정전기 방지 재료와 기밀 구조로 제작되어 Class 100 이상의 클린룸 기준을 지원합니다. 자동 질소 제어 및 차압 모니터링은 효율성을 향상시키고 레티클 수명을 연장합니다.
스마트 공장 애플리케이션을 위한 맞춤형 크기 및 MES 통합이 가능합니다.

기능

• 재료 및 디자인: 부식 및 산화 저항을 제공하는 광택 마감의 스테인리스 스틸 SUS 304로 제작되었습니다. 견고한 구조와 오랜 내구성을 위해 미끄럼 방지 충격 흡수 고무 발이 장착되어 있습니다.
• 고정밀 습도 제어: LED 디지털 디스플레이를 통한 실시간 모니터링으로 습도 정확도가 3% RH까지 가능합니다. 습도 범위는 1%에서 60% RH로 설정할 수 있으며, 자동 가스 흐름 제어는 에너지 절약 효과를 달성하는 데 도움을 주어 에너지 소비를 효과적으로 줄입니다.

혜택

• 안전한 보관을 위한 선반 장착: 조준경 포드의 보관은 매우 중요합니다. 우리의 제품은 조준경의 무결성을 보장하는 안전하고 안정적인 보관 환경을 제공하는 견고한 선반을 특징으로 합니다.
• 질소 충전: 질소 충전 기술은 보관 공간의 습도를 줄여 조준경의 습기 손상을 효과적으로 방지하고 수명을 연장합니다.
• 안정적인 환경을 위한 온도 및 습도 모니터링: 내장된 고정밀 온도 및 습도 모니터링 시스템은 환경 변화를 지속적으로 감지하여 조준경에 최적의 보관 조건을 보장합니다.
• FFU 및 ULPA 클린 처리: 고급 FFU 및 ULPA 필터링 기술을 사용하여 초청정 보관 공간을 제공하며, 오염물이 조준경의 품질에 영향을 미치는 것을 방지합니다.
• 안전한 미끄럼 방지를 위한 기울어진 디자인: 캐비닛 선반은 뒤로 기울어지도록 설계되어, 조준기가 미끄러지는 것을 효과적으로 방지하여 각 조준기가 안전하게 보관됩니다.

갤러리

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  FFU 및 ULPA 필터가 장착된 BM1277 레티클 포드 질소 저장 캐비닛.

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  레티클 포드 질소 캐비닛은 FFU 및 ULPA 필터를 사용하여 청정 저장 공간을 제공하며, 포토마스크를 오염으로부터 보호합니다.

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  레티클 포드 질소 캐비닛은 포토마스크가 미끄러지지 않도록 경사진 선반을 갖추어 안전한 보관을 보장합니다.