Tủ Nitơ Pod có kích thước nano

BM1238, BM1273

Hệ thống lưu trữ reticle không bụi, Tủ lưu trữ reticle sạch hiệu suất cao.

Được thiết kế cho lưu trữ photomask bán dẫn tiên tiến và EUV, tủ này cung cấp môi trường nitơ sạch Class 1, độ ẩm thấp để bảo vệ mask khỏi ô nhiễm, hư hại và oxy hóa.

Hỏi ngay bây giờ

Với luồng không khí XCDA tự động, điều khiển FFU dựa trên oxy và phân phối nitơ đa lớp, nó đảm bảo điều kiện lưu trữ ổn định. Lọc ULPA tích hợp và giám sát độ ẩm / nhiệt độ theo thời gian thực bảo vệ chất lượng mask.
Lý tưởng cho các nhà máy EUV, logic và bộ nhớ, đóng gói tiên tiến và MEMS. Thiết kế mô-đun và tiết kiệm năng lượng, đây là giải pháp chính cho sản xuất hiệu suất cao và độ tin cậy cao.

Tính năng

Vật liệu và thiết kế: Được làm từ thép không gỉ SUS 304 với bề mặt bóng, mang lại khả năng chống ăn mòn. Được trang bị cửa sổ kính, bánh xe phanh chịu tải cao và chân điều chỉnh để cung cấp thiết kế cấu trúc ổn định và bền bỉ.
Điều chỉnh lưu lượng nitơ: Nguồn không khí đầu vào có thể được chọn giữa nitơ và XCDA (không khí khô), cung cấp các tùy chọn nguồn khí linh hoạt.
Quản lý lưu trữ và truy cập reticle: Được trang bị đầu đọc thẻ kiểm soát truy cập và hệ thống lập trình RFID để quản lý hiệu quả các hoạt động lưu trữ và truy xuất reticle, cải thiện an ninh và độ chính xác.
Giám sát lưu lượng nitơ độc lập: Mỗi pod reticle có thể giám sát độc lập lưu lượng nitơ và báo cáo dữ liệu, sử dụng thiết kế tiết kiệm năng lượng thân thiện với môi trường để giảm tiêu thụ nitơ không cần thiết.
Thiết kế tủ: Được trang bị bộ lọc ULPA và bộ lọc hóa chất, có thiết kế sạch sẽ chống bụi áp suất dương để ngăn chặn hiệu quả các chất ô nhiễm xâm nhập.
Giám sát nhiệt độ và độ ẩm: Cho phép thiết lập, ghi lại, cảnh báo và hiệu chỉnh bù nhiệt độ và độ ẩm, với phạm vi điều chỉnh độ ẩm từ 5%-60% RH.
Chức năng cảnh báo: Khi có sự bất thường trong quá trình đặt hoặc gỡ bỏ các pod reticle, hệ thống sẽ kích hoạt cảnh báo và ghi lại sự kiện để đảm bảo hoạt động đúng cách.
Chế độ an toàn: Được trang bị cảnh báo cho thời gian mở cửa vượt quá giới hạn, độ ẩm cao và nồng độ oxy quá mức, cung cấp bảo vệ an toàn toàn diện.
Thông số nguồn điện: Hỗ trợ nguồn điện 110V/240V, 50-60Hz, đáp ứng tiêu chuẩn quốc tế và phù hợp với nhiều nhu cầu công nghiệp.
Hệ thống cung cấp khí: Khi luồng không khí FFU được kích hoạt, đầu vào XCDA tự động bắt đầu, đảm bảo không khí khô chảy vào hệ thống.
Tiếp nhận và xác nhận Nitơ (N2): Nitơ đi qua bộ lọc nitơ và sau đó được phân phối vào từng pod reticle theo từng lớp. Ống xả được trang bị cảm biến nhiệt độ và độ ẩm để theo dõi dòng nitơ và đảm bảo điều kiện lưu trữ ổn định cho các photomask.
Thiết bị quạt lọc có thể lập trình (FFU): Điều kiện kích hoạt FFU được thiết lập dựa trên mức độ nồng độ oxy, đảm bảo lọc và tuần hoàn không khí chính xác.
Lọc hóa chất: Lọc hiệu quả các chất ô nhiễm hóa học như ion cacbonat, sulfide và amoniac trong không khí khô, bảo vệ photomask khỏi ô nhiễm.
Lọc không khí (ULPA): Có khả năng lọc các hạt siêu mịn, đạt tiêu chuẩn sạch Class 1, cung cấp môi trường không bụi.
Bộ lọc nitơ: Lọc các chất ô nhiễm hóa học như ion cacbonat, sulfide và amoniac từ nitơ, đảm bảo môi trường lưu trữ luôn ở trạng thái tinh khiết nhất.

Lợi ích

Môi trường lưu trữ sạch ở quy mô nano để bảo vệ chất lượng photomask: Được trang bị hệ thống lọc hiệu suất cao ULPA, đạt độ sạch Class 1, hiệu quả trong việc cách ly các hạt và chất ô nhiễm trong không khí để đảm bảo photomask không bị ảnh hưởng bởi các yếu tố môi trường bên ngoài trong quá trình lưu trữ.
Kiểm soát khí tự động cho độ ẩm ổn định và sự sạch sẽ: Thiết kế phân phối tự động hút khí và tinh chế nitơ XCDA, kết hợp với cảm biến nhiệt độ, độ ẩm và kiểm soát nồng độ O₂, liên tục giám sát và điều chỉnh điều kiện lưu trữ để ngăn ngừa sự suy giảm của photomask do độ ẩm hoặc tiếp xúc với oxy.
Hoạt động tiết kiệm năng lượng để giảm tiêu thụ nitơ: Hệ thống điều khiển FFU thông minh tích hợp hoạt động dựa trên nồng độ oxy theo thời gian thực, và thiết kế mô-đun tối ưu hóa các đường dẫn không khí, tối đa hóa việc tiết kiệm nitơ và hiệu quả năng lượng.

Thông số kỹ thuật sản phẩm

Mẫu	Cabinet Nitrogen Pod Lưới Nano BM1283-2	Cabinet Nitrogen Pod Lưới Nano BM1273
Kích thước bên ngoài (mm)	W2800 x H2150 x D750	W1800 x H2071 x D550
Nội dung lưu trữ	RSP200 hoặc EVU POD
Màn hình hiển thị nhiệt độ	0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C
Phạm vi điều khiển độ ẩm	5%RH ~ 60% ± 3%RH
Dung tích	40PCS	8PCS
Điện áp	110V/240V
Tần số	50Hz/60Hz

Thư viện

BM1273 Tủ Nitơ dạng lưới có kích thước nano.
Tủ Nitrogen Reticle Pod Nanoscale phù hợp để lưu trữ hộp reticle RSP200 hoặc EVU POD.
Tủ Nitrogen Reticle Pod Nanoscale được làm bằng thép không gỉ SUS 304 với khả năng chống ăn mòn.
BM1238 Tủ Ni-tơ dạng lưới có kích thước nano.
Tủ Nitrogen Reticle Pod Nanoscale có hệ thống RFID để quản lý lưu trữ và truy xuất reticle.
Tủ Nitrogen Reticle Pod Nanoscale có bộ lọc ULPA và hóa chất.