Сделано из антистатических материалов и с герметичной конструкцией, оно соответствует стандартам чистых помещений класса 100 или выше. Автоматизированный контроль азота и мониторинг дифференциального давления повышают эффективность и продлевают срок службы ретикул.
Доступны индивидуальные размеры и интеграция MES для умных фабрик.

Особенности

• Материал и дизайн: изготовлен из нержавеющей стали SUS 304 с глянцевой отделкой, обеспечивающей стойкость к коррозии и окислению. Оснащен противоскользящими амортизирующими резиновыми ножками для прочной конструкции и долговечности.
• Высокоточная контроль влажности: мониторинг в реальном времени через светодиодный цифровой дисплей, с точностью влажности до 3% RH. Диапазон влажности можно установить от 1% до 60% RH, а автоматическое управление потоком газа помогает достичь энергосберегающего эффекта, эффективно снижая потребление энергии.

Преимущества

• Оснащено полками для безопасного хранения: Хранение ретикулов имеет решающее значение. Наш продукт оснащен прочными полками, которые обеспечивают безопасную и стабильную среду для хранения, гарантируя целостность ретикулов.
• Заполнение азотом: Технология заполнения азотом снижает влажность в хранилище, эффективно предотвращая повреждение ретикулов от влаги и продлевая их срок службы.
• Мониторинг температуры и влажности для стабильной среды: Встроенная высокоточная система мониторинга температуры и влажности постоянно отслеживает изменения окружающей среды, чтобы обеспечить оптимальные условия хранения для ретикулов.
• Чистовая обработка FFU и ULPA: Используются современные технологии фильтрации FFU и ULPA для обеспечения ультра-чистого пространства для хранения, предотвращая попадание загрязняющих веществ, которые могут повлиять на качество ретикулов.
• Наклонный дизайн для противоскользящей безопасности: полки шкафа имеют задний наклон, что эффективно предотвращает скольжение прицелов, обеспечивая их безопасное хранение.

Галерея

• 

  Шкаф для хранения азота BM1277 с FFU и ULPA фильтром.

• 

  Шкаф для хранения азота использует FFU и ULPA фильтры для обеспечения чистого пространства для хранения, защищая фотомаски от загрязнения.

• 

  Шкаф для хранения азота имеет наклонные полки, которые предотвращают скольжение фотомасок, обеспечивая безопасное хранение.

Связанные продукты

Шкаф для хранения масок с азотом.

BM1133-2

Разработанный для полупроводниковых и оптоэлектронных...

Подробности

Наноскопический ретикулумный под Nitrogen Cabinet

BM1238, BM1273

Разработанный для хранения передовых полупроводниковых...

Подробности

Кабинет для хранения ретикулов с азотом с FFU и ULPA фильтром

BM1277

Шкаф для хранения азота Reticle Pod с FFU и фильтром ULPA предназначен...

Подробности

Многофункциональный шкаф для хранения азота

BM1296-2

Фотомаски необходимы в производстве полупроводников...

Подробности

Азотный шкаф для фотомасок без частиц.

BM1305

В шкафу с азотом для безчастичного ретикульного пода...

Подробности

Стеллаж для хранения 9-дюймовых подставок Reticle

BM1307

BOSSMEN 9″ Подставка для хранения фотомасок имеет открытый...

Подробности

Азотный шкаф для фотомасок без частиц.

BM1324-2

Кабинет с азотом для ретикулов без частиц обеспечивает...

Подробности

Сухой шкаф для хранения ретикул с RFID.

BM1481-1

Сухой шкаф для хранения масок с RFID (RFID Mask Box) — это специализированное...

Подробности

Шкаф для хранения прицелов с интегрированным RFID на 9"

PS0001

9-дюймовый шкаф для хранения с интегрированной RFID-меткой...

Подробности