ระบบเก็บฟิล์มฟอโตมาสก์ , ตู้เก็บฟิล์มฟอโตมาสก์ไนโตรเจนที่สะอาด

ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์

ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ - ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์
  • ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ - ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์

ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์

BM1296-2

ระบบเก็บฟิล์มฟอโตมาสก์ , ตู้เก็บฟิล์มฟอโตมาสก์ไนโตรเจนที่สะอาด

ฟอตโต้แมสก์มีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการถ่ายโอนลวดลายวงจรลงบนเวเฟอร์ ความบกพร่องใด ๆ ในฟอตโต้แมสก์สามารถถูกทำซ้ำไปทั่วเวเฟอร์ ซึ่งส่งผลโดยตรงต่อผลผลิต เมื่อขนาดของลวดลายลดลง ฟอตโต้แมสก์จะมีความไวต่ออนุภาคและการปนเปื้อนทางเคมีมากขึ้น

 

สภาพแวดล้อมการเก็บไนโตรเจนที่สะอาดและควบคุมได้มีความสำคัญต่อการรักษาความเสถียรของฟิล์มฟอโตมาสก์ในระยะยาว ช่วยลดการปนเปื้อน การเกิดออกซิเดชัน และการเสื่อมสภาพ.

 

ตู้เก็บไนโตรเจนแบบ Reticle Pod อเนกประสงค์ BOSSMEN ให้การควบคุมสิ่งแวดล้อมที่แม่นยำและมีเสถียรภาพ ทำให้เหมาะสำหรับโฟโตมาสก์และพ็อดเวเฟอร์ที่ต้องการสภาวะการจัดเก็บที่มีการควบคุมสูง

คุณสมบัติ
  • โซนที่ปิดสนิทด้านบนและการเติมไนโตรเจน: ส่วนบนของตู้เก็บของถูกออกแบบให้มีโซนที่ปิดสนิทโดยเฉพาะสำหรับการเก็บพ็อดฟอตโต้แมสก์เดี่ยว พื้นที่ทั้งหมดถูกเติมด้วยไนโตรเจนเพื่อให้การป้องกันความชื้นที่ดีที่สุด นอกจากนี้ ระบบตรวจสอบอุณหภูมิและความชื้นที่รวมอยู่ยังตรวจสอบการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษาสภาพการเก็บที่เสถียร.
  • พื้นที่เปิดด้านล่างและการจัดเก็บ POD: พื้นที่เปิดด้านล่างสามารถรองรับ POD ได้สูงสุดถึงห้าตัว โดยแต่ละ FOUP จะถูกเติมไนโตรเจนแยกกันเพื่อให้แน่ใจว่าผลิตภัณฑ์แต่ละชิ้นได้รับการปกป้องอย่างดีที่สุด.
  • การตรวจสอบแบบเรียลไทม์และการแสดงการไหลของไนโตรเจน: แผงจะแสดงการไหลรวมของไนโตรเจนสำหรับแต่ละช่องเก็บด้านล่าง เมื่อไม่มี FOUP อยู่ในช่องเก็บ การเติมไนโตรเจนจะหยุดโดยอัตโนมัติ ทำให้การจัดการอัจฉริยะสามารถเพิ่มความปลอดภัยและประสิทธิภาพได้.
การใช้งาน
  • การออกแบบที่ปรับแต่งได้สูง: ตามความต้องการที่แตกต่างกัน ตู้เก็บฟิล์มภาพสามารถปรับแต่งเพื่อเก็บฟิล์มภาพในปริมาณที่แตกต่างกันและปรับให้เข้ากับโครงสร้างของตู้ โดยนำเสนอวิธีการจัดเก็บที่ดีที่สุดเพื่อตอบสนองความต้องการของขนาดและสภาพแวดล้อมการผลิตที่แตกต่างกัน.
  • การป้องกันที่แม่นยำและการควบคุมสภาพแวดล้อมที่เสถียร: ภายในช่วยให้สามารถปรับความชื้นได้อย่างแม่นยำและมีการออกแบบป้องกันไฟฟ้าสถิตเพื่อปกป้องฟิล์มถ่ายภาพอย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันการปนเปื้อนและไฟฟ้าสถิตไม่ให้ส่งผลกระทบต่อคุณภาพของฟิล์มถ่ายภาพ ทำให้มั่นใจได้ว่าฟิล์มถ่ายภาพทำงานได้อย่างเสถียร.
  • ประสิทธิภาพการทำงานที่ดีขึ้น: ตู้เก็บฟิล์มภาพให้พื้นที่จัดเก็บที่สะดวกและการออกแบบการใช้งาน ทำให้เข้าถึงและจัดเก็บฟิล์มภาพได้อย่างรวดเร็ว ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพในการทำงานและลดความล่าช้าในกระบวนการผลิต.
  • ความน่าเชื่อถือและการป้องกันระยะยาว: ตู้ถูกสร้างขึ้นด้วยโครงสร้างที่แข็งแรง ทำให้มีความทนทานในระยะยาว ขณะเดียวกันก็รักษาประสิทธิภาพในการป้องกันที่ยอดเยี่ยมเพื่อป้องกันฟิล์มภาพจากความเสียหายเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมภายนอก.
ประโยชน์
  • ข้อดีเหล่านี้ทำให้ตู้ฟิล์มถ่ายภาพเป็นอุปกรณ์ที่ขาดไม่ได้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และการผลิตที่แม่นยำ โดยเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตในขณะที่ลดต้นทุนการดำเนินงานอย่างมีนัยสำคัญ.
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
โมเดลตู้เก็บไนโตรเจนแบบหลายวัตถุประสงค์
BM1296-2
ขนาดภายนอก (มม)W1500 × H1901 × D700
รายการจัดเก็บพ็อดโฟโตมาส์ก, พ็อดขนส่งเวเฟอร์
ช่วงการแสดงอุณหภูมิ0.1 °C ถึง 99.9 °C ± 1 °C
ช่วงการควบคุมความชื้น1% RH ถึง 60% RH ± 3% RH
การใช้พลังงาน16 W
ความจุระดับบน: 60 โฟโตมาสก์พ็อด
ระดับล่าง: 15 วาฟเฟอร์ทรานสปอร์ตพ็อด
แหล่งจ่ายไฟ110 V / 240 V
ความถี่50 Hz / 60 Hz
แกลเลอรี
ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับหน้ากาก - ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับหน้ากาก ให้สภาพแวดล้อมการเก็บที่มั่นคงและปราศจากฝุ่นสำหรับเรติเคิล
ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับหน้ากาก
BM1133-2

ออกแบบมาสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์...

รายละเอียด
ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน - ตู้ไนโตรเจนสำหรับเรติเคิลขนาดนาโน ให้สภาพแวดล้อมการเก็บรักษาที่เสถียรและปราศจากฝุ่นสำหรับเรติเคิล.
ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน
BM1238, BM1273

ออกแบบมาสำหรับการเก็บรักษาเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและฟิล์มโฟโต...

รายละเอียด
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA - ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod FFU + ULPA ถูกออกแบบมาสำหรับการเก็บรักษาเรติเคิลอย่างแม่นยำ โดยมีสภาพแวดล้อมที่สะอาดและเสถียร.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA
BM1277

ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ULPA Filter...

รายละเอียด
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ - ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์
BM1296-2

ฟอตโต้แมสก์มีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการถ่ายโอนลวดลายวงจรลงบนเวเฟอร์...

รายละเอียด
ตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค - ตู้ไนโตรเจนที่มีเรติเคิลปราศจากอนุภาคจะกรองและหมุนเวียนอากาศสะอาดอย่างต่อเนื่องผ่านระบบอากาศคืนที่มีประสิทธิภาพ.
ตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค
BM1305

ในตู้ไนโตรเจนที่มีพ็อดเรติเคิลปราศจากอนุภาค...

รายละเอียด
ชั้นวางเก็บ Reticle Pod ขนาด 9 นิ้ว - ชั้นวางเปิดสำหรับเก็บ Reticle Pod ขนาด 9" ให้พื้นที่เก็บของที่เรียบร้อยและเข้าถึงได้ง่ายสำหรับ photomask pods.
ชั้นวางเก็บ Reticle Pod ขนาด 9 นิ้ว
BM1307

BOSSMEN 9″ ที่เก็บพ็อดเรติเคิลมีการออกแบบแบบเปิดที่สร้างขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการเก็บพ็อดฟอโตมาส์ก....

รายละเอียด
ตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค - การไหลของไนโตรเจนภายในสามารถปรับได้ และการออกแบบที่ปราศจากฝุ่นช่วยปกป้องฟิล์มภาพจากความชื้นและการเกิดออกซิเดชัน.
ตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค
BM1324-2

ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับเลนส์ปราศจากอนุภาคให้การปกป้องที่เหมาะสมสำหรับฟิล์มถ่ายภาพในสภาพแวดล้อมที่สะอาดและควบคุมได้...

รายละเอียด
ตู้เก็บอากาศแห้งสำหรับเรติเคิล RFID. - ตู้ไนโตรเจนสำหรับเรติเคิลที่ปราศจากอนุภาคช่วยให้สามารถระบุ ติดตาม และจัดการเรติเคิลได้โดยอัตโนมัติ.
ตู้เก็บอากาศแห้งสำหรับเรติเคิล RFID.
BM1481-1

ตู้เก็บอากาศแห้ง RFID Reticle Storage (RFID Mask Box) เป็นอุปกรณ์เฉพาะทางที่ออกแบบมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์...

รายละเอียด
ตู้เก็บเรติเคิลที่รวม RFID ขนาด 9" - ระบบจัดเก็บเรติเคิลที่เรียบง่ายและมีประสิทธิภาพ เหมาะสำหรับสภาพแวดล้อมการทำงานที่มีความถี่สูง.
ตู้เก็บเรติเคิลที่รวม RFID ขนาด 9"
PS0001

ตู้เก็บรักษาเรติเคิลที่มี RFID ขนาด...

รายละเอียด

ผลิตภัณฑ์

ดาวน์โหลดแคตตาล็อกผลิตภัณฑ์

ดาวน์โหลดแคตตาล็อกล่าสุดสำหรับรายละเอียดผลิตภัณฑ์.

ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ – การควบคุมความชื้นที่แม่นยำโดย BOSSMEN

ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ ถูกออกแบบมาเพื่อปกป้องวัสดุที่ละเอียดอ่อน อิเล็กทรอนิกส์ และเครื่องมือจากความเสียหายจากความชื้น.BOSSMEN รวมระบบควบคุมความชื้นขั้นสูงเพื่อรักษาระดับความชื้นสัมพัทธ์ที่เสถียร เพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือในการผลิต ห้องปฏิบัติการ และสถานที่วิจัย.

ออกแบบมาอย่างแม่นยำและทนทาน, ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ มอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอสำหรับการจัดเก็บระยะยาวและสภาพแวดล้อมการประมวลผล.จากห้องสะอาดไปจนถึงห้องปฏิบัติการคุณภาพ ผลิตภัณฑ์ของ BOSSMEN ช่วยให้ผู้ใช้ลดการกัดกร่อน, การเกิดออกซิเดชัน, และความเสี่ยงจาก ESD ในขณะที่ยังคงปฏิบัติตามมาตรฐานสิ่งแวดล้อมที่เข้มงวด.

ค้นพบว่า ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์ ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและการอนุรักษ์ในกระบวนการทำงานของคุณได้อย่างไร.แต่ละหน่วยสะท้อนถึงความเชี่ยวชาญในการควบคุมความชื้นของ BOSSMEN ที่มีมานานถึงสามสิบปี โดยรวมเอานวัตกรรม ความปลอดภัย และคุณค่าที่วัดได้สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการ.