마스크 저장 질소 캐비닛 – BOSSMEN의 정밀 습도 제어
반도체 및 광전자 응용을 위해 설계된 이 마스크 저장 질소 캐비닛은 오염, 정전기 및 입자로부터 포토마스크를 보호하기 위해 깨끗하고 저습도의 질소 환경을 제공합니다.
마스크 저장 질소 캐비닛
BM1133-2
고효율 건조 공기 리티클 저장 캐비닛, 정밀 청정 질소 퍼지 리티클 캐비닛
반도체 및 광전자 응용을 위해 설계된 이 마스크 저장 질소 캐비닛은 오염, 정전기 및 입자로부터 포토마스크를 보호하기 위해 깨끗하고 저습도의 질소 환경을 제공합니다.
80% 이상의 질소 절약과 실시간 온도/습도 모니터링으로 안정적이고 장기적인 저장을 보장하여 수확량과 생산 신뢰성을 높입니다.
컴팩트하고 에너지 효율적이며 사용자 친화적—고성능 팹을 위한 필수 솔루션입니다.
기능
- 재료 및 디자인: 부식 저항성과 산화 저항의 장점을 제공하는 폴리싱된 표면의 스테인리스 스틸 SUS 304로 제작되었습니다. 견고한 구조와 오랜 내구성을 보장하는 미끄럼 방지 진동 완충 고무 발이 장착되어 있습니다.
- 질소 흐름 조정: 5 ~ 50 LPM 범위의 조정 가능한 질소 유량계가 장착되어 있어 다양한 저장 요구 사항을 충족하기 위해 안정적인 질소 공급을 보장합니다.
- 고정밀 온도 및 습도 제어: 내장된 고정밀 온도 및 습도 센서로 LED 디지털 디스플레이를 통해 실시간 모니터링이 가능합니다. 습도는 3% RH 이내로 정확합니다.
- 습도 설정 및 에너지 제어: 습도는 1% ~ 60% RH 사이로 설정할 수 있으며, 가스 흐름을 자동으로 제어하여 에너지 절약 효과를 달성하고 에너지 소비를 효과적으로 줄입니다.
- 데이터 저장 및 연결 기능: 내장 메모리는 최대 11,900개의 데이터 항목을 저장할 수 있습니다. RS232 연결 및 다양한 내보내기 형식을 지원하여 데이터 관리 및 외부 장치와의 통합을 용이하게 합니다.
- 부저 및 깜박이는 경고: 환경 조건이 비정상적이거나 설정 범위를 초과할 경우 장치가 부저와 깜박이는 경고등을 발산하여 사용자가 문제를 즉시 해결할 수 있도록 경고합니다.
- 패널 잠금 기능: 우발적인 터치나 설정 조정을 방지하기 위해 패널 잠금 기능이 있어 장치 구성을 안정적이고 안전하게 유지합니다.
- 오프셋 보정 기능: 오프셋 보정 기능이 장착되어 있어 사용자가 센서 또는 장치 데이터를 보정하여 측정의 정확성과 신뢰성을 보장할 수 있습니다.
혜택
- 중요한 질소 절약: 산업기술연구원(ITRI)에서 테스트한 결과, 레티클 캐비닛은 질소 흐름을 80% 이상 효과적으로 절약하여 질소 소비를 줄이고 기업들이 비용을 절감할 수 있도록 도와주며, 레티클의 청결성과 안정성을 유지합니다.
- 높은 사용자 정의 가능 디자인: 다양한 요구 사항에 따라 조준경 캐비닛은 다양한 조준경 저장 수량과 캐비닛 구조에 맞게 사용자 정의할 수 있어, 다양한 규모와 생산 환경의 요구를 충족하는 최상의 저장 솔루션을 제공합니다.
- 정밀 보호 및 안정적인 환경 제어: 내부는 습도를 정밀하게 조절할 수 있으며, 정전기 방지 설계로 인해 레티클을 오염과 정전기로부터 효과적으로 보호하여 안정적인 레티클 품질을 보장합니다.
- 향상된 작업 효율성: 레티클 캐비닛은 편리한 저장 공간과 운영 설계를 제공하여 레티클에 쉽게 접근하고 저장할 수 있어 운영 효율성을 높이고 생산 과정의 지연을 줄입니다.
- 신뢰성과 지속적인 보호: 견고한 구조로 레티클 캐비닛은 장기 사용에 걸쳐 우수한 보호 기능을 유지하여 환경 변화로 인한 레티클 손상을 방지합니다.
이러한 장점 덕분에 조준경 캐비닛은 반도체, 광전자 및 정밀 제조 산업에서 필수 장비가 되어 생산 효율성을 향상시키고 운영 비용을 크게 줄입니다.
제품 사양
| 모델 | 마스크 저장 질소 캐비닛 BM1133-2 |
|---|---|
| 외부 치수 (mm) | W1610 x H1900 x D300m |
| 저장된 내용 | RSP-200, RSP-150, 조준경 운반 상자 |
| 온도 표시 | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| 습도 조절 범위 | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| 전력 소비 | 16W |
| 저장 수량 | 144개 |
| 전압 | 110V/240V |
| 주파수 | 50Hz/60Hz |
- 갤러리
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마스크 저장 질소 캐비닛은 저장 용량에 맞게 맞춤 설정할 수 있습니다. -
ITRI에서 테스트한 마스크 저장 질소 캐비닛은 질소 흐름을 80% 이상 절약하여 소비와 비용을 줄입니다.
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세부
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마스크 저장 질소 캐비닛 – BOSSMEN에 의한 정밀 습도 제어
마스크 저장 질소 캐비닛는 민감한 재료, 전자기기 및 기기를 습기 손상으로부터 보호하도록 설계되었습니다.BOSSMEN은 안정적인 상대 습도(RH) 수준을 유지하기 위해 고급 습도 제어 시스템을 통합하여 제조, 실험실 및 연구 시설에서 신뢰성을 보장합니다.
정밀성과 내구성을 갖춘 마스크 저장 질소 캐비닛는 장기 저장 및 프로세스 환경에서 일관된 성능을 제공합니다.클린룸에서 품질 실험실에 이르기까지, BOSSMEN 제품은 사용자가 부식, 산화 및 ESD 위험을 줄이는 데 도움을 주며, 엄격한 환경 기준을 준수하도록 합니다.
마스크 저장 질소 캐비닛가 귀하의 작업 흐름에서 생산성과 보존을 어떻게 향상시키는지 알아보세요.각 유닛은 BOSSMEN의 30년 습도 조절 전문성을 반영하며, 혁신, 안전성 및 산업 및 실험실 응용을 위한 측정 가능한 가치를 결합합니다.