ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน – การควบคุมความชื้นที่แม่นยำโดย BOSSMEN
ออกแบบมาสำหรับการเก็บรักษาเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและฟิล์มโฟโต EUV ตู้เก็บนี้ให้สภาพแวดล้อมไนโตรเจนที่สะอาด Class 1 และมีความชื้นต่ำเพื่อปกป้องหน้ากากจากการปนเปื้อน ความเสียหาย และการเกิดออกซิเดชัน.
ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน
BM1238, BM1273
ระบบเก็บรักษาเรติเคิลปราศจากฝุ่น ตู้เก็บรักษาเรติเคิลที่มีประสิทธิภาพสูง.
ออกแบบมาสำหรับการเก็บรักษาเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและฟิล์มโฟโต EUV ตู้เก็บนี้ให้สภาพแวดล้อมไนโตรเจนที่สะอาด Class 1 และมีความชื้นต่ำเพื่อปกป้องหน้ากากจากการปนเปื้อน ความเสียหาย และการเกิดออกซิเดชัน.
ด้วยการไหลของอากาศ XCDA อัตโนมัติ การควบคุม FFU ที่ใช้ออกซิเจน และการกระจายไนโตรเจนหลายชั้น มันจึงมั่นใจได้ว่าสภาพการเก็บรักษามีความเสถียร การกรอง ULPA ที่รวมเข้ากับการตรวจสอบความชื้น/อุณหภูมิแบบเรียลไทม์ช่วยปกป้องคุณภาพของหน้ากาก.
เหมาะสำหรับ EUV, โรงงานโลจิกและหน่วยความจำ, การบรรจุขั้นสูง และ MEMS มีโมดูลาร์และประหยัดพลังงาน เป็นโซลูชันสำคัญสำหรับการผลิตที่มีผลผลิตสูงและเชื่อถือได้สูง.
ฟีเจอร์
- วัสดุและการออกแบบ: ทำจากสแตนเลส SUS 304 ที่มีพื้นผิวขัดเงา มีความต้านทานการกัดกร่อน ติดตั้งหน้าต่างกระจก ล้อเบรกที่รับน้ำหนักสูง และขาเลเวลเพื่อให้การออกแบบโครงสร้างมีความมั่นคงและทนทาน.
- การปรับการไหลของไนโตรเจน: แหล่งดูดอากาศสามารถเลือกได้ระหว่างไนโตรเจนและ XCDA (อากาศแห้ง) เพื่อให้มีตัวเลือกแหล่งก๊าซที่ยืดหยุ่น.
- การจัดการการเก็บและเข้าถึงเรติเคิล: ติดตั้งเครื่องอ่านบัตรควบคุมการเข้าถึงและระบบ RFID ที่สามารถตั้งโปรแกรมได้เพื่อจัดการการเก็บและการเรียกคืนเรติเคิลอย่างมีประสิทธิภาพ เพิ่มความปลอดภัยและความแม่นยำ.
- การตรวจสอบการไหลของไนโตรเจนอย่างอิสระ: ทุกพ็อดเรติเคิลสามารถตรวจสอบการไหลของไนโตรเจนได้อย่างอิสระและรายงานข้อมูล โดยใช้การออกแบบที่ประหยัดพลังงานและเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมเพื่อลดการใช้ไนโตรเจนที่ไม่จำเป็น.
- การออกแบบตู้: ติดตั้งฟิลเตอร์ ULPA และฟิลเตอร์เคมี มีการออกแบบที่ป้องกันฝุ่นด้วยความดันบวกเพื่อป้องกันสิ่งปนเปื้อนจากการเข้ามาอย่างมีประสิทธิภาพ.
- การตรวจสอบอุณหภูมิและความชื้น: อนุญาตให้ตั้งค่า บันทึก แจ้งเตือน และปรับเทียบค่าความชื้นและอุณหภูมิ โดยมีช่วงการปรับความชื้นอยู่ที่ 5%-60% RH.
- ฟังก์ชันเตือนภัย: เมื่อมีความผิดปกติระหว่างการวางหรือการนำพ็อดเรติเคิลออก ระบบจะส่งสัญญาณเตือนและบันทึกเหตุการณ์เพื่อให้แน่ใจว่าการทำงานเป็นไปอย่างถูกต้อง.
- โหมดความปลอดภัย: ติดตั้งสัญญาณเตือนสำหรับเวลาประตูเปิดเกินขีดจำกัด ความชื้นสูง และความเข้มข้นของออกซิเจนที่มากเกินไป เพื่อให้การป้องกันความปลอดภัยที่ครอบคลุม.
- สเปคพลังงาน: รองรับแหล่งจ่ายไฟ 110V/240V, 50-60Hz ซึ่งเป็นไปตามมาตรฐานสากลและเหมาะสำหรับความต้องการในอุตสาหกรรมต่างๆ.
- ระบบจ่ายก๊าซ: เมื่อการไหลของอากาศ FFU ถูกเปิดใช้งาน, การดูดอากาศ XCDA จะเริ่มทำงานโดยอัตโนมัติ, เพื่อให้แน่ใจว่าอากาศแห้งไหลเข้าสู่ระบบ.
- การรับและยืนยันไนโตรเจน (N2): ไนโตรเจนจะผ่านเครื่องกรองไนโตรเจนและถูกกระจายไปยังแต่ละพ็อดเรติเคิลในชั้นต่างๆ ท่อระบายออกติดตั้งเซ็นเซอร์วัดอุณหภูมิและความชื้นเพื่อตรวจสอบการไหลของไนโตรเจนและรับประกันสภาพการเก็บรักษาที่เสถียรสำหรับฟิล์มถ่ายภาพ.
- ยูนิตพัดลมกรองที่สามารถตั้งโปรแกรมได้ (FFU): เงื่อนไขการเปิดใช้งาน FFU ถูกตั้งค่าตามระดับความเข้มข้นของออกซิเจน เพื่อให้การกรองและการหมุนเวียนอากาศมีความแม่นยำ.
- ตัวกรองเคมี: กรองสารปนเปื้อนทางเคมีอย่างมีประสิทธิภาพ เช่น ไอออนคาร์บอเนต ซัลไฟด์ และแอมโมเนียในอากาศแห้ง เพื่อปกป้องฟิล์มโฟโตจากมลพิษ.
- ตัวกรองอากาศ (ULPA): สามารถกรองอนุภาคขนาดเล็กพิเศษได้ ทำให้ได้ระดับความสะอาด Class 1 และสร้างสภาพแวดล้อมที่ปราศจากฝุ่น.
- เครื่องกรองไนโตรเจน: กรองสารปนเปื้อนทางเคมี เช่น ไอออนคาร์บอเนต ซัลไฟด์ และแอมโมเนียจากไนโตรเจน เพื่อให้สภาพแวดล้อมในการเก็บรักษายังคงอยู่ในสภาพที่บริสุทธิ์ที่สุด.
ประโยชน์
- สภาพแวดล้อมการเก็บรักษาที่สะอาดในระดับนาโนเพื่อปกป้องคุณภาพของฟิล์มถ่ายภาพ: ติดตั้งระบบกรองประสิทธิภาพสูง ULPA ที่มีความสะอาดระดับ Class 1 ซึ่งสามารถแยกอนุภาคในอากาศและสารปนเปื้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพ เพื่อให้แน่ใจว่าฟิล์มถ่ายภาพจะไม่ถูกกระทบจากปัจจัยภายนอกในระหว่างการเก็บรักษา.
- การควบคุมก๊าซอัตโนมัติสำหรับความชื้นและความสะอาดที่เสถียร: การออกแบบการดูดอากาศอัตโนมัติและการกระจายการทำให้บริสุทธิ์ของไนโตรเจน XCDA ร่วมกับเซ็นเซอร์อุณหภูมิ ความชื้น และการควบคุมความเข้มข้นของ O₂ จะทำการตรวจสอบและปรับสภาพการเก็บรักษาอย่างต่อเนื่องเพื่อป้องกันการเสื่อมสภาพของฟิล์มฟอโตมาสก์จากความชื้นหรือการสัมผัสกับออกซิเจน.
- การทำงานที่ประหยัดพลังงานเพื่อลดการใช้ไนโตรเจน: ระบบควบคุม FFU อัจฉริยะในตัวจะทำงานตามความเข้มข้นของออกซิเจนแบบเรียลไทม์ และการออกแบบโมดูลาร์จะช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการไหลของอากาศ ทำให้ประหยัดไนโตรเจนและพลังงานได้สูงสุด.
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
| รุ่น | ตู้ไนโตรเจนสำหรับ Pod Reticle ขนาดนาโน BM1283-2 | ตู้ไนโตรเจนสำหรับ Pod Reticle ขนาดนาโน BM1273 |
|---|---|---|
| ขนาดภายนอก (มม) | W2800 x H2150 x D750 | W1800 x H2071 x D550 |
| เนื้อหาที่เก็บ | RSP200 หรือ EVU POD | |
| การแสดงอุณหภูมิ | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C | |
| ช่วงควบคุมความชื้น | 5%RH ~ 60% ± 3%RH | |
| ความจุ | 40ชิ้น | 8ชิ้น |
| แรงดันไฟฟ้า | 110V/240V | |
| ความถี่ | 50Hz/60Hz | |
- แกลเลอรี
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod ขนาดนาโน BM1273.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod ขนาดนาโนเหมาะสำหรับการเก็บกล่องเรติเคิล RSP200 หรือ EVU POD.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod ขนาดนาโนทำจากสแตนเลส SUS 304 ที่มีความต้านทานการกัดกร่อน.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod ขนาดนาโน BM1238.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod ขนาดนาโนมีระบบ RFID เพื่อจัดการการเก็บและเรียกคืนเรติเคิล.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod ขนาดนาโนมีฟิลเตอร์ ULPA และฟิลเตอร์เคมี.
ดาวน์โหลด ผลิตภัณฑ์ยอดนิยม
ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน – การควบคุมความชื้นที่แม่นยำโดย BOSSMEN
ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน ถูกออกแบบมาเพื่อปกป้องวัสดุที่ละเอียดอ่อน อิเล็กทรอนิกส์ และเครื่องมือจากความเสียหายจากความชื้น.BOSSMEN รวมระบบควบคุมความชื้นขั้นสูงเพื่อรักษาระดับความชื้นสัมพัทธ์ที่เสถียร เพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือในการผลิต ห้องปฏิบัติการ และสถานที่วิจัย.
ออกแบบมาอย่างแม่นยำและทนทาน, ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน มอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอสำหรับการจัดเก็บระยะยาวและสภาพแวดล้อมการประมวลผล.จากห้องสะอาดไปจนถึงห้องปฏิบัติการคุณภาพ ผลิตภัณฑ์ของ BOSSMEN ช่วยให้ผู้ใช้ลดการกัดกร่อน, การเกิดออกซิเดชัน, และความเสี่ยงจาก ESD ในขณะที่ยังคงปฏิบัติตามมาตรฐานสิ่งแวดล้อมที่เข้มงวด.
ค้นพบว่า ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและการอนุรักษ์ในกระบวนการทำงานของคุณได้อย่างไร.แต่ละหน่วยสะท้อนถึงความเชี่ยวชาญในการควบคุมความชื้นของ BOSSMEN ที่มีมานานถึงสามสิบปี โดยรวมเอานวัตกรรม ความปลอดภัย และคุณค่าที่วัดได้สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการ.