Cabinet di Stoccaggio dell'Azoto per Pod Reticolo Multiuso
BM1296-2
Sistema di Stoccaggio per Fotomask, Cabinet di Stoccaggio per Fotomask in Azoto Pulito
I fotomask sono essenziali nella produzione di semiconduttori per trasferire i modelli dei circuiti sui wafer. Qualsiasi difetto in un fotomask può essere replicato su tutto il wafer, influenzando direttamente il rendimento. Man mano che le dimensioni dei modelli si riducono, i fotomask diventano sempre più sensibili a particelle e contaminazioni chimiche.
Un ambiente di stoccaggio dell'azoto pulito e controllato è fondamentale per mantenere la stabilità a lungo termine dei fotomask, aiutando a ridurre la contaminazione, l'ossidazione e il degrado.
Il Cabinet di Stoccaggio dell'Azoto per Pod Reticolo Multiuso BOSSMEN offre un controllo ambientale preciso e stabile, rendendolo ideale per fotomask e pod di wafer che richiedono condizioni di stoccaggio altamente controllate.
Caratteristiche
- Zona superiore ermetica e riempimento di azoto: La parte superiore del mobile di stoccaggio è progettata con una zona ermetica specificamente per lo stoccaggio di un singolo pod di fotomask. L'intera area è riempita di azoto per garantire una protezione ottimale dall'umidità. Inoltre, un sistema integrato di monitoraggio della temperatura e dell'umidità controlla costantemente i cambiamenti ambientali per mantenere condizioni di stoccaggio stabili.
- Area aperta inferiore e stoccaggio POD: L'area aperta inferiore può ospitare fino a cinque POD, con ogni FOUP riempito individualmente di azoto per garantire che ogni prodotto riceva la migliore protezione.
- Monitoraggio in tempo reale e visualizzazione del flusso di azoto: Il pannello visualizza il flusso totale di azoto per ciascun compartimento inferiore. Quando non è presente alcun FOUP nello slot di stoccaggio, il riempimento di azoto si ferma automaticamente, consentendo una gestione intelligente per migliorare la sicurezza e l'efficienza.
Applicazione
- Design Altamente Personalizzato: In base a diverse esigenze, il cabinet per fotomask può essere personalizzato per immagazzinare quantità variabili di fotomask e adattato alla struttura del cabinet, offrendo le migliori soluzioni di stoccaggio per soddisfare le esigenze di diverse scale e ambienti di produzione.
- Protezione di Precisione e Controllo Stabile dell'Ambiente: L'interno consente un preciso aggiustamento dell'umidità e presenta un design anti-statico per proteggere efficacemente i fotomask, prevenendo la contaminazione e l'elettricità statica che potrebbero influenzare la loro qualità, garantendo prestazioni stabili dei fotomask.
- Maggiore Efficienza Lavorativa: Il cabinet per fotomask offre uno spazio di stoccaggio conveniente e un design operativo, rendendo facile l'accesso e la conservazione delle fotomask in modo rapido, migliorando l'efficienza operativa e riducendo i ritardi nel processo di produzione.
- Affidabilità e Protezione a Lungo Termine: Il cabinet è costruito con una struttura robusta, garantendo una durata a lungo termine mantenendo eccellenti effetti protettivi per prevenire danni alle fotomask a causa di cambiamenti ambientali esterni.
Vantaggio
- Questi vantaggi rendono il cabinet per fotomask un pezzo di attrezzatura indispensabile nelle industrie dei semiconduttori, dell'optoelettronica e della produzione di precisione, migliorando l'efficienza produttiva e riducendo significativamente i costi operativi.
Specifiche del prodotto
| Modello | Armadio per stoccaggio di azoto con reticolo multiuso BM1296-2 |
|---|---|
| Dimensioni Esterne (mm) | W1500 × H1901 × D700 |
| Articoli di Stoccaggio | Pod per Fotomask, Pod per Trasporto Wafer |
| Intervallo di Visualizzazione della Temperatura | 0,1 °C a 99,9 °C ± 1 °C |
| Intervallo di Controllo dell'Umidità | 1% RH a 60% RH ± 3% RH |
| Consumo Energetico | 16 W |
| Capacità | Livello Superiore: 60 Pod di Fotomask Livello Inferiore: 15 Pod di Trasporto Wafer |
| Alimentazione | 110 V / 240 V |
| Frequenza | 50 Hz / 60 Hz |
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Il Cabinet di Stoccaggio dell'Azoto per Pod Reticolo Multiuso è progettato per proteggere materiali sensibili, elettronica e strumenti dai danni causati dall'umidità.BOSSMEN integra sistemi avanzati di controllo dell'umidità per mantenere livelli di RH stabili, garantendo affidabilità nella produzione, nei laboratori e nelle strutture di ricerca.
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