本储存柜外壳采防静电材质制成，设有气密门与差压监控设计，适合放置于Class 100或更高等级的无尘室环境中。氮气自动补充与浓度监控系统可降低人力操作需求，提升管理效率，并延长光罩寿命，降低生产风险。
此系列产品可依客户需求客制化，适用于各式Reticle尺寸与储存数量规格，亦可整合MES系统进行智能化管理，是智慧制造趋势下的最佳选择。

产品特性

• 材质与设计：采用不锈钢SUS 304亮面材质，具有防腐蚀、抗氧化的优点，并配备防滑避震橡胶脚垫，结构坚固，使用耐久。
• 高精密湿度控制，并透过LED数字显示实时监控，湿度精确至3%RH，湿度范围可设定于1%～60%RH，并可通过自动控制气体流入来实现节能效果，有效降低能耗。

产品优势

• 配备层架，安全存放环境：光罩盒的存放至关重要，我们的产品设计了坚固的层架，能有效提供安全且稳定的存放环境，确保光罩的完整性。
• 氮气填充：降湿防潮利用氮气填充技术，显著降低存放空间的湿度，从而有效防止光罩受潮，延长其使用寿命。
• 温湿度监控，稳定环境：内置高精度的温湿度监控系统，随时检测环境变化，确保光罩在最佳条件下存放。
• FFU与ULPA洁净处理：采用先进的FFU与ULPA过滤技术，提供超洁净的存放空间，避免任何污染物影响光罩品质。
• 倾斜设计，防滑安全：本柜的层架设计向后倾斜，有效防止光罩滑落，确保每一个光罩都能安全存放。

相片集

• 

  BM1277光无尘回风洁净光罩储存氮气柜。

• 

  光无尘回风洁净光罩储存氮气柜，采用先进的FFU与ULPA过滤技术。

• 

  光无尘回风洁净光罩储存氮气柜，本柜的层架设计向后倾斜，有效防止光罩滑落。