FFU 및 ULPA 필터가 있는 레티클 포드 질소 저장 캐비닛 – BOSSMEN의 정밀 습도 제어
Reticle Pod 질소 저장 캐비닛은 FFU 및 ULPA 필터와 함께 반도체 및 광학 클린룸에서 레티클과 마스크를 오염 및 산화로부터 보호하도록 설계되었습니다. 이 제품은 ULPA 필터링, FFU 공기 흐름 및 지속적인 질소 퍼지를 통해 깨끗하고 건조하며 정전기 없는 환경을 유지합니다.
FFU 및 ULPA 필터가 있는 레티클 포드 질소 저장 캐비닛
BM1277
비활성 가스 레티클 저장 캐비닛 (FFU 및 ULPA 필터 포함) 고청정 레티클 포드 저장 시스템 (질소 퍼지형)
Reticle Pod 질소 저장 캐비닛은 FFU 및 ULPA 필터와 함께 반도체 및 광학 클린룸에서 레티클과 마스크를 오염 및 산화로부터 보호하도록 설계되었습니다. 이 제품은 ULPA 필터링, FFU 공기 흐름 및 지속적인 질소 퍼지를 통해 깨끗하고 건조하며 정전기 없는 환경을 유지합니다.
정전기 방지 재료와 기밀 구조로 제작되어 Class 100 이상의 클린룸 기준을 지원합니다. 자동 질소 제어 및 차압 모니터링은 효율성을 향상시키고 레티클 수명을 연장합니다.
스마트 공장 애플리케이션을 위한 맞춤형 크기 및 MES 통합이 가능합니다.
기능
- 재질 및 설계: 광택 마감된 스테인리스 스틸 SUS 304로 제작되어 부식 및 산화 저항성을 제공합니다. 견고한 구조와 오래 지속되는 내구성을 위해 미끄럼 방지 충격 흡수 고무 발을 장착했습니다.
- 고정밀 습도 제어: LED 디지털 디스플레이를 통한 실시간 모니터링으로 습도 정확도가 3% RH까지 가능합니다. 습도 범위는 1%에서 60% RH로 설정할 수 있으며, 자동 가스 흐름 제어는 에너지 절약 효과를 달성하는 데 도움을 주어 에너지 소비를 효과적으로 줄입니다.
혜택
- 안전한 보관을 위한 선반 장착: 레티클 포드의 보관은 매우 중요합니다. 당사 제품은 튼튼한 선반을 갖추어 안전하고 안정적인 보관 환경을 제공하며, 레티클의 무결성을 보장합니다.
- 질소 충진: 질소 충진 기술은 보관 공간의 습도를 줄여 레티클의 수분 손상을 효과적으로 방지하고 수명을 연장합니다.
- 안정적인 환경을 위한 온도 및 습도 모니터링: 내장된 고정밀 온도 및 습도 모니터링 시스템은 환경 변화를 지속적으로 감지하여 레티클의 최적 보관 조건을 보장합니다.
- FFU 및 ULPA 클린 처리: 첨단 FFU 및 ULPA 필터링 기술을 사용하여 초청정 보관 공간을 제공하고, 레티클의 품질에 영향을 미칠 수 있는 오염 물질을 방지합니다.
- 미끄럼 방지 안전을 위한 기울어진 설계: 캐비닛 선반은 뒤로 기울어진 설계로, 레티클이 미끄러지는 것을 효과적으로 방지하여 각 레티클을 안전하게 보관합니다.
제품 사양
| 모델 | 레티클 포드 질소 캐비닛 FFU + ULPA BM1277 |
|---|---|
| 외부 치수 (mm) | W2080 x H1000 x D550 |
| 저장된 내용 | 조준기 포드 |
| 온도 표시 | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| 습도 조절 범위 | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| 전력 소비 | 16W |
| 용량 | 66개 |
| 전압 | 110V/240V |
| 주파수 | 50Hz/60Hz |
- 갤러리
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FFU 및 ULPA 필터가 장착된 BM1277 레티클 포드 질소 저장 캐비닛. -
레티클 포드 질소 캐비닛은 FFU 및 ULPA 필터를 사용하여 청정 저장 공간을 제공하며, 포토마스크를 오염으로부터 보호합니다. -
레티클 포드 질소 캐비닛은 포토마스크가 미끄러지는 것을 방지하는 경사진 선반을 갖추고 있어 안전한 저장을 보장합니다.
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FFU 및 ULPA 필터가 있는 레티클 포드 질소 저장 캐비닛 – BOSSMEN에 의한 정밀 습도 제어
FFU 및 ULPA 필터가 있는 레티클 포드 질소 저장 캐비닛는 민감한 재료, 전자기기 및 기기를 습기 손상으로부터 보호하도록 설계되었습니다.BOSSMEN은 안정적인 상대 습도(RH) 수준을 유지하기 위해 고급 습도 제어 시스템을 통합하여 제조, 실험실 및 연구 시설에서 신뢰성을 보장합니다.
정밀성과 내구성을 갖춘 FFU 및 ULPA 필터가 있는 레티클 포드 질소 저장 캐비닛는 장기 저장 및 프로세스 환경에서 일관된 성능을 제공합니다.클린룸에서 품질 실험실에 이르기까지, BOSSMEN 제품은 사용자가 부식, 산화 및 ESD 위험을 줄이는 데 도움을 주며, 엄격한 환경 기준을 준수하도록 합니다.
FFU 및 ULPA 필터가 있는 레티클 포드 질소 저장 캐비닛가 귀하의 작업 흐름에서 생산성과 보존을 어떻게 향상시키는지 알아보세요.각 유닛은 BOSSMEN의 30년 습도 조절 전문성을 반영하며, 혁신, 안전성 및 산업 및 실험실 응용을 위한 측정 가능한 가치를 결합합니다.