบ Reticle Pod อเนกประสงค์ BOSSMEN ให้การควบคุมสิ่งแวดล้อมที่แม่นยำและมีเสถียรภาพ ทำให้เหมาะสำหรับโฟโตมาสก์และพ็อดเวเฟอร์ที่ต้องการสภาวะการจัดเก็บที่มีการควบคุมสูง
คุณสมบัติ
- โซนที่ปิดสนิทด้านบนและการเติมไนโตรเจน: ส่วนบนของตู้เก็บของถูกออกแบบให้มีโซนที่ปิดสนิทโดยเฉพาะสำหรับการเก็บพ็อดฟอตโต้แมสก์เดี่ยว พื้นที่ทั้งหมดถูกเติมด้วยไนโตรเจนเพื่อให้การป้องกันความชื้นที่ดีที่สุด นอกจากนี้ ระบบตรวจสอบอุณหภูมิและความชื้นที่รวมอยู่ยังตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษาสภาพการเก็บที่เสถียร.
- พื้นที่เปิดด้านล่างและการจัดเก็บ POD: พื้นที่เปิดด้านล่างสามารถรองรับ POD ได้สูงสุดถึงห้าตัว โดยแต่ละ FOUP จะถูกเติมไนโตรเจนแยกกันเพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์แต่ละชิ้นได้รับการปกป้องอย่างดีที่สุด.
- การตรวจสอบแบบเรียลไทม์และการแสดงการไหลของไนโตรเจน: แผงจะแสดงการไหลรวมของไนโตรเจนสำหรับแต่ละช่องเก็บด้านล่าง เมื่อไม่มี FOUP อยู่ในช่องเก็บ การเติมไนโตรเจนจะหยุดโดยอัตโนมัติ ทำให้การจัดการอัจฉริยะสามารถเพิ่มความปลอดภัยและประสิทธิภาพได้.
การใช้งาน
- การออกแบบที่ปรับแต่งได้สูง: ตามความต้องการที่แตกต่างกัน ตู้เก็บฟิล์มภาพสามารถปรับแต่งเพื่อเก็บฟิล์มภาพในปริมาณที่แตกต่างกันและปรับให้เข้ากับโครงสร้างของตู้ โดยนำเสนอวิธีการจัดเก็บที่ดีที่สุดเพื่อตอบสนองความต้องการของขนาดและสภาพแวดล้อมการผลิตที่แตกต่างกัน.
- การป้องกันที่แม่นยำและการควบคุมสภาพแวดล้อมที่เสถียร: ภายในช่วยให้สามารถปรับความชื้นได้อย่างแม่นยำและมีการออกแบบป้องกันไฟฟ้าสถิตเพื่อปกป้องฟิล์มถ่ายภาพอย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันการปนเปื้อนและไฟฟ้าสถิตไม่ให้ส่งผลกระทบต่อคุณภาพของฟิล์มถ่ายภาพ ทำให้มั่นใจได้ว่าฟิล์มถ่ายภาพทำงานได้อย่างเสถียร.
- ประสิทธิภาพการทำงานที่ดีขึ้น: ตู้เก็บฟิล์มภาพให้พื้นที่จัดเก็บที่สะดวกและการออกแบบการใช้งาน ทำให้เข้าถึงและจัดเก็บฟิล์มภาพได้อย่างรวดเร็ว ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการทำงานและลดความล่าช้าในกระบวนการผลิต.
- ความน่าเชื่อถือและการป้องกันระยะยาว: ตู้ถูกสร้างขึ้นด้วยโครงสร้างที่แข็งแรง ทำให้มีความทนทานในระยะยาว ขณะเดียวกันก็รักษาประสิทธิภาพในการป้องกันที่ยอดเยี่ยมเพื่อป้องกันฟิล์มภาพจากความเสียหายเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมภายนอก.
ประโยชน์
- ข้อดีเหล่านี้ทำให้ตู้ฟิล์มถ่ายภาพเป็นอุปกรณ์ที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และการผลิตที่แม่นยำ โดยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตในขณะที่ลดต้นทุนการดำเนินงานอย่างมีนัยสำคัญ.
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
| โมเดล | ตู้เก็บไนโตรเจนแบบหลายวัตถุประสงค์ BM1296-2 |
|---|---|
| ขนาดภายนอก (มม) | W1500 × H1901 × D700 |
| รายการจัดเก็บ | พ็อดโฟโตมาส์ก, พ็อดขนส่งเวเฟอร์ |
| ช่วงการแสดงอุณหภูมิ | 0.1 °C ถึง 99.9 °C ± 1 °C |
| ช่วงการควบคุมความชื้น | 1% RH ถึง 60% RH ± 3% RH |
| การใช้พลังงาน | 16 W |
| ความจุ | ระดับบน: 60 โฟโตมาสก์พ็อด ระดับล่าง: 15 วาฟเฟอร์ทรานสปอร์ตพ็อด |
| แหล่งจ่ายไฟ | 110 V / 240 V |
| ความถี่ | 50 Hz / 60 Hz |
- แกลเลอรี
- ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับหน้ากาก
BM1133-2
ออกแบบมาสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์...
รายละเอียดตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน
BM1238, BM1273
ออกแบบมาสำหรับการเก็บรักษาเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและฟิล์มโฟโต...
รายละเอียดตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA
BM1277
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ULPA Filter...
รายละเอียดตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์
BM1296-2
ฟอตโต้แมสก์มีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการถ่ายโอนลวดลายวงจรลงบนเวเฟอร์...
รายละเอียดตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค
BM1305
ในตู้ไนโตรเจนที่มีพ็อดเรติเคิลปราศจากอนุภาค...
รายละเอียดชั้นวางเก็บ Reticle Pod ขนาด 9 นิ้ว
BM1307
BOSSMEN 9″ ที่เก็บพ็อดเรติเคิลมีการออกแบบแบบเปิดที่สร้างขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการเก็บพ็อดฟอโตมาส์ก....
รายละเอียดตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค
BM1324-2
ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับเลนส์ปราศจากอนุภาคให้การปกป้องที่เหมาะสมสำหรับฟิล์มถ่ายภาพในสภาพแวดล้อมที่สะอาดและควบคุมได้...
รายละเอียดตู้เก็บอากาศแห้งสำหรับเรติเคิล RFID.
BM1481-1
ตู้เก็บอากาศแห้ง RFID Reticle Storage (RFID Mask Box) เป็นอุปกรณ์เฉพาะทางที่ออกแบบมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์...
รายละเอียด
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ – การควบคุมความชื้นที่แม่นยำโดย BOSSMEN
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ ถูกออกแบบมาเพื่อปกป้องวัสดุที่ละเอียดอ่อน อิเล็กทรอนิกส์ และเครื่องมือจากความเสียหายจากความชื้น.BOSSMEN รวมระบบควบคุมความชื้นขั้นสูงเพื่อรักษาระดับความชื้นสัมพัทธ์ที่เสถียร เพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือในการผลิต ห้องปฏิบัติการ และสถานที่วิจัย.
ออกแบบมาอย่างแม่นยำและทนทาน, ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ มอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอสำหรับการจัดเก็บระยะยาวและสภาพแวดล้อมการประมวลผล.จากห้องสะอาดไปจนถึงห้องปฏิบัติการคุณภาพ ผลิตภัณฑ์ของ BOSSMEN ช่วยให้ผู้ใช้ลดการกัดกร่อน, การเกิดออกซิเดชัน, และความเสี่ยงจาก ESD ในขณะที่ยังคงปฏิบัติตามมาตรฐานสิ่งแวดล้อมที่เข้มงวด.
ค้นพบว่า ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและการอนุรักษ์ในกระบวนการทำงานของคุณได้อย่างไร.แต่ละหน่วยสะท้อนถึงความเชี่ยวชาญในการควบคุมความชื้นของ BOSSMEN ที่มีมานานถึงสามสิบปี โดยรวมเอานวัตกรรม ความปลอดภัย และคุณค่าที่วัดได้สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการ.









