Hergestellt aus antistatischen Materialien und luftdichter Konstruktion unterstützt es die Reinraumstandards der Klasse 100 oder besser. Automatisierte Stickstoffkontrolle und Differenzdrucküberwachung verbessern die Effizienz und verlängern die Lebensdauer des Retikels.
Maßgeschneiderte Größen und MES-Integration sind für intelligente Fabrikanwendungen verfügbar.

Funktionen

• Material und Design: Hergestellt aus rostfreiem Stahl SUS 304 mit glänzender Oberfläche, bietet Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit. Es ist mit rutschfesten, stoßdämpfenden Gummifüßen ausgestattet, die eine stabile Struktur und langanhaltende Haltbarkeit gewährleisten.
• Hochpräzise Feuchtigkeitskontrolle: Echtzeitüberwachung über ein LED-Digitaldisplay, mit einer Feuchtigkeitsgenauigkeit von bis zu 3 % RH. Der Feuchtigkeitsbereich kann von 1 % bis 60 % RH eingestellt werden, und die automatische Gasflusskontrolle hilft, energieeinsparende Effekte zu erzielen und den Energieverbrauch effektiv zu reduzieren.

Vorteil

• Ausgestattet mit Regalen für sichere Lagerung: Die Lagerung von Retikeln ist entscheidend. Unser Produkt verfügt über robuste Regale, die eine sichere und stabile Lagerumgebung bieten und die Integrität der Retikel gewährleisten.
• Stickstofffüllung: Die Stickstofffülltechnologie reduziert die Feuchtigkeit im Lagerraum und verhindert effektiv Feuchtigkeitsschäden an den Retikeln, wodurch ihre Lebensdauer verlängert wird.
• Temperatur- und Feuchtigkeitsüberwachung für stabile Umgebung: Das integrierte hochpräzise Temperatur- und Feuchtigkeitsüberwachungssystem erkennt ständig Umweltveränderungen, um optimale Lagerbedingungen für Retikel zu gewährleisten.
• FFU- und ULPA-Reinigungstechnologie: Fortschrittliche FFU- und ULPA-Filtrationstechnologien werden eingesetzt, um einen ultra-reinen Lagerraum bereitzustellen und zu verhindern, dass Verunreinigungen die Qualität der Retikel beeinträchtigen.
• Neigung Design für rutschfeste Sicherheit: Die Regale des Schranks sind mit einer rückwärtigen Neigung gestaltet, um effektiv zu verhindern, dass Retikel verrutschen, und sicherzustellen, dass jedes Retikel sicher gelagert wird.

Galerie

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  BM1277 Reticle Pod Stickstofflager-Schrank mit FFU & ULPA-Filter.

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  Der Reticle Pod Stickstoffschrank verwendet FFU- und ULPA-Filter, um einen sauberen Lagerraum bereitzustellen und Fotomasken vor Kontamination zu schützen.

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  Der Reticle Pod Stickstoffschrank hat geneigte Regale, die verhindern, dass Fotomasken verrutschen, und somit eine sichere Lagerung gewährleisten.

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