Được xây dựng với vật liệu chống tĩnh điện và cấu trúc kín, nó hỗ trợ tiêu chuẩn phòng sạch Class 100 hoặc tốt hơn. Kiểm soát nitơ tự động và giám sát áp suất chênh lệch cải thiện hiệu quả và kéo dài tuổi thọ của reticle.
Kích thước tùy chỉnh và tích hợp MES có sẵn cho các ứng dụng nhà máy thông minh.

Tính năng

• Vật liệu và Thiết kế: Được làm bằng thép không gỉ SUS 304 với lớp hoàn thiện bóng, có khả năng chống ăn mòn và oxy hóa. Nó được trang bị chân cao su chống trượt, giảm sốc để có cấu trúc chắc chắn và độ bền lâu dài.
• Kiểm soát độ ẩm chính xác cao: Giám sát thời gian thực qua màn hình LED kỹ thuật số, với độ chính xác độ ẩm lên đến 3% RH. Phạm vi độ ẩm có thể được thiết lập từ 1% đến 60% RH, và kiểm soát lưu lượng khí tự động giúp đạt được hiệu quả tiết kiệm năng lượng, giảm thiểu tiêu thụ năng lượng một cách hiệu quả.

Lợi ích

• Trang bị Kệ để Lưu trữ An toàn: Việc lưu trữ hộp reticle là rất quan trọng. Sản phẩm của chúng tôi có các kệ chắc chắn, cung cấp một môi trường lưu trữ an toàn và ổn định, đảm bảo tính toàn vẹn của reticle.
• Nạp Nitơ: Công nghệ nạp nitơ làm giảm độ ẩm trong không gian lưu trữ, ngăn ngừa hiệu quả thiệt hại do hơi ẩm cho reticle và kéo dài tuổi thọ của chúng.
• Giám sát Nhiệt độ và Độ ẩm để có Môi trường Ổn định: Hệ thống giám sát nhiệt độ và độ ẩm có độ chính xác cao tích hợp liên tục phát hiện các thay đổi môi trường để đảm bảo điều kiện lưu trữ tối ưu cho reticle.
• Xử lý Sạch FFU và ULPA: Các công nghệ lọc FFU và ULPA tiên tiến được sử dụng để cung cấp một không gian lưu trữ siêu sạch, ngăn chặn mọi chất gây ô nhiễm ảnh hưởng đến chất lượng của reticle.
• Thiết kế Nghiêng để Chống Trượt An toàn: Các kệ tủ được thiết kế với độ nghiêng về phía sau, ngăn chặn hiệu quả reticle bị trượt, đảm bảo mỗi reticle được lưu trữ an toàn.

Thư viện

• 

  Tủ lưu trữ nitơ cho pod reticle BM1277 với FFU & bộ lọc ULPA.

• 

  Tủ nitơ cho pod reticle sử dụng bộ lọc FFU và ULPA để cung cấp không gian lưu trữ sạch, bảo vệ photomask khỏi ô nhiễm.

• 

  Tủ nitơ cho pod reticle có kệ nghiêng ngăn chặn photomask trượt, đảm bảo lưu trữ an toàn.

Các sản phẩm liên quan

Tủ lưu trữ nitơ cho mặt nạ.

BM1133-2

Được thiết kế cho các ứng dụng bán dẫn và quang điện, Tủ lưu trữ nitơ...

Thông tin chi tiết

Tủ Nitơ Pod có kích thước nano

BM1238, BM1273

Được thiết kế cho lưu trữ photomask bán dẫn tiên tiến và EUV, tủ này cung...

Thông tin chi tiết

Tủ Lưu Trữ Nitrogen Reticle Pod với FFU & Bộ Lọc ULPA

BM1277

Tủ lưu trữ nitơ Reticle Pod với FFU & bộ lọc ULPA được thiết kế để bảo...

Thông tin chi tiết

Tủ lưu trữ nitơ đa năng cho pod reticle

BM1296-2

Mặt nạ quang học là rất quan trọng trong sản xuất bán dẫn để chuyển...

Thông tin chi tiết

Tủ Ni-tơ Pod Reticle Không Hạt

BM1305

Trong tủ nitơ của Pod Reticle không có hạt, hệ thống không khí hồi lưu liên...

Thông tin chi tiết

Giá đỡ Reticle Pod 9 inch

BM1307

BOSSMEN Giá đỡ lưu trữ pod 9″ Reticle có thiết kế mở được tạo ra đặc...

Thông tin chi tiết

Tủ Ni-tơ Pod Reticle Không Hạt

BM1324-2

Tủ Nitrogen Reticle Pod không hạt cung cấp bảo vệ tối ưu cho photomask trong...

Thông tin chi tiết

Tủ khô không khí lưu trữ reticle RFID.

BM1481-1

Tủ lưu trữ không khí khô có RFID (Hộp mặt nạ RFID) là một thiết bị chuyên...

Thông tin chi tiết

Tủ lưu trữ chấm tích hợp RFID 9"

PS0001

Tủ lưu trữ có tích hợp RFID 9" có thiết kế đơn giản nhưng hiệu quả,...

Thông tin chi tiết