特徴

• 収納キャビネット：クラス1のクリーンルーム基準を達成し、外部の汚染を効果的に隔離する密閉型キャビネットデザインにより、清潔な収納環境を確保します。
• フォトマスクポッド収納：安定した棚設計を備え、安全で整理された収納スペースを提供し、フォトマスクの損傷を防ぎます。
• 湿度管理のための窒素充填：内部の窒素充填システムは湿度を効果的に低下させ、フォトマスクの湿気による損傷を防ぎ、安定した品質を確保します。
• 温度と湿度の監視：内蔵の精密監視システムは、環境の温度と湿度を継続的に追跡し調整し、安定した保管条件を維持します。
• FFUおよびULPAフィルタリング：高効率フィルタリングユニット（FFU）とULPAフィルタリングシステムを備え、有害物質をさらに隔離する超クリーンな収納スペースを提供します。
• バーコード管理：正確な材料追跡のための統合バーコード管理システムにより、フォトマスクの状態を簡単に監視でき、管理効率が向上します。

アプリケーション

• 高度にカスタマイズされたデザイン：フォトマスクキャビネットは、異なるストレージ量やキャビネット構造に合わせてカスタマイズでき、さまざまな規模や生産環境のニーズに応じた最適なストレージソリューションを提供します。
• 精密な保護と安定した環境制御：内部環境は湿度に応じて正確に調整でき、静電気設計がフォトマスクを効果的に保護し、汚染や静電気による損傷を防ぎ、安定したフォトマスクの品質を確保します。
• 作業効率の向上：フォトマスクキャビネットは便利な収納スペースと人間工学に基づいたデザインを提供し、フォトマスクに迅速にアクセスできるようにし、運用効率を高め、生産プロセス中の遅延を減少させます。
• 信頼性と長期保護：フォトマスクキャビネットは頑丈な構造を特徴としており、長期間にわたって優れた保護性能を維持し、外部環境の変化からフォトマスクを守ります。

利点

• これらの利点により、フォトマスクキャビネットは半導体、オプトエレクトロニクス製造、精密生産分野において不可欠な機器となり、生産効率を向上させながら運用コストを大幅に削減します。

ギャラリー

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  BM1324-2。

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