Кабинет для хранения ретикулов с азотом с FFU и ULPA фильтром
BM1277
Кабинет для хранения инертного газа с ретикулом (с FFU и ULPA фильтром) Система хранения ретикулов с высокой чистотой (с азотным продувом)
Шкаф для хранения азота Reticle Pod с FFU и фильтром ULPA предназначен для защиты ретикул и масок от загрязнения и окисления в чистых помещениях полупроводников и фотоники. Он оснащен фильтрацией ULPA, воздушным потоком FFU и непрерывной продувкой азотом для поддержания чистой, сухой и статически безопасной среды.
Сделано из антистатических материалов и с герметичной конструкцией, оно соответствует стандартам чистых помещений класса 100 или выше. Автоматизированный контроль азота и мониторинг дифференциального давления повышают эффективность и продлевают срок службы ретикул.
Доступны индивидуальные размеры и интеграция MES для умных фабрик.
Особенности
- Материал и дизайн: изготовлен из нержавеющей стали SUS 304 с глянцевой отделкой, обеспечивающей стойкость к коррозии и окислению. Оснащен противоскользящими амортизирующими резиновыми ножками для прочной конструкции и долговечности.
- Высокоточная контроль влажности: мониторинг в реальном времени через светодиодный цифровой дисплей, с точностью влажности до 3% RH. Диапазон влажности можно установить от 1% до 60% RH, а автоматическое управление потоком газа помогает достичь энергосберегающего эффекта, эффективно снижая потребление энергии.
Преимущество
- Оснащен полками для безопасного хранения: Хранение прицелов имеет решающее значение. Наш продукт оснащен прочными полками, которые обеспечивают безопасную и стабильную среду для хранения, гарантируя целостность прицелов.
- Заполнение азотом: Технология заполнения азотом снижает влажность в хранилище, эффективно предотвращая повреждение прицелов влагой и продлевая их срок службы.
- Мониторинг температуры и влажности для стабильной среды: Встроенная высокоточная система мониторинга температуры и влажности постоянно отслеживает изменения окружающей среды, чтобы обеспечить оптимальные условия хранения для прицелов.
- Чистая обработка FFU и ULPA: Используются передовые технологии фильтрации FFU и ULPA для обеспечения ультра-чистого пространства для хранения, предотвращая попадание загрязняющих веществ, которые могут повлиять на качество прицелов.
- Наклонный дизайн для противоскользящей безопасности: полки шкафа имеют задний наклон, что эффективно предотвращает скольжение прицелов, обеспечивая их безопасное хранение.
Технические характеристики продукта
| Модель | Кабинет азота для пода ретикулов FFU + ULPA BM1277 |
|---|---|
| Внешние размеры (мм) | W2080 x H1000 x D550 |
| Хранимое содержимое | Прицел под |
| Дисплей температуры | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| Диапазон контроля влажности | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| Потребление энергии | 16Вт |
| Вместимость | 66ШТ |
| Напряжение | 110В/240В |
| Частота | 50Гц/60Гц |
- Галерея
- Азотный шкаф для хранения кассет BM1277 с FFU и ULPA фильтром.
- Азотный шкаф для кассет использует FFU и ULPA фильтры для обеспечения чистого пространства для хранения, защищая фотошаблоны от загрязнения.
- Азотный шкаф для кассет имеет наклонные полки, которые предотвращают скольжение фотошаблонов, обеспечивая безопасное хранение.
Кабинет для хранения ретикулов с азотом с FFU и ULPA фильтром – Точное управление влажностью от BOSSMEN
Кабинет для хранения ретикулов с азотом с FFU и ULPA фильтром предназначен для защиты чувствительных материалов, электроники и инструментов от повреждения влагой.BOSSMEN интегрирует современные системы контроля влажности для поддержания стабильных уровней относительной влажности, обеспечивая надежность в производстве, лабораториях и исследовательских учреждениях.
Созданный с точностью и долговечностью, Кабинет для хранения ретикулов с азотом с FFU и ULPA фильтром обеспечивает стабильную работу в условиях длительного хранения и обработки.От чистых помещений до лабораторий качества, продукты BOSSMEN помогают пользователям снижать коррозию, окисление и риски ЭСД, соблюдая строгие экологические стандарты.
Узнайте, как Кабинет для хранения ретикулов с азотом с FFU и ULPA фильтром повышает продуктивность и сохранение в вашем рабочем процессе.Каждое устройство отражает тридцатилетний опыт контроля влажности компании BOSSMEN, сочетая инновации, безопасность и измеримую ценность для промышленных и лабораторных приложений.

