當FFU（可程式過濾風車組）啟動時，系統自動開啟XCDA（極度乾燥空氣）進氣，確保乾燥潔淨氣體流入儲存區。氮氣經過純化器處理後分層導入各光罩盒，並於出氣端配置溫濕度感測器，即時監控儲存環境，確保氮氣流通與濕度穩定。FFU可根據氧濃度自動調節啟動條件，搭配ULPA空氣過濾網，有效過濾超細微粒，達成Class 1潔淨度標準。
本產品適用於EUV光罩、先進邏輯與記憶體製程、高階封裝、光電元件與MEMS製造等產業，是確保高良率與穩定供應鏈的關鍵設備。模組化設計可依需求擴充，兼具高效、節能與智能管理功能。

產品特性

● 材質與設計：採用不鏽鋼SUS 304亮面材質，具防腐蝕功能，並設有玻璃視窗、高載重剎車輪及水平腳墊，提供穩定且耐用的結構設計。
● 氮氣流量調節：進氣源可選擇氮氣及XCDA（乾燥空氣），提供靈活的氣源選擇。
● 光罩儲放取出管理：配備門禁刷卡及RFID程控系統，有效管理光罩的存取操作，提升安全性及精確度。
● 獨立氮氣流量監控：每個光罩盒均可獨立監控氮氣流量並回報數據，採用超環保節能設計，降低不必要的氮氣消耗。
● 櫃體設計：
安裝了ULPA網及化學濾網，採用正壓防塵潔淨設計，有效防止污染物進入。
溫濕度監控：可設定、紀錄、警報及偏移校正溫濕度，並支援濕度調整範圍5% - 60%RH。
警示功能：當光罩盒放入及取出異常時，系統會發出警報並記錄事件，確保操作流程無誤。
安全模式：配備門扇開門時間過長警報、濕氣過高警報及氧濃度過高警報，提供全方位的安全保障。
電源規格：支援110V/240V，50-60Hz電源，符合國際標準，適用於各種工業需求。
供氣系統:當FFU風量啟動時，XCDA進氣會自動啟動，確保乾燥空氣流入系統。
氮氣 (N2) 進氣啟動與確認：氮氣經過氮氣純化器過濾後，分層分流進入各個光罩盒。出氣管路配備溫濕度感測器，監控氮氣流出狀況，確保光罩儲存環境穩定。
可程式過濾風車組 (FFU)：使用氧濃度數值來設定FFU啟動條件，實現精確的空氣過濾與流通。
化學過濾網：能有效過濾乾燥空氣中的碳酸根離子、硫化物、氨氣等化學汙染氣體，保護光罩免受污染。
空氣過濾網 (ULPA)：可過濾極細粉塵，達到Class 1等級，提供無塵環境。
氮氣純化器：能過濾氮氣中的碳酸根離子、硫化物、氨氣等化學汙染氣體，確保儲存環境達到最純淨狀態。

產品優勢

• 奈米級潔淨儲存環境，守護光罩品質：採用ULPA高效過濾系統，達Class 1無塵等級，有效隔絕空氣中微粒與污染物，確保光罩在儲存期間不受外部環境影響。
• 自動氣體控制，濕度與潔淨度雙重穩定：XCDA自動進氣與氮氣純化分流設計，搭配溫濕度感測與O₂濃度控制，全天候監控與調節儲存條件，避免光罩因濕氣、氧氣而劣化。
• 節能高效運作，降低氮氣耗損：內建智慧型FFU控制系統，可依實際氧濃度條件啟動風車，並以模組化設計優化氣流路徑，達到氮氣節省與能源效率最大化。
• 多元產業應用，彈性擴充設計：可應用於半導體、光電、EUV、高階封裝等場域，櫃體支援客製化與模組擴充，滿足不同製程與儲存需求，是潔淨室設備的最佳選擇。

相片集

• 

  精密潔淨奈米級光罩，採用不鏽鋼SUS 304亮面材質，具防腐蝕功能，可以存放8個RSP200或EVU POD光罩盒。

• 

  BM1273精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃。

• 

  精密潔淨奈米級光罩，具防腐蝕功能，可以存放40個RSP200或EVU POD光罩盒。

• 

  軟體獨立氮氣流量監控，每個光罩盒均可獨立監控氮氣流量並回報數據，採用超環保節能設計。

• 

  精密潔淨奈米級光罩配備取出管理，配備門禁刷卡及RFID程控系統。

• 

  精密潔淨奈米級光罩，安裝了ULPA網及化學濾網，採用正壓防塵潔淨設計。