静電気防止材料と気密構造で作られており、クリーンルームのクラス100以上の基準をサポートしています。自動窒素制御と差圧モニタリングにより、効率が向上し、レチクルの寿命が延びます。
スマートファクトリーアプリケーション向けにカスタムサイズとMES統合が利用可能です。

機能

• 素材とデザイン：腐食および酸化に対する耐性を持つ光沢仕上げのステンレス鋼SUS 304で作られています。頑丈な構造と長持ちする耐久性のために、滑り止めの衝撃吸収ゴム足が装備されています。
• 高精度湿度制御：LEDデジタルディスプレイによるリアルタイム監視で、湿度の精度は最大3% RHです。湿度範囲は1%から60% RHまで設定可能で、自動ガス流量制御により省エネ効果を実現し、エネルギー消費を効果的に削減します。

利点

• 安全な保管のための棚を装備：レティクルポッドの保管は重要です。当社の製品は、レティクルの完全性を確保するために、安全で安定した保管環境を提供する頑丈な棚を備えています。
• 窒素充填：窒素充填技術は、保管スペースの湿度を低下させ、レティクルへの湿気による損傷を効果的に防ぎ、寿命を延ばします。
• 安定した環境のための温度と湿度の監視：内蔵の高精度温度および湿度監視システムは、環境の変化を常に検出し、レティクルの最適な保管条件を確保します。
• FFUおよびULPAクリーン処理：高度なFFUおよびULPAフィルトレーション技術を使用して、超クリーンな保管スペースを提供し、レティクルの品質に影響を与える汚染物質を防ぎます。
• 傾斜デザインによる滑り止め安全性：キャビネットの棚は後方に傾斜がつけられており、レティクルが滑るのを効果的に防ぎ、各レティクルが安全に収納されることを保証します。

ギャラリー

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  BM1277レチクルポッド窒素保管キャビネット（FFUおよびULPAフィルター付き）

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  レチクルポッド窒素キャビネットは、FFUおよびULPAフィルターを使用してクリーンな保管スペースを提供し、フォトマスクを汚染から保護します。

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  レチクルポッド窒素キャビネットは、フォトマスクが滑らないように傾斜した棚を備えており、安全な保管を確保します。