ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA – การควบคุมความชื้นที่แม่นยำโดย BOSSMEN
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ULPA Filter ถูกออกแบบมาเพื่อปกป้องเรติเคิลและหน้ากากจากการปนเปื้อนและการเกิดออกซิเดชันในห้องสะอาดสำหรับเซมิคอนดักเตอร์และฟอโตนิกส์ มีการกรอง ULPA, การไหลของอากาศ FFU และการล้างไนโตรเจนอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษาสภาพแวดล้อมที่สะอาด แห้ง และปราศจากสถิตไฟฟ้า.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA
BM1277
ตู้เก็บเรติเคิลก๊าซเฉื่อย (พร้อม FFU และฟิลเตอร์ ULPA) ระบบเก็บเรติเคิลที่มีความสะอาดสูง (ประเภทที่มีการล้างไนโตรเจน)
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ULPA Filter ถูกออกแบบมาเพื่อปกป้องเรติเคิลและหน้ากากจากการปนเปื้อนและการเกิดออกซิเดชันในห้องสะอาดสำหรับเซมิคอนดักเตอร์และฟอโตนิกส์ มีการกรอง ULPA, การไหลของอากาศ FFU และการล้างไนโตรเจนอย่างต่อเนื่องเพื่อรักษาสภาพแวดล้อมที่สะอาด แห้ง และปราศจากสถิตไฟฟ้า.
สร้างจากวัสดุต้านสถิตย์และการก่อสร้างที่ปิดสนิท รองรับมาตรฐานห้องสะอาด Class 100 หรือดีกว่า การควบคุมไนโตรเจนอัตโนมัติและการตรวจสอบความดันต่างช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและยืดอายุของเรติเคิล.
ขนาดที่กำหนดเองและการรวม MES มีให้สำหรับการใช้งานในโรงงานอัจฉริยะ.
คุณสมบัติ
- วัสดุและการออกแบบ: ทำจากสแตนเลส SUS 304 ที่มีการเคลือบเงา มีความต้านทานการกัดกร่อนและออกซิเดชัน มาพร้อมกับขายางกันลื่นที่ดูดซับแรงกระแทกเพื่อโครงสร้างที่แข็งแรงและความทนทานที่ยาวนาน
- การควบคุมความชื้นที่มีความแม่นยำสูง: การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ผ่านจอแสดงผลดิจิตอล LED โดยมีความแม่นยำของความชื้นสูงถึง 3% RH ช่วงความชื้นสามารถตั้งค่าได้ตั้งแต่ 1% ถึง 60% RH และการควบคุมการไหลของก๊าซอัตโนมัติช่วยให้ประหยัดพลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดการใช้พลังงานได้อย่างมีประสิทธิผล.
ประโยชน์
- ติดตั้งชั้นวางเพื่อการจัดเก็บอย่างปลอดภัย: การจัดเก็บกล่องเรติเคิลมีความสำคัญ ผลิตภัณฑ์ของเรามีชั้นวางที่แข็งแรงซึ่งให้สภาพแวดล้อมการจัดเก็บที่ปลอดภัยและมั่นคง เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของเรติเคิล
- การเติมไนโตรเจน: เทคโนโลยีการเติมไนโตรเจนช่วยลดความชื้นในพื้นที่จัดเก็บ ป้องกันความเสียหายจากความชื้นต่อเรติเคิลและยืดอายุการใช้งานของมัน
- การตรวจสอบอุณหภูมิและความชื้นเพื่อสภาพแวดล้อมที่เสถียร: ระบบตรวจสอบอุณหภูมิและความชื้นที่มีความแม่นยำสูงในตัวจะตรวจจับการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมอย่างต่อเนื่องเพื่อให้แน่ใจว่าสภาพการจัดเก็บที่เหมาะสมสำหรับเรติเคิล
- การบำบัดด้วย FFU และ ULPA: เทคโนโลยีการกรอง FFU และ ULPA ขั้นสูงถูกใช้เพื่อให้พื้นที่จัดเก็บที่สะอาดอย่างยิ่ง ป้องกันไม่ให้สิ่งปนเปื้อนมีผลต่อคุณภาพของเรติเคิล
- การออกแบบเอียงเพื่อความปลอดภัยป้องกันการลื่น: ชั้นวางในตู้ถูกออกแบบให้มีการเอียงไปข้างหลัง เพื่อป้องกันไม่ให้เรติเคิลลื่นไหล ทำให้มั่นใจได้ว่าทุกเรติเคิลถูกจัดเก็บอย่างปลอดภัย
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
| รุ่น | ตู้ไนโตรเจน Reticle Pod FFU + ULPA BM1277 |
|---|---|
| ขนาดภายนอก (มม) | W2080 x H1000 x D550 |
| เนื้อหาที่เก็บไว้ | กล้องเลเซอร์ |
| การแสดงอุณหภูมิ | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| ช่วงการควบคุมความชื้น | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| การใช้พลังงาน | 16W |
| ความจุ | 66ชิ้น |
| แรงดันไฟฟ้า | 110V/240V |
| ความถี่ | 50Hz/60Hz |
- แกลเลอรี
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod BM1277 พร้อม FFU & ULPA Filter.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod ใช้ FFU และ ULPA filters เพื่อให้พื้นที่เก็บที่สะอาด ปกป้องฟิล์มฟอโตมาสก์จากการปนเปื้อน.
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod มีชั้นวางที่เอียงซึ่งป้องกันไม่ให้ฟิล์มฟอโตมาสก์ลื่นไถล ทำให้มั่นใจได้ถึงการเก็บรักษาที่ปลอดภัย.
- ผลิตภัณฑ์ที่เกี่ยวข้อง
ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับหน้ากาก
BM1133-2
ออกแบบมาสำหรับการใช้งานในเซมิคอนดักเตอร์และออปโตอิเล็กทรอนิกส์...
รายละเอียด
ตู้ไนโตรเจนสำหรับแผ่นเรติเคิลขนาดนาโน
BM1238, BM1273
ออกแบบมาสำหรับการเก็บรักษาเซมิคอนดักเตอร์ขั้นสูงและฟิล์มโฟโต...
รายละเอียด
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA
BM1277
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ULPA Filter...
รายละเอียด
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod อเนกประสงค์
BM1296-2
ฟอตโต้แมสก์มีความสำคัญในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สำหรับการถ่ายโอนลวดลายวงจรลงบนเวเฟอร์...
รายละเอียด
ตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค
BM1305
ในตู้ไนโตรเจนที่มีพ็อดเรติเคิลปราศจากอนุภาค...
รายละเอียด
ชั้นวางเก็บ Reticle Pod ขนาด 9 นิ้ว
BM1307
BOSSMEN 9″ ที่เก็บพ็อดเรติเคิลมีการออกแบบแบบเปิดที่สร้างขึ้นโดยเฉพาะสำหรับการเก็บพ็อดฟอโตมาส์ก....
รายละเอียด
ตู้ไนโตรเจนสำหรับฟิล์มภาพที่ปราศจากอนุภาค
BM1324-2
ตู้เก็บไนโตรเจนสำหรับเลนส์ปราศจากอนุภาคให้การปกป้องที่เหมาะสมสำหรับฟิล์มถ่ายภาพในสภาพแวดล้อมที่สะอาดและควบคุมได้...
รายละเอียด
ตู้เก็บอากาศแห้งสำหรับเรติเคิล RFID
BM1481-1
ตู้เก็บอากาศแห้ง RFID Reticle Storage (RFID Mask Box) เป็นอุปกรณ์เฉพาะทางที่ออกแบบมาสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์...
รายละเอียด
ดาวน์โหลด ผลิตภัณฑ์ยอดนิยม
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA – การควบคุมความชื้นที่แม่นยำโดย BOSSMEN
ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA ถูกออกแบบมาเพื่อปกป้องวัสดุที่ละเอียดอ่อน อิเล็กทรอนิกส์ และเครื่องมือจากความเสียหายจากความชื้น.BOSSMEN รวมระบบควบคุมความชื้นขั้นสูงเพื่อรักษาระดับความชื้นสัมพัทธ์ที่เสถียร เพื่อให้มั่นใจในความน่าเชื่อถือในการผลิต ห้องปฏิบัติการ และสถานที่วิจัย.
ออกแบบมาอย่างแม่นยำและทนทาน, ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA มอบประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอสำหรับการจัดเก็บระยะยาวและสภาพแวดล้อมการประมวลผล.จากห้องสะอาดไปจนถึงห้องปฏิบัติการคุณภาพ ผลิตภัณฑ์ของ BOSSMEN ช่วยให้ผู้ใช้ลดการกัดกร่อน, การเกิดออกซิเดชัน, และความเสี่ยงจาก ESD ในขณะที่ยังคงปฏิบัติตามมาตรฐานสิ่งแวดล้อมที่เข้มงวด.
ค้นพบว่า ตู้เก็บไนโตรเจน Reticle Pod พร้อม FFU & ฟิลเตอร์ ULPA ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและการอนุรักษ์ในกระบวนการทำงานของคุณได้อย่างไร.แต่ละหน่วยสะท้อนถึงความเชี่ยวชาญในการควบคุมความชื้นของ BOSSMEN ที่มีมานานถึงสามสิบปี โดยรวมเอานวัตกรรม ความปลอดภัย และคุณค่าที่วัดได้สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมและห้องปฏิบัติการ.