光罩櫃

精確濕度控制,確保光罩穩定儲存 / 提供掛畫架、展示櫃、環境控濕設備的整合解決方案。

博士門光罩櫃系列專為高精密光罩儲存需求設計,提供全方位的濕度控制解決方案。

光罩櫃

精確濕度控制,確保光罩穩定儲存

博士門光罩櫃專為高精密光罩儲存需求設計,提供全方位的濕度控制解決方案。無論是防潮、防塵、溫控、真空或抗靜電光罩盒需求,每款光罩儲存櫃均可根據光罩盒的形式量身定制,適應不同環境需求,提供最佳儲存環境,確保光罩長期穩定、高效運行。


博士門高效率光罩儲存方案:節省氣體、提升效率,專為半導體與光學產業設計

此外,我們的光罩櫃系列還具備先進的單獨儲位充氣與整間儲位充氣設計,支持氮氣與CDA氣體的填充,以滿足不同科技廠原有設備匹配需求,達到濕度值自動停止填充,經過工研院測試,這些設計可節省80%以上的氮氣流量,大幅提升儲存效率並降低運營成本。

● 智慧管理光罩櫃:配有RFID管理系統,可實現智能化管理與監控,減少人工失誤,確保光罩儲存與使用的準確性。
● 無塵回風系統(FFU)光罩櫃:確保光罩在潔淨環境中儲存,防止污染。
● ULPA濾網光罩櫃:ULPA濾網能過濾99.999% 以上的微粒,為光罩提供極致的保護,特別適合半導體、光學和精密製程中的光罩儲存。

博士門光罩櫃系列,無論在精密儲存、智能管理還是環境控制方面,都能為您的光罩提供最安全、最可靠的儲存解決方案。

多樣化儲存解決方案,滿足您的不同濕度需求

博士門光罩櫃系列提供多種專業設計,滿足不同光罩儲存需求,無論是對濕度要求較低或較高的環境,我們都能提供最佳的解決方案。每款光罩櫃都經過精心設計,確保光罩在穩定環境下得到妥善儲存,避免外部污染或不良環境條件影響光罩品質。

主要特色與優勢:

光罩平放櫃
● 無控濕開方式層架設計,適合對濕度要求不高的光罩儲存,提供簡單且高效的儲存方式。
● 適用於一般環境下,對濕度控制要求較低的光罩儲存需求。
● 開放式層架設計可方便存取光罩,增加操作便利性。

密閉光罩存放
● 整層控濕密閉層架設計,適合對濕度要求較高的光罩儲存,提供穩定濕度環境,有效防止濕氣對光罩的損害。
● 完全密閉的設計能夠防止外界濕氣的影響,確保儲存空間的濕度穩定,適合對環境要求高的光罩或敏感物品。

獨立儲位光罩存放
● 單獨控濕的密閉層架設計,適合存放不同濕度要求的光罩盒,能夠為每個儲位提供專屬的濕度控制。
● 適用於需要多樣化濕度控制的環境,可以根據每個光罩盒的具體要求提供最佳的濕度條件,實現精確的儲存環境控制。

為什麼選擇博士門光罩櫃系列?

● 多種設計選擇:根據光罩的濕度需求,提供無控濕、控濕或單獨控濕的設計,滿足不同環境條件。
● 精確環境控制:專業設計能夠有效維持儲存環境的穩定性,避免外部因素對光罩造成污染、氧化或損壞。
● 適用於多種光罩應用:適合半導體、光學、精密儀器及其他高精度製程中的光罩儲存。

博士門光罩櫃系列以其先進的控濕技術、靈活的設計方案和高效的環境控制能力,成為精密光罩儲存和保護的理想選擇,確保光罩在長期儲存過程中保持最佳狀態。

光罩櫃

  • 展示:
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光罩儲存氮氣櫃 - 光罩儲存氮氣櫃,提供光罩穩定的無塵存放環境。
光罩儲存氮氣櫃
BM1133-2

在半導體與光電製程中,任何微小的污染都可能導致整批晶圓報廢,特別是光罩儲存環節的環境控管更是不容忽視。博士門光罩儲存氮氣櫃專為高階製程需求打造,提供穩定潔淨的低濕氮氣環境,有效降低光罩表面化學污染、靜電損傷與微粒附著風險,進一步提升製程良率與產品可靠度。

細節
精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃 - 精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃,提供光罩穩定的無塵存放環境。
精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃
BM1238, BM1273

精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃專為先進半導體製程與奈米級光罩儲存需求設計,提供Class...

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無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃 - 光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃專為精密光罩的保存設計,提供潔淨、穩定的光罩儲存環境。
無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃
BM1277

光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃是專為半導體及光電產業設計的高潔淨度儲存設備,有效保護Reticle...

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多用途光罩儲存氮氣櫃 - 用途光罩儲存氮氣櫃專為精密光罩的保存設計,提供潔淨、穩定的光罩儲存環境。
多用途光罩儲存氮氣櫃
BM1296-2

光罩是將積體電路的各種電路設計圖案轉印到晶圓上的關鍵模具,對晶圓生產至關重要,經由微影技術,光罩將設計圖案縮小並透過曝光反映於晶圓上,如果光罩品質出現缺陷,這些缺陷將被複製到晶圓的每個晶粒上,直接影響晶圓的良率。隨著微影技術的進步,光罩圖案越來越精細,光罩污染及良率損失的風險也隨之增加,倍縮光罩的塗層特別精細且易受損,外來的粉塵與化學殘留物,都是潛在的污染源,對光罩品質構成威脅。除了光罩本身的製造品質,光罩的保存方式也極為重要,為了確保光罩的長期穩定性,通常會將光罩存放在潔淨的氮氣櫃中,藉由氮氣清除光罩上的化學污染,並保持適當的濕度環境。我們的多用途光罩儲存氮氣櫃專為滿足不同客戶需求而設計,具備高效、智能的儲存解決方案,特別適合需要高度精密環境的光罩與晶圓傳送盒

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RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃 - RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃通過高效的回風系統,持續過濾並循環潔淨空氣。
RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃
BM1305

回風功能是指空氣循環系統中的一部分,將室內空氣吸回並經過過濾後再進行排放或循環使用,此系統可有效保持儲存環境中的空氣潔淨,特別是在需要高潔淨度的場所(如光罩儲存櫃)中,對於過濾極細粉塵和有害物質至關重要。 在RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃中,回風系統會將櫃內的空氣吸入並過濾,去除其中的污染物,保證光罩處於潔淨、無塵的環境,從而降低光罩受損和污染的風險,確保其品質穩定。

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開放式9寸光罩儲存櫃 - 開放式9寸光罩儲存櫃,提供光罩盒整齊擺放便捷拿取儲存空間。
開放式9寸光罩儲存櫃
BM1307

這款光罩櫃為開放式設計,專為存放光罩盒而打造。此產品不具備控濕功能,也不提供氮氣填充,因此適用於對環境要求較低的存儲需求,9吋光罩盒儲物架提供有效空間管理,方便存取光罩盒,適用於一般儲存用途,無需額外的氣體或濕度控制系統。

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RFID無塵光罩儲存氮氣櫃 - 內部氮氣流量可調節,無塵設計保護光罩免受濕氣和氧化影響。
RFID無塵光罩儲存氮氣櫃
BM1324-2

RFID無塵光罩儲存氮氣櫃為光罩提供最佳保護,並在潔淨、受控的環境中儲存。通過氮氣充填來防止濕氣和氧化,從而保持光罩的品質並延長其使用壽命。無塵設計確保儲存空間無污染,避免外界顆粒進入。 配備RFID技術,該櫃能夠輕鬆跟蹤和管理光罩,提高庫存效率。可調節的氮氣流量讓使用者能夠根據具體需求定制儲存條件,保持穩定的低氧環境。這款無塵光罩儲存櫃是高精度行業的理想選擇,保證安全可靠的光罩儲存,並有效防止環境因素造成損害。憑藉其先進的功能,它是無污染光罩儲存的必備解決方案。

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RFID光罩儲存乾燥空氣櫃 - RFID光罩儲存乾燥空氣櫃實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。
RFID光罩儲存乾燥空氣櫃
BM1481-1

RFID光罩儲存乾燥空氣櫃(RFID Mask Box)是一種用於半導體產業的設備,專門設計用於儲存和管理光罩(Mask)的工具。 光罩是半導體製造過程中用於曝光的重要元件,它們用於在光刻過程中定義電路圖案。由於光罩非常精密且昂貴,必須確保其安全存放和精確管理。 RFID光罩儲存乾燥空氣櫃透過採用無線射頻辨識(RFID)技術,實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。

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開放式9寸RFID光罩儲存櫃 - 簡單而高效的光罩儲存系統,適用於高頻繁的操作環境。
開放式9寸RFID光罩儲存櫃
PS0001

開放式9寸RFID光罩儲存櫃-簡單而高效的光罩儲存系統,適用於高頻繁的操作開放式9寸RFID光罩儲存櫃設計簡單而高效,專為高頻繁操作環境中的光罩儲存需求而打造。開放式架構方便快速存取,提升工作效率,並有效減少操作過程中的繁瑣。 配備...

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博士門 光罩櫃介紹

博士門股份有限公司是台灣一家擁有超過30年經驗的專業光罩櫃生產服務商。 我們成立於西元1993年, 在電子零組件製造業領域上, 博士門提供專業高品質的光罩櫃製造服務, 博士門結合先進的檢測設備,進行全面的品質檢驗與測試,包括尺寸精度、功能測試、耐久性檢驗等,確保產品符合客戶需求和市場規範。