本產品廣泛應用於半導體晶圓製造、先進封裝、光電元件開發及微機電產線等場域。櫃體採節能型氣密設計，內建高效氮氣循環系統，較傳統氮氣櫃節省超過80%氮氣用量。搭配即時溫濕度監控顯示與視覺化管理介面，使用者可快速掌握儲存環境狀況，確保光罩長期保存條件穩定一致。
博士門光罩儲存氮氣櫃除了在空間、節能與操作便捷性方面表現出色，更能協助產線有效控制污染源，是維護高良率生產流程中不可或缺的關鍵設備。

產品特性

• 材質與設計：採用不鏽鋼SUS 304亮面材質，具有防腐蝕、抗氧化的優點，並配備防滑避震橡膠腳墊，結構堅固，使用耐久。
• 氮氣流量調節：配備可調節氮氣流量計，範圍為5～50 LPM，確保氮氣穩定供應，滿足不同儲放需求。
• 高精密溫濕度控制：內建高精密溫濕度感測器，並透過LED數字顯示實時監控，濕度精確至3%RH。
• 濕度設定與節能控制：濕度範圍可設定於1%～60%RH，並可通過自動控制氣體流入來實現節能效果，有效降低能耗。
• 數據儲存與連接功能：內建記憶體可存儲11,900筆數據，並支援RS232連接與多種格式匯出，方便數據管理與外部設備整合。
• 蜂鳴閃爍警報：當環境條件異常或設定範圍被突破時，設備會發出蜂鳴聲並伴隨閃爍的警示燈，及時提醒使用者處理異常狀況。
• 面板鎖定功能：設有面板鎖定功能，可防止無意間觸碰或調整設置，保證設備設定的穩定性與安全性。
• 偏移校正功能：具備偏移校正功能，使用者可以校正感測器或設備的數據，確保測量的準確性和可靠性。

產品優勢

• 氮氣節省效果顯著：經工研院測試，光罩櫃能有效節省80%以上的氮氣流量，降低氮氣消耗，幫助企業節省成本，同時保持光罩的潔淨度與穩定性。
• 高度客製化設計：根據不同需求，光罩櫃可客製化光罩儲放數量及櫃體結構，提供最佳的儲存方案，滿足不同規模與生產環境的需求。
• 精密保護與穩定環境控制：內部可精確調節濕度，並搭配防靜電設計，有效保護光罩，避免污染及靜電對光罩的影響，確保光罩品質穩定。
• 提升工作效率：光罩櫃提供便利的儲存空間與操作設計，方便快速存取光罩，提升操作效率，減少生產過程中的延誤。
• 可靠性與長效保護：光罩櫃具備堅固的結構，長期使用中能保持優良的保護效果，避免光罩因外部環境變化而遭受損害。

這些優勢使得光罩櫃成為半導體、光電製程及精密製造領域中不可或缺的設備，既能提升生產效率，又能顯著降低運營成本。

相片集

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  光罩儲存氮氣櫃根據不同需求客製化儲放數量及櫃體結構，提供最適合您儲存方案。

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  光罩儲存氮氣櫃經工研院測試有效節省80%以上的氮氣流量，降低氮氣消耗，幫助企業節省成本，同時保持光罩的潔淨度與穩定性。