本产品广泛应用于半导体晶圆制造、先进封装、光电元件开发及微机电产线等场域。柜体采节能型气密设计，内建高效氮气循环系统，较传统氮气柜节省超过80%氮气用量。搭配即时温湿度监控显示与视觉化管理介面，使用者可快速掌握储存环境状况，确保光罩长期保存条件稳定一致。
博士門光罩储存氮气柜除了在空间、节能与操作便捷性方面表现出色，更能协助产线有效控制污染源，是维护高良率生产流程中不可或缺的关键设备。

产品特性

• 材质与设计：采用不锈钢SUS 304亮面材质，具有防腐蚀、抗氧化的优点，并配备防滑避震橡胶脚垫，结构坚固，使用耐久。
• 氮气流量调节：配备可调节氮气流量计，范围为5～50 LPM，确保氮气稳定供应，满足不同储放需求。
• 高精密温湿度控制：内建高精密温湿度感测器，并透过LED数字显示实时监控，湿度精确至3%RH。
• 湿度设定与节能控制：湿度范围可设定于1%～60%RH，并可通过自动控制气体流入来实现节能效果，有效降低能耗。
• 数据储存与连接功能：内建记忆体可存储11,900笔数据，并支援RS232连接与多种格式汇出，方便数据管理与外部设备整合。
• 蜂鸣闪烁警报：当环境条件异常或设定范围被突破时，设备会发出蜂鸣声并伴随闪烁的警示灯，及时提醒使用者处理异常状况。
• 面板锁定功能：设有面板锁定功能，可防止无意间触碰或调整设置，保证设备设定的稳定性与安全性。
• 偏移校正功能：具备偏移校正功能，使用者可以校正感测器或设备的数据，确保测量的准确性和可靠性。

产品优势

• 氮气节省效果显著：经工研院测试，光罩柜能有效节省80%以上的氮气流量，降低氮气消耗，帮助企业节省成本，同时保持光罩的洁净度与稳定性。
• 高度客制化设计：根据不同需求，光罩柜可客制化光罩储放数量及柜体结构，提供最佳的储存方案，满足不同规模与生产环境的需求。
• 精密保护与稳定环境控制：内部可精确调节湿度，并搭配防静电设计，有效保护光罩，避免污染及静电对光罩的影响，确保光罩品质稳定。
• 提升工作效率：光罩柜提供便利的储存空间与操作设计，方便快速存取光罩，提升操作效率，减少生产过程中的延误。
• 可靠性与长效保护：光罩柜具备坚固的结构，长期使用中能保持优良的保护效果，避免光罩因外部环境变化而遭受损害。

这些优势使得光罩柜成为半导体、光电制程及精密制造领域中不可或缺的设备，既能提升生产效率，又能显著降低运营成本。

相片集

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  光罩储存氮气柜根据不同需求客制化储放数量及柜体结构，提供最适合您储存方案。

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  光罩储存氮气柜经工研院测试有效节省80%以上的氮气流量，降低氮气消耗，帮助企业节省成本，同时保持光罩的洁净度与稳定性。