Tính năng

• Khu vực kín khí phía trên và bơm nitơ: Phần trên của tủ lưu trữ được thiết kế với một khu vực kín khí đặc biệt dành cho việc lưu trữ pod photomask đơn. Toàn bộ khu vực được bơm đầy nitơ để đảm bảo bảo vệ độ ẩm tối ưu. Thêm vào đó, một hệ thống giám sát nhiệt độ và độ ẩm tích hợp liên tục kiểm tra sự thay đổi môi trường để duy trì điều kiện lưu trữ ổn định.
• Khu vực mở dưới và lưu trữ POD: Khu vực mở dưới có thể chứa tối đa năm POD, với mỗi FOUP được nạp riêng biệt bằng nitơ để đảm bảo mỗi sản phẩm nhận được sự bảo vệ tốt nhất.
• Giám sát theo thời gian thực và hiển thị lưu lượng nitơ: Bảng điều khiển hiển thị tổng lưu lượng nitơ cho mỗi ngăn dưới. Khi không có FOUP nào trong khe lưu trữ, việc nạp nitơ sẽ tự động dừng lại, cho phép quản lý thông minh để nâng cao an toàn và hiệu quả.

Ứng dụng

• Thiết kế tùy chỉnh cao: Dựa trên các nhu cầu khác nhau, tủ photomask có thể được tùy chỉnh để lưu trữ số lượng photomask khác nhau và phù hợp với cấu trúc tủ, cung cấp các giải pháp lưu trữ tốt nhất để đáp ứng nhu cầu của các quy mô và môi trường sản xuất khác nhau.
• Bảo vệ chính xác và kiểm soát môi trường ổn định: Bên trong cho phép điều chỉnh độ ẩm chính xác và có thiết kế chống tĩnh điện để bảo vệ hiệu quả các photomask, ngăn ngừa ô nhiễm và tĩnh điện ảnh hưởng đến chất lượng của chúng, đảm bảo hiệu suất photomask ổn định.
• Nâng cao hiệu quả công việc: Tủ photomask cung cấp không gian lưu trữ tiện lợi và thiết kế hoạt động, giúp dễ dàng truy cập và lưu trữ photomask nhanh chóng, nâng cao hiệu quả hoạt động và giảm thiểu sự chậm trễ trong quy trình sản xuất.
• Độ tin cậy và bảo vệ lâu dài: Tủ được xây dựng với cấu trúc chắc chắn, đảm bảo độ bền lâu dài trong khi vẫn duy trì hiệu quả bảo vệ xuất sắc để ngăn chặn photomask bị hư hại do sự thay đổi của môi trường bên ngoài.

Lợi ích

• Những lợi thế này khiến tủ photomask trở thành một thiết bị không thể thiếu trong ngành công nghiệp bán dẫn, quang điện tử và sản xuất chính xác, nâng cao hiệu quả sản xuất trong khi giảm đáng kể chi phí vận hành.

Thư viện

• 

  BM1296-2。

• 

  BM1296-2。

• 

  BM1296-2。

Các sản phẩm liên quan

Tủ lưu trữ nitơ cho mặt nạ.

BM1133-2

Được thiết kế cho các ứng dụng bán dẫn và quang điện, Tủ lưu trữ nitơ...

Thông tin chi tiết

Tủ Nitơ Pod có kích thước nano

BM1238, BM1273

Được thiết kế cho lưu trữ photomask bán dẫn tiên tiến và EUV, tủ này cung...

Thông tin chi tiết

Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA

BM1277

Tủ lưu trữ nitơ Reticle Pod với FFU & bộ lọc ULPA được thiết kế để bảo...

Thông tin chi tiết

Tủ lưu trữ nitơ đa năng cho pod reticle

BM1296-2

Mặt nạ quang học là rất quan trọng trong sản xuất bán dẫn để chuyển...

Thông tin chi tiết

Tủ Ni-tơ Pod Reticle Không Hạt

BM1305

Trong tủ nitơ của Pod Reticle không có hạt, hệ thống không khí hồi lưu liên...

Thông tin chi tiết

Giá đỡ Reticle Pod 9 inch

BM1307

BOSSMEN Giá đỡ lưu trữ pod 9″ Reticle có thiết kế mở được tạo ra đặc...

Thông tin chi tiết

Tủ Ni-tơ Pod Reticle Không Hạt

BM1324-2

Tủ Nitrogen Reticle Pod không hạt cung cấp bảo vệ tối ưu cho photomask trong...

Thông tin chi tiết

Tủ khô không khí lưu trữ reticle RFID.

BM1481-1

Tủ lưu trữ không khí khô có RFID (Hộp mặt nạ RFID) là một thiết bị chuyên...

Thông tin chi tiết

Tủ lưu trữ chấm tích hợp RFID 9"

PS0001

Tủ lưu trữ có tích hợp RFID 9" có thiết kế đơn giản nhưng hiệu quả,...

Thông tin chi tiết