光罩櫃

精確濕度控制，確保光罩穩定儲存

博士門光罩櫃專為高精密光罩儲存需求設計，提供全方位的濕度控制解決方案。無論是防潮、防塵、溫控、真空或抗靜電光罩盒需求，每款光罩儲存櫃均可根據光罩盒的形式量身定制，適應不同環境需求，提供最佳儲存環境，確保光罩長期穩定、高效運行。

博士門高效率光罩儲存方案：節省氣體、提升效率，專為半導體與光學產業設計

此外，我們的光罩櫃系列還具備先進的單獨儲位充氣與整間儲位充氣設計，支持氮氣與CDA氣體的填充，以滿足不同科技廠原有設備匹配需求，達到濕度值自動停止填充，經過工研院測試，這些設計可節省80%以上的氮氣流量，大幅提升儲存效率並降低運營成本。

● 智慧管理光罩櫃：配有RFID管理系統，可實現智能化管理與監控，減少人工失誤，確保光罩儲存與使用的準確性。
● 無塵回風系統（FFU）光罩櫃：確保光罩在潔淨環境中儲存，防止污染。
● ULPA濾網光罩櫃：ULPA濾網能過濾99.999% 以上的微粒，為光罩提供極致的保護，特別適合半導體、光學和精密製程中的光罩儲存。

博士門光罩櫃系列，無論在精密儲存、智能管理還是環境控制方面，都能為您的光罩提供最安全、最可靠的儲存解決方案。

多樣化儲存解決方案，滿足您的不同濕度需求

博士門光罩櫃系列提供多種專業設計，滿足不同光罩儲存需求，無論是對濕度要求較低或較高的環境，我們都能提供最佳的解決方案。每款光罩櫃都經過精心設計，確保光罩在穩定環境下得到妥善儲存，避免外部污染或不良環境條件影響光罩品質。

主要特色與優勢：

光罩平放櫃
● 無控濕開方式層架設計，適合對濕度要求不高的光罩儲存，提供簡單且高效的儲存方式。
● 適用於一般環境下，對濕度控制要求較低的光罩儲存需求。
● 開放式層架設計可方便存取光罩，增加操作便利性。

密閉光罩存放
● 整層控濕密閉層架設計，適合對濕度要求較高的光罩儲存，提供穩定濕度環境，有效防止濕氣對光罩的損害。
● 完全密閉的設計能夠防止外界濕氣的影響，確保儲存空間的濕度穩定，適合對環境要求高的光罩或敏感物品。

獨立儲位光罩存放
● 單獨控濕的密閉層架設計，適合存放不同濕度要求的光罩盒，能夠為每個儲位提供專屬的濕度控制。
● 適用於需要多樣化濕度控制的環境，可以根據每個光罩盒的具體要求提供最佳的濕度條件，實現精確的儲存環境控制。

為什麼選擇博士門光罩櫃系列？

● 多種設計選擇：根據光罩的濕度需求，提供無控濕、控濕或單獨控濕的設計，滿足不同環境條件。
● 精確環境控制：專業設計能夠有效維持儲存環境的穩定性，避免外部因素對光罩造成污染、氧化或損壞。
● 適用於多種光罩應用：適合半導體、光學、精密儀器及其他高精度製程中的光罩儲存。

博士門光罩櫃系列以其先進的控濕技術、靈活的設計方案和高效的環境控制能力，成為精密光罩儲存和保護的理想選擇，確保光罩在長期儲存過程中保持最佳狀態。