本产品广泛应用于半导体晶圆制造、先进封装、光电元件开发及微机电产线等场域。柜体采节能型气密设计，内建高效氮气循环系统，较传统氮气柜节省超过80%氮气用量。搭配即时温湿度监控显示与视觉化管理介面，使用者可快速掌握储存环境状况，确保光罩长期保存条件稳定一致。
博士門光罩储存氮气柜除了在空间、节能与操作便捷性方面表现出色，更能协助产线有效控制污染源，是维护高良率生产流程中不可或缺的关键设备。

产品特性

• 材质与设计：采用不锈钢SUS 304亮面材质，具有防腐蚀、抗氧化的优点，并配备防滑避震橡胶脚垫，结构坚固，使用耐久。
• 氮气流量调节：配备可调节氮气流量计，范围为5～50 LPM，确保氮气稳定供应，满足不同储放需求。
• 高精密温湿度控制：内建高精密温湿度感测器，并透过LED数字显示实时监控，湿度精确至3%RH。
• 湿度设定与节能控制：湿度范围可设定于1%～60%RH，并可通过自动控制气体流入来实现节能效果，有效降低能耗。
• 数据储存与连接功能：内建记忆体可存储11,900笔数据，并支援RS232连接与多种格式汇出，方便数据管理与外部设备整合。
• 蜂鸣闪烁警报：当环境条件异常或设定范围被突破时，设备会发出蜂鸣声并伴随闪烁的警示灯，及时提醒使用者处理异常状况。
• 面板锁定功能：设有面板锁定功能，可防止无意间触碰或调整设置，保证设备设定的稳定性与安全性。
• 偏移校正功能：具备偏移校正功能，使用者可以校正感测器或设备的数据，确保测量的准确性和可靠性。

产品优势

• 氮气节省效果显著：经工研院测试，光罩柜能有效节省80%以上的氮气流量，降低氮气消耗，帮助企业节省成本，同时保持光罩的洁净度与稳定性。
• 高度客制化设计：根据不同需求，光罩柜可客制化光罩储放数量及柜体结构，提供最佳的储存方案，满足不同规模与生产环境的需求。
• 精密保护与稳定环境控制：内部可精确调节湿度，并搭配防静电设计，有效保护光罩，避免污染及静电对光罩的影响，确保光罩品质稳定。
• 提升工作效率：光罩柜提供便利的储存空间与操作设计，方便快速存取光罩，提升操作效率，减少生产过程中的延误。
• 可靠性与长效保护：光罩柜具备坚固的结构，长期使用中能保持优良的保护效果，避免光罩因外部环境变化而遭受损害。

这些优势使得光罩柜成为半导体、光电制程及精密制造领域中不可或缺的设备，既能提升生产效率，又能显著降低运营成本。

相片集

• 

  光罩储存氮气柜根据不同需求客制化储放数量及柜体结构，提供最适合您储存方案。

• 

  光罩储存氮气柜经工研院测试有效节省80%以上的氮气流量，降低氮气消耗，帮助企业节省成本，同时保持光罩的洁净度与稳定性。

关联产品

光罩储存氮气柜

BM1133-2

在半导体与光电制程中，任何微小的污染都可能导致整批晶圆报废，特别是光罩储存环节的环境控管更是不容忽视。博士門光罩储存氮气柜专为高阶制程需求打造，提供稳定洁净的低湿氮气环境，有效降低光罩表面化学污染、静电损伤与微粒附着风险，进一步提升制程良率与产品可靠度。

细节

精密洁净奈米级光罩储存氮气柜

BM1238, BM1273

精密洁净奈米级光罩储存氮气柜专为先进半导体制程与奈米级光罩储存需求设计，提供Class...

细节

无尘回风洁净光罩储存氮气柜

BM1277

光无尘回风洁净光罩储存氮气柜是专为半导体及光电产业设计的高洁净度储存设备，有效保护Reticle...

细节

多用途光罩储存氮气柜

BM1296-2

光罩是将积体电路的各种电路设计图案转印到晶圆上的关键模具，对晶圆生产至关重要，经由微影技术，光罩将设计图案缩小并透过曝光反映于晶圆上，如果光罩品质出现缺陷，这些缺陷将被复制到晶圆的每个晶粒上，直接影响晶圆的良率。   随着微影技术的进步，光罩图案越来越精细，光罩污染及良率损失的风险也随之增加，倍缩光罩的涂层特别精细且易受损，外来的粉尘与化学残留物，都是潜在的污染源，对光罩品质构成威胁。   除了光罩本身的制造品质，光罩的保存方式也极为重要，为了确保光罩的长期稳定性，通常会将光罩存放在洁净的氮气柜中，藉由氮气清除光罩上的化学污染，并保持适当的湿度环境。   我们的多用途光罩储存氮气柜专为满足不同客户需求而设计，具备高效、智能的储存解决方案，特别适合需要高度精密环境的光罩与晶圆传送盒

细节

RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜

BM1305

回风功能是指空气循环系统中的一部分，将室内空气吸回并经过过滤后再进行排放或循环使用，此系统可有效保持储存环境中的空气洁净，特别是在需要高洁净度的场所（如光罩储存柜）中，对于过滤极细粉尘和有害物质至关重要。 在RFID无尘回风洁净光罩储氮气存柜中，回风系统会将柜内的空气吸入并过滤，去除其中的污染物，保证光罩处于洁净、无尘的环境，从而降低光罩受损和污染的风险，确保其品质稳定。

细节

开放式9寸光罩储存柜

BM1307

这款光罩柜为开放式设计，专为存放光罩盒而打造。此产品不具备控湿功能，也不提供氮气填充，因此适用于对环境要求较低的存储需求，9吋光罩盒储物架提供有效空间管理，方便存取光罩盒，适用于一般储存用途，无需额外的气体或湿度控制系统。

细节

RFID无尘光罩储存氮气柜

BM1324-2

RFID无尘光罩储存氮气柜为光罩提供最佳保护，并在洁净、受控的环境中储存。通过氮气充填来防止湿气和氧化，从而保持光罩的品质并延长其使用寿命。无尘设计确保储存空间无污染，避免外界颗粒进入。 配备RFID技术，该柜能够轻松跟踪和管理光罩，提高库存效率。可调节的氮气流量让使用者能够根据具体需求定制储存条件，保持稳定的低氧环境。   这款无尘光罩储存柜是高精度行业的理想选择，保证安全可靠的光罩储存，并有效防止环境因素造成损害。凭借其先进的功能，它是无污染光罩储存的必备解决方案。

细节

RFID光罩储存干燥空气柜

BM1481-1

RFID光罩储存干燥空气柜（RFID Mask Box）是一种用于半导体产业的设备，专门设计用于储存和管理光罩（Mask）的工具。 光罩是半导体制造过程中用于曝光的重要元件，它们用于在光刻过程中定义电路图案。由于光罩非常精密且昂贵，必须确保其安全存放和精确管理。 RFID光罩储存干燥空气柜透过采用无线射频辨识（RFID）技术，实现了对光罩的自动辨识、追踪和管理。

细节

开放式9寸RFID光罩储存柜

PS0001

开放式9寸RFID光罩储存柜-简单而高效的光罩储存系统，适用于高频繁的操作开放式9寸RFID光罩储存柜设计简单而高效，专为高频繁操作环境中的光罩储存需求而打造。开放式架构方便快速存取，提升工作效率，并有效减少操作过程中的繁琐。 配备RFID进出管理系统，可实现精确的光罩追踪与管理，确保每次取用和存放都能轻松记录，提升管理精度与安全性。 此光罩储存架不具备控湿功能，适合需求较为宽松的环境，提供基本的储存空间，不含额外的湿度控制系统，适用于一般储放环境。

细节