多用途光罩储存氮气柜 | 台湾高品质多用途光罩储存氮气柜制造商 | 博士門股份有限公司
博士門是台湾专业制造多用途光罩储存氮气柜及提供多用途光罩储存氮气柜服务的优良厂商(成立于西元1993年)博士門BOSSMEN是防潮箱、氮气柜、手套箱、展示柜与挂画架的专业制造商，服务横跨科技产业与博物馆文资领域。我们提供整合型环境控湿解决方案，包含温湿度监控系统、恒温恒湿设备与防火防潮保险柜。公司拥有软硬体整合开发实力与多年空间设计经验，是企业与机构寻求专业湿度管理最佳选择。
多用途光罩储存氮气柜
BM1296-2
光罩储放系统、洁净氮气光罩存放柜
光罩是将积体电路的各种电路设计图案转印到晶圆上的关键模具，对晶圆生产至关重要，经由微影技术，光罩将设计图案缩小并透过曝光反映于晶圆上，如果光罩品质出现缺陷，这些缺陷将被复制到晶圆的每个晶粒上，直接影响晶圆的良率。
随着微影技术的进步，光罩图案越来越精细，光罩污染及良率损失的风险也随之增加，倍缩光罩的涂层特别精细且易受损，外来的粉尘与化学残留物，都是潜在的污染源，对光罩品质构成威胁。
除了光罩本身的制造品质，光罩的保存方式也极为重要，为了确保光罩的长期稳定性，通常会将光罩存放在洁净的氮气柜中，藉由氮气清除光罩上的化学污染，并保持适当的湿度环境。
我们的多用途光罩储存氮气柜专为满足不同客户需求而设计，具备高效、智能的储存解决方案，特别适合需要高度精密环境的光罩与晶圆传送盒
产品特性
- 上方气密区与氮气填充：储存柜的上方设计有气密区，专门用于单片光罩盒存放，整个区域均填充氮气，以确保最佳的防潮效果。同时，内置温湿度监控系统，随时检测环境变化，维持稳定的存放条件。
- 下方开放区与POD存放：下方开放区可容纳5片装的POD，每个FOUP单独填充氮气，确保每一件产品均获得最佳的保护。
- 实时监控与氮气流量显示：面板显示下方每层的氮气总流量，当下方储位没有FOUP时，自动停止氮气填充，实现智能化管理，进一步提高安全性和效率。
产品优势
- 高度客制化设计：根据不同需求，光罩柜可客制化光罩储放数量及柜体结构，提供最佳的储存方案，满足不同规模与生产环境的需求。
- 精密保护与稳定环境控制：内部可精确调节湿度，并搭配防静电设计，有效保护光罩，避免污染及静电对光罩的影响，确保光罩品质稳定。
- 提升工作效率：光罩柜提供便利的储存空间与操作设计，方便快速存取光罩，提升操作效率，减少生产过程中的延误。
- 可靠性与长效保护：光罩柜具备坚固的结构，长期使用中能保持优良的保护效果，避免光罩因外部环境变化而遭受损害。
- 这些优势使得光罩柜成为半导体、光电制程及精密制造领域中不可或缺的设备，既能提升生产效率，又能显著降低运营成本。
产品规格
| 型号 |
多用途光罩储存氮气柜 BM1296-2 |
|---|---|
| 外吋(mm) | W1500xH1901xD700 |
| 储存内容 | 光罩盒、晶圆传送盒 |
| 温度显示 | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| 控湿范围 | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| 耗电量 | 16W |
| 容量 | 上层：光罩盒60PCS、下层：晶圆传送盒15PCS |
| 电源 | 110V/240V |
| 频率 | 50Hz/60Hz |
- 相片集
多用途光罩储存氮气柜上方储存单片光罩盒及晶圆传送盒(FOUP)设计，下方储存5片装的POD，提供优越的存放解决方案。
多用途光罩储存氮气柜储存柜的上方设计有气密区，专门用于单盒存放，整个区域均填充氮气，以确保最佳的防潮效果。
多用途光罩储存氮气柜下方开放区可容纳5片装的POD，每个FOUP单独填充氮气，确保每一件产品均获得最佳的保护。
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多用途光罩储存氮气柜
BM1296-2
光罩是将积体电路的各种电路设计图案转印到晶圆上的关键模具，对晶圆生产至关重要，经由微影技术，光罩将设计图案缩小并透过曝光反映于晶圆上，如果光罩品质出现缺陷，这些缺陷将被复制到晶圆的每个晶粒上，直接影响晶圆的良率。 随着微影技术的进步，光罩图案越来越精细，光罩污染及良率损失的风险也随之增加，倍缩光罩的涂层特别精细且易受损，外来的粉尘与化学残留物，都是潜在的污染源，对光罩品质构成威胁。 除了光罩本身的制造品质，光罩的保存方式也极为重要，为了确保光罩的长期稳定性，通常会将光罩存放在洁净的氮气柜中，藉由氮气清除光罩上的化学污染，并保持适当的湿度环境。 我们的多用途光罩储存氮气柜专为满足不同客户需求而设计，具备高效、智能的储存解决方案，特别适合需要高度精密环境的光罩与晶圆传送盒
细节
RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜
BM1305
回风功能是指空气循环系统中的一部分，将室内空气吸回并经过过滤后再进行排放或循环使用，此系统可有效保持储存环境中的空气洁净，特别是在需要高洁净度的场所（如光罩储存柜）中，对于过滤极细粉尘和有害物质至关重要。 在RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜中，回风系统会将柜内的空气吸入并过滤，去除其中的污染物，保证光罩处于洁净、无尘的环境，从而降低光罩受损和污染的风险，确保其品质稳定。
细节
开放式9寸光罩储存柜
BM1307
这款光罩柜为开放式设计，专为存放光罩盒而打造。此产品不具备控湿功能，也不提供氮气填充，因此适用于对环境要求较低的存储需求，9吋光罩盒储物架提供有效空间管理，方便存取光罩盒，适用于一般储存用途，无需额外的气体或湿度控制系统。
细节
RFID无尘光罩储存氮气柜
BM1324-2
RFID无尘光罩储存氮气柜为光罩提供最佳保护，并在洁净、受控的环境中储存。通过氮气充填来防止湿气和氧化，从而保持光罩的品质并延长其使用寿命。无尘设计确保储存空间无污染，避免外界颗粒进入。 配备RFID技术，该柜能够轻松跟踪和管理光罩，提高库存效率。可调节的氮气流量让使用者能够根据具体需求定制储存条件，保持稳定的低氧环境。 这款无尘光罩储存柜是高精度行业的理想选择，保证安全可靠的光罩储存，并有效防止环境因素造成损害。凭借其先进的功能，它是无污染光罩储存的必备解决方案。
细节
RFID光罩储存干燥空气柜
BM1481-1
RFID光罩储存干燥空气柜（RFID Mask Box）是一种用于半导体产业的设备，专门设计用于储存和管理光罩（Mask）的工具。 光罩是半导体制造过程中用于曝光的重要元件，它们用于在光刻过程中定义电路图案。由于光罩非常精密且昂贵，必须确保其安全存放和精确管理。 RFID光罩储存干燥空气柜透过采用无线射频辨识（RFID）技术，实现了对光罩的自动辨识、追踪和管理。
细节
开放式9寸RFID光罩储存柜
PS0001
开放式9寸RFID光罩储存柜-简单而高效的光罩储存系统，适用于高频繁的操作开放式9寸RFID光罩储存柜设计简单而高效，专为高频繁操作环境中的光罩储存需求而打造。开放式架构方便快速存取，提升工作效率，并有效减少操作过程中的繁琐。 配备RFID进出管理系统，可实现精确的光罩追踪与管理，确保每次取用和存放都能轻松记录，提升管理精度与安全性。 此光罩储存架不具备控湿功能，适合需求较为宽松的环境，提供基本的储存空间，不含额外的湿度控制系统，适用于一般储放环境。
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博士門多用途光罩储存氮气柜介绍
博士門股份有限公司是台湾一家拥有超过30年经验的专业多用途光罩储存氮气柜生产服务商。 我们成立于西元1993年, 在电子零组件制造业领域上,博士門提供专业高品质的多用途光罩储存氮气柜制造服务,博士門结合先进的检测设备，进行全面的品质检验与测试，包括尺寸精度、功能测试、耐久性检验等，确保产品符合客户需求和市场规范。