當FFU（可程式過濾風車組）啟動時，系統自動開啟XCDA（極度乾燥空氣）進氣，確保乾燥潔淨氣體流入儲存區。氮氣經過純化器處理後分層導入各光罩盒，並於出氣端配置溫濕度感測器，即時監控儲存環境，確保氮氣流通與濕度穩定。FFU可根據氧濃度自動調節啟動條件，搭配ULPA空氣過濾網，有效過濾超細微粒，達成Class 1潔淨度標準。
本產品適用於EUV光罩、先進邏輯與記憶體製程、高階封裝、光電元件與MEMS製造等產業，是確保高良率與穩定供應鏈的關鍵設備。模組化設計可依需求擴充，兼具高效、節能與智能管理功能。

產品特性

● 材質與設計：採用不鏽鋼SUS 304亮面材質，具防腐蝕功能，並設有玻璃視窗、高載重剎車輪及水平腳墊，提供穩定且耐用的結構設計。
● 氮氣流量調節：進氣源可選擇氮氣及XCDA（乾燥空氣），提供靈活的氣源選擇。
● 光罩儲放取出管理：配備門禁刷卡及RFID程控系統，有效管理光罩的存取操作，提升安全性及精確度。
● 獨立氮氣流量監控：每個光罩盒均可獨立監控氮氣流量並回報數據，採用超環保節能設計，降低不必要的氮氣消耗。
● 櫃體設計：
安裝了ULPA網及化學濾網，採用正壓防塵潔淨設計，有效防止污染物進入。
溫濕度監控：可設定、紀錄、警報及偏移校正溫濕度，並支援濕度調整範圍5% - 60%RH。
警示功能：當光罩盒放入及取出異常時，系統會發出警報並記錄事件，確保操作流程無誤。
安全模式：配備門扇開門時間過長警報、濕氣過高警報及氧濃度過高警報，提供全方位的安全保障。
電源規格：支援110V/240V，50-60Hz電源，符合國際標準，適用於各種工業需求。
供氣系統:當FFU風量啟動時，XCDA進氣會自動啟動，確保乾燥空氣流入系統。
氮氣 (N2) 進氣啟動與確認：氮氣經過氮氣純化器過濾後，分層分流進入各個光罩盒。出氣管路配備溫濕度感測器，監控氮氣流出狀況，確保光罩儲存環境穩定。
可程式過濾風車組 (FFU)：使用氧濃度數值來設定FFU啟動條件，實現精確的空氣過濾與流通。
化學過濾網：能有效過濾乾燥空氣中的碳酸根離子、硫化物、氨氣等化學汙染氣體，保護光罩免受污染。
空氣過濾網 (ULPA)：可過濾極細粉塵，達到Class 1等級，提供無塵環境。
氮氣純化器：能過濾氮氣中的碳酸根離子、硫化物、氨氣等化學汙染氣體，確保儲存環境達到最純淨狀態。

產品優勢

• 奈米級潔淨儲存環境，守護光罩品質：採用ULPA高效過濾系統，達Class 1無塵等級，有效隔絕空氣中微粒與污染物，確保光罩在儲存期間不受外部環境影響。
• 自動氣體控制，濕度與潔淨度雙重穩定：XCDA自動進氣與氮氣純化分流設計，搭配溫濕度感測與O₂濃度控制，全天候監控與調節儲存條件，避免光罩因濕氣、氧氣而劣化。
• 節能高效運作，降低氮氣耗損：內建智慧型FFU控制系統，可依實際氧濃度條件啟動風車，並以模組化設計優化氣流路徑，達到氮氣節省與能源效率最大化。
• 多元產業應用，彈性擴充設計：可應用於半導體、光電、EUV、高階封裝等場域，櫃體支援客製化與模組擴充，滿足不同製程與儲存需求，是潔淨室設備的最佳選擇。

相片集

• 

  精密潔淨奈米級光罩，採用不鏽鋼SUS 304亮面材質，具防腐蝕功能，可以存放8個RSP200或EVU POD光罩盒。

• 

  BM1273精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃。

• 

  精密潔淨奈米級光罩，具防腐蝕功能，可以存放40個RSP200或EVU POD光罩盒。

• 

  軟體獨立氮氣流量監控，每個光罩盒均可獨立監控氮氣流量並回報數據，採用超環保節能設計。

• 

  精密潔淨奈米級光罩配備取出管理，配備門禁刷卡及RFID程控系統。

• 

  精密潔淨奈米級光罩，安裝了ULPA網及化學濾網，採用正壓防塵潔淨設計。

關聯產品

光罩儲存氮氣櫃

BM1133-2

在半導體與光電製程中，任何微小的污染都可能導致整批晶圓報廢，特別是光罩儲存環節的環境控管更是不容忽視。博士門光罩儲存氮氣櫃專為高階製程需求打造，提供穩定潔淨的低濕氮氣環境，有效降低光罩表面化學污染、靜電損傷與微粒附著風險，進一步提升製程良率與產品可靠度。

細節

精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃

BM1238, BM1273

精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃專為先進半導體製程與奈米級光罩儲存需求設計，提供Class...

細節

無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃

BM1277

光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃是專為半導體及光電產業設計的高潔淨度儲存設備，有效保護Reticle...

細節

多用途光罩儲存氮氣櫃

BM1296-2

光罩是將積體電路的各種電路設計圖案轉印到晶圓上的關鍵模具，對晶圓生產至關重要，經由微影技術，光罩將設計圖案縮小並透過曝光反映於晶圓上，如果光罩品質出現缺陷，這些缺陷將被複製到晶圓的每個晶粒上，直接影響晶圓的良率。 隨著微影技術的進步，光罩圖案越來越精細，光罩污染及良率損失的風險也隨之增加，倍縮光罩的塗層特別精細且易受損，外來的粉塵與化學殘留物，都是潛在的污染源，對光罩品質構成威脅。 除了光罩本身的製造品質，光罩的保存方式也極為重要，為了確保光罩的長期穩定性，通常會將光罩存放在潔淨的氮氣櫃中，藉由氮氣清除光罩上的化學污染，並保持適當的濕度環境。 我們的多用途光罩儲存氮氣櫃專為滿足不同客戶需求而設計，具備高效、智能的儲存解決方案，特別適合需要高度精密環境的光罩與晶圓傳送盒

細節

RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃

BM1305

回風功能是指空氣循環系統中的一部分，將室內空氣吸回並經過過濾後再進行排放或循環使用，此系統可有效保持儲存環境中的空氣潔淨，特別是在需要高潔淨度的場所（如光罩儲存櫃）中，對於過濾極細粉塵和有害物質至關重要。 在RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃中，回風系統會將櫃內的空氣吸入並過濾，去除其中的污染物，保證光罩處於潔淨、無塵的環境，從而降低光罩受損和污染的風險，確保其品質穩定。

細節

開放式9寸光罩儲存櫃

BM1307

這款光罩櫃為開放式設計，專為存放光罩盒而打造。此產品不具備控濕功能，也不提供氮氣填充，因此適用於對環境要求較低的存儲需求，9吋光罩盒儲物架提供有效空間管理，方便存取光罩盒，適用於一般儲存用途，無需額外的氣體或濕度控制系統。

細節

RFID無塵光罩儲存氮氣櫃

BM1324-2

RFID無塵光罩儲存氮氣櫃為光罩提供最佳保護，並在潔淨、受控的環境中儲存。通過氮氣充填來防止濕氣和氧化，從而保持光罩的品質並延長其使用壽命。無塵設計確保儲存空間無污染，避免外界顆粒進入。 配備RFID技術，該櫃能夠輕鬆跟蹤和管理光罩，提高庫存效率。可調節的氮氣流量讓使用者能夠根據具體需求定制儲存條件，保持穩定的低氧環境。 這款無塵光罩儲存櫃是高精度行業的理想選擇，保證安全可靠的光罩儲存，並有效防止環境因素造成損害。憑藉其先進的功能，它是無污染光罩儲存的必備解決方案。

細節

RFID光罩儲存乾燥空氣櫃

BM1481-1

RFID光罩儲存乾燥空氣櫃（RFID Mask Box）是一種用於半導體產業的設備，專門設計用於儲存和管理光罩（Mask）的工具。 光罩是半導體製造過程中用於曝光的重要元件，它們用於在光刻過程中定義電路圖案。由於光罩非常精密且昂貴，必須確保其安全存放和精確管理。 RFID光罩儲存乾燥空氣櫃透過採用無線射頻辨識（RFID）技術，實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。

細節

開放式9寸RFID光罩儲存櫃

PS0001

開放式9寸RFID光罩儲存櫃-簡單而高效的光罩儲存系統，適用於高頻繁的操作開放式9寸RFID光罩儲存櫃設計簡單而高效，專為高頻繁操作環境中的光罩儲存需求而打造。開放式架構方便快速存取，提升工作效率，並有效減少操作過程中的繁瑣。 配備...

細節