สร้างจากวัสดุต้านสถิตย์และการก่อสร้างที่ปิดสนิท รองรับมาตรฐานห้องสะอาด Class 100 หรือดีกว่า การควบคุมไนโตรเจนอัตโนมัติและการตรวจสอบความดันต่างช่วยเพิ่มประสิทธิภาพและยืดอายุของเรติเคิล.
ขนาดที่กำหนดเองและการรวม MES มีให้สำหรับการใช้งานในโรงงานอัจฉริยะ.

ฟีเจอร์

• วัสดุและการออกแบบ: ทำจากสแตนเลส SUS 304 ที่มีพื้นผิวเงา มีความต้านทานการกัดกร่อนและออกซิเดชัน มาพร้อมกับขายางกันลื่นที่ดูดซับแรงกระแทกเพื่อโครงสร้างที่แข็งแรงและความทนทานที่ยาวนาน.
• การควบคุมความชื้นที่มีความแม่นยำสูง: การตรวจสอบแบบเรียลไทม์ผ่านจอแสดงผลดิจิตอล LED โดยมีความแม่นยำของความชื้นสูงถึง 3% RH ช่วงความชื้นสามารถตั้งค่าได้ตั้งแต่ 1% ถึง 60% RH และการควบคุมการไหลของก๊าซอัตโนมัติช่วยให้ประหยัดพลังงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ ลดการใช้พลังงานได้อย่างมีประสิทธิผล.

ประโยชน์

• ติดตั้งชั้นวางเพื่อการจัดเก็บอย่างปลอดภัย: การจัดเก็บกล่องเรติเคิลมีความสำคัญ ผลิตภัณฑ์ของเรามีชั้นวางที่แข็งแรงซึ่งให้สภาพแวดล้อมการจัดเก็บที่ปลอดภัยและมั่นคง เพื่อรักษาความสมบูรณ์ของเรติเคิล.
• การเติมไนโตรเจน: เทคโนโลยีการเติมไนโตรเจนช่วยลดความชื้นในพื้นที่จัดเก็บ ป้องกันความเสียหายจากความชื้นต่อเรติเคิลและยืดอายุการใช้งาน.
• การตรวจสอบอุณหภูมิและความชื้นเพื่อสภาพแวดล้อมที่เสถียร: ระบบตรวจสอบอุณหภูมิและความชื้นที่มีความแม่นยำสูงในตัวจะตรวจจับการเปลี่ยนแปลงของสภาพแวดล้อมอย่างต่อเนื่องเพื่อให้แน่ใจว่าสภาพการจัดเก็บที่เหมาะสมสำหรับเรติเคิล.
• การบำบัดด้วย FFU และ ULPA: เทคโนโลยีการกรอง FFU และ ULPA ขั้นสูงถูกใช้เพื่อให้พื้นที่จัดเก็บที่สะอาดอย่างยิ่ง ป้องกันไม่ให้สิ่งปนเปื้อนมีผลต่อคุณภาพของเรติเคิล.
• การออกแบบเอียงเพื่อความปลอดภัยไม่ลื่น: ชั้นวางของในตู้ถูกออกแบบให้มีการเอียงไปข้างหลัง ซึ่งช่วยป้องกันไม่ให้เรติเคิลลื่นไถล ทำให้มั่นใจได้ว่าเรติเคิลแต่ละชิ้นถูกเก็บอย่างปลอดภัย.

แกลเลอรี

• 

  ตู้เก็บไนโตรเจน BM1277 สำหรับ Reticle Pod พร้อม FFU & ตัวกรอง ULPA.

• 

  ตู้ไนโตรเจนสำหรับ Reticle Pod ใช้ FFU และตัวกรอง ULPA เพื่อให้พื้นที่เก็บสะอาด ปกป้องฟิล์มถ่ายภาพจากการปนเปื้อน.

• 

  ตู้ไนโตรเจนสำหรับ Reticle Pod มีชั้นวางเอียงที่ป้องกันฟิล์มถ่ายภาพไม่ให้ลื่นไถล เพื่อให้การเก็บรักษาอย่างปลอดภัย.