Tính năng

• Tủ lưu trữ: Đạt tiêu chuẩn phòng sạch loại 1, với thiết kế tủ kín khí hiệu quả cách ly ô nhiễm bên ngoài, đảm bảo môi trường lưu trữ sạch sẽ.
• Lưu trữ pod photomask: Được trang bị thiết kế kệ ổn định, cung cấp không gian lưu trữ an toàn và có tổ chức để ngăn ngừa hư hại cho photomask.
• Bơm nitơ để kiểm soát độ ẩm: Hệ thống bơm nitơ bên trong hiệu quả giảm độ ẩm, ngăn ngừa hư hại do độ ẩm cho photomask và đảm bảo chất lượng ổn định.
• Giám sát nhiệt độ và độ ẩm: Hệ thống giám sát chính xác tích hợp liên tục theo dõi và điều chỉnh nhiệt độ và độ ẩm môi trường để duy trì điều kiện lưu trữ ổn định.
• Lọc FFU và ULPA: Được trang bị các đơn vị lọc hiệu suất cao (FFU) và hệ thống lọc ULPA, cung cấp không gian lưu trữ siêu sạch, cách ly thêm các chất độc hại.
• Quản lý mã vạch: Hệ thống quản lý mã vạch tích hợp cho việc theo dõi vật liệu chính xác, cho phép dễ dàng giám sát trạng thái photomask và cải thiện hiệu quả quản lý.

Ứng dụng

• Thiết kế tùy chỉnh cao: Tủ mặt nạ quang có thể được tùy chỉnh để phù hợp với các số lượng lưu trữ và cấu trúc tủ khác nhau, cung cấp giải pháp lưu trữ tốt nhất để đáp ứng nhu cầu của các quy mô và môi trường sản xuất khác nhau.
• Bảo vệ chính xác và kiểm soát môi trường ổn định: Môi trường bên trong có thể được điều chỉnh chính xác về độ ẩm, và thiết kế tĩnh điện hiệu quả bảo vệ các photomask, ngăn ngừa ô nhiễm và hư hại do tĩnh điện, đảm bảo chất lượng photomask ổn định.
• Nâng cao hiệu quả công việc: Tủ photomask cung cấp không gian lưu trữ tiện lợi và thiết kế công thái học, giúp dễ dàng truy cập nhanh chóng vào photomask, nâng cao hiệu quả hoạt động và giảm thiểu sự chậm trễ trong quá trình sản xuất.
• Độ tin cậy và bảo vệ lâu dài: Tủ photomask có cấu trúc chắc chắn, duy trì hiệu suất bảo vệ tuyệt vời trong thời gian dài, ngăn ngừa hư hại cho photomask do sự thay đổi môi trường bên ngoài.

Lợi ích

• Những lợi thế này khiến tủ mặt nạ quang trở thành một thiết bị không thể thiếu trong lĩnh vực sản xuất bán dẫn, quang điện và sản xuất chính xác, nâng cao hiệu quả sản xuất trong khi giảm đáng kể chi phí vận hành.

Thư viện

• 

  BM1324-2.

Các sản phẩm liên quan

Tủ lưu trữ nitơ cho mặt nạ.

BM1133-2

Được thiết kế cho các ứng dụng bán dẫn và quang điện, Tủ lưu trữ nitơ...

Thông tin chi tiết

Tủ Nitơ Pod có kích thước nano

BM1238, BM1273

Được thiết kế cho lưu trữ photomask bán dẫn tiên tiến và EUV, tủ này cung...

Thông tin chi tiết

Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA

BM1277

Tủ lưu trữ nitơ Reticle Pod với FFU & bộ lọc ULPA được thiết kế để bảo...

Thông tin chi tiết

Tủ lưu trữ nitơ đa năng cho pod reticle

BM1296-2

Mặt nạ quang học là rất quan trọng trong sản xuất bán dẫn để chuyển...

Thông tin chi tiết

Tủ Ni-tơ Pod Reticle Không Hạt

BM1305

Trong tủ nitơ của Pod Reticle không có hạt, hệ thống không khí hồi lưu liên...

Thông tin chi tiết

Giá đỡ Reticle Pod 9 inch

BM1307

BOSSMEN Giá đỡ lưu trữ pod 9″ Reticle có thiết kế mở được tạo ra đặc...

Thông tin chi tiết

Tủ Ni-tơ Pod Reticle Không Hạt

BM1324-2

Tủ Nitrogen Reticle Pod không hạt cung cấp bảo vệ tối ưu cho photomask trong...

Thông tin chi tiết

Tủ khô không khí lưu trữ reticle RFID.

BM1481-1

Tủ lưu trữ không khí khô có RFID (Hộp mặt nạ RFID) là một thiết bị chuyên...

Thông tin chi tiết

Tủ lưu trữ chấm tích hợp RFID 9"

PS0001

Tủ lưu trữ có tích hợp RFID 9" có thiết kế đơn giản nhưng hiệu quả,...

Thông tin chi tiết