Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA – Kiểm soát độ ẩm chính xác bởi BOSSMEN
Tủ lưu trữ nitơ Reticle Pod với FFU & bộ lọc ULPA được thiết kế để bảo vệ các reticle và mặt nạ khỏi sự ô nhiễm và oxy hóa trong các phòng sạch bán dẫn và quang học. Nó có tính năng lọc ULPA, luồng không khí FFU và xả nitơ liên tục để duy trì một môi trường sạch, khô và không tĩnh điện.
Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA
BM1277
Tủ Lưu Trữ Reticle Khí Trơ (có FFU và Bộ Lọc ULPA) Hệ Thống Lưu Trữ Reticle Pod Độ Sạch Cao (Loại Xả Nitrogen)
Tủ lưu trữ nitơ Reticle Pod với FFU & bộ lọc ULPA được thiết kế để bảo vệ các reticle và mặt nạ khỏi sự ô nhiễm và oxy hóa trong các phòng sạch bán dẫn và quang học. Nó có tính năng lọc ULPA, luồng không khí FFU và xả nitơ liên tục để duy trì một môi trường sạch, khô và không tĩnh điện.
Được xây dựng với vật liệu chống tĩnh điện và cấu trúc kín, nó hỗ trợ tiêu chuẩn phòng sạch Class 100 hoặc tốt hơn. Kiểm soát nitơ tự động và giám sát áp suất chênh lệch cải thiện hiệu quả và kéo dài tuổi thọ của reticle.
Kích thước tùy chỉnh và tích hợp MES có sẵn cho các ứng dụng nhà máy thông minh.
Tính năng
- Chất liệu và thiết kế: Được làm từ thép không gỉ SUS 304 với bề mặt bóng, cung cấp khả năng chống ăn mòn và oxi hóa. Nó được trang bị chân cao su hấp thụ sốc chống trượt cho cấu trúc vững chắc và độ bền lâu dài.
- Kiểm soát độ ẩm chính xác cao: Giám sát thời gian thực qua màn hình LED kỹ thuật số, với độ chính xác độ ẩm lên đến 3% RH. Phạm vi độ ẩm có thể được thiết lập từ 1% đến 60% RH, và kiểm soát lưu lượng khí tự động giúp đạt được hiệu quả tiết kiệm năng lượng, giảm thiểu tiêu thụ năng lượng một cách hiệu quả.
Lợi ích
- Trang bị kệ để lưu trữ an toàn: Việc lưu trữ các pod reticle là rất quan trọng. Sản phẩm của chúng tôi có các kệ chắc chắn cung cấp môi trường lưu trữ an toàn và ổn định, đảm bảo tính toàn vẹn của các reticle.
- Bơm Nitơ: Công nghệ bơm nitơ giảm độ ẩm trong không gian lưu trữ, hiệu quả ngăn ngừa hư hại do độ ẩm đối với các reticle và kéo dài tuổi thọ của chúng.
- Giám sát Nhiệt độ và Độ ẩm cho Môi trường Ổn định: Hệ thống giám sát nhiệt độ và độ ẩm chính xác cao được tích hợp liên tục phát hiện sự thay đổi môi trường để đảm bảo điều kiện lưu trữ tối ưu cho các reticle.
- Xử lý Sạch FFU và ULPA: Công nghệ lọc FFU và ULPA tiên tiến được sử dụng để cung cấp không gian lưu trữ siêu sạch, ngăn ngừa bất kỳ chất ô nhiễm nào ảnh hưởng đến chất lượng của các reticle.
- Thiết kế nghiêng cho an toàn chống trượt: Các kệ tủ được thiết kế với độ nghiêng về phía sau, hiệu quả ngăn chặn các điểm ngắm trượt, đảm bảo mỗi điểm ngắm được lưu trữ an toàn.
Thông số kỹ thuật sản phẩm
| Mẫu | Tủ Nitơ Reticle Pod FFU + ULPA BM1277 |
|---|---|
| Kích thước bên ngoài (mm) | W2080 x H1000 x D550 |
| Nội dung lưu trữ | Pod reticle |
| Màn hình hiển thị nhiệt độ | 0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C |
| Phạm vi điều khiển độ ẩm | 1%RH ~ 60% ± 3%RH |
| Công suất tiêu thụ | 16W |
| Dung tích | 66PCS |
| Điện áp | 110V/240V |
| Tần số | 50Hz/60Hz |
- Thư viện
Tủ lưu trữ nitơ BM1277 cho pod reticle với FFU & bộ lọc ULPA.
Tủ nitơ cho pod reticle sử dụng bộ lọc FFU và ULPA để cung cấp không gian lưu trữ sạch, bảo vệ photomask khỏi ô nhiễm.
Tủ nitơ cho pod reticle có kệ nghiêng ngăn photomask trượt, đảm bảo lưu trữ an toàn.
Tải xuống Sản phẩm phổ biến
Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA – Kiểm soát độ ẩm chính xác bởi BOSSMEN
Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA được thiết kế để bảo vệ các vật liệu nhạy cảm, điện tử và thiết bị khỏi hư hại do độ ẩm.BOSSMEN tích hợp các hệ thống kiểm soát độ ẩm tiên tiến để duy trì mức độ RH ổn định, đảm bảo độ tin cậy trong sản xuất, phòng thí nghiệm và cơ sở nghiên cứu.
Được thiết kế với độ chính xác và độ bền, Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA cung cấp hiệu suất ổn định cho môi trường lưu trữ và quy trình lâu dài.Từ phòng sạch đến phòng thí nghiệm chất lượng, sản phẩm BOSSMEN giúp người dùng giảm thiểu sự ăn mòn, oxi hóa và rủi ro ESD trong khi vẫn tuân thủ các tiêu chuẩn môi trường nghiêm ngặt.
Khám phá cách mà Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA nâng cao năng suất và bảo tồn trong quy trình làm việc của bạn.Mỗi đơn vị phản ánh ba mươi năm kinh nghiệm kiểm soát độ ẩm của BOSSMEN, kết hợp đổi mới, an toàn và giá trị có thể đo lường cho các ứng dụng công nghiệp và phòng thí nghiệm.