С автоматизированным потоком XCDA, управлением FFU на основе кислорода и многослойным распределением азота, он обеспечивает стабильные условия хранения. Интегрированная фильтрация ULPA и мониторинг влажности / температуры в реальном времени защищают качество масок.
Идеально подходит для EUV, логических и памятьных фабрик, передовой упаковки и MEMS. Модульный и энергоэффективный, это ключевое решение для высокопроизводственного и высоконадежного производства.

Особенности

• Материал и дизайн: Изготовлен из нержавеющей стали SUS 304 с полированной поверхностью, обеспечивающей коррозионную стойкость. Оснащен стеклянным окном, высоконагруженными тормозными колесами и регулируемыми ножками для обеспечения стабильного и прочного конструктивного дизайна.
• Регулировка потока азота: Источник забора воздуха можно выбирать между азотом и XCDA (сухим воздухом), что предоставляет гибкие варианты газового источника.
• Управление хранением и доступом к ретикулу: Оснащен считывателями карт доступа и программируемой системой RFID для эффективного управления операциями хранения и извлечения ретикулов, улучшая безопасность и точность.
• Независимый мониторинг потока азота: Каждый модуль ретикулов может независимо контролировать поток азота и сообщать данные, используя экологически чистый энергосберегающий дизайн для снижения ненужного потребления азота.
• Дизайн шкафа: Оснащен фильтрами ULPA и химическими фильтрами, с положительным давлением и пылезащитным чистым дизайном для эффективной защиты от загрязняющих веществ.
• Мониторинг температуры и влажности: Позволяет устанавливать, записывать, сигнализировать и калибровать температуру и влажность, с диапазоном регулировки влажности от 5% до 60% RH.
• Функция тревоги: При наличии аномалии во время размещения или удаления модулей ретикулов система сработает тревогу и зафиксирует событие для обеспечения правильной работы.
• Режим безопасности: Оснащен сигнализациями для превышения времени открытия двери, высокой влажности и чрезмерной концентрации кислорода, обеспечивая комплексную защиту.
• Электрические характеристики: Поддерживает питание 110В/240В, 50-60Гц, соответствует международным стандартам и подходит для различных промышленных нужд.
• Система газоснабжения: Когда активируется поток воздуха FFU, автоматический впуск XCDA начинает работу, обеспечивая поступление сухого воздуха в систему.
• Поступление и подтверждение азота (N2): Азот проходит через очиститель азота, а затем распределяется по каждому поду сетки слоями. Выходная труба оснащена датчиками температуры и влажности для мониторинга потока азота и обеспечения стабильных условий хранения фотошаблонов.
• Программируемый фильтрующий вентилятор (FFU): Условие активации FFU устанавливается на основе уровней концентрации кислорода, обеспечивая точную фильтрацию и циркуляцию воздуха.
• Химический фильтр: Эффективно фильтрует химические загрязнители, такие как ионы карбоната, сульфиды и аммиак в сухом воздухе, защищая фотомаски от загрязнения.
• Воздушный фильтр (ULPA): Способен фильтровать ультратонкие частицы, достигая уровня чистоты класса 1, обеспечивая безпылевую среду.
• Очиститель азота: Фильтрует химические загрязнители, такие как ионы карбоната, сульфиды и аммиак из азота, обеспечивая хранение в самой чистой среде.

Преимущество

• Наноскопическая чистая среда хранения для защиты качества фотошаблонов: Оснащена системой фильтрации ULPA высокой эффективности, достигающей чистоты класса 1, эффективно изолируя воздушные частицы и загрязнения, чтобы гарантировать, что фотошаблоны остаются незатронутыми внешними факторами окружающей среды во время хранения.
• Автоматизированный газовый контроль для стабильной влажности и чистоты: Дизайн автоматического забора и распределения азота XCDA, в сочетании с датчиками температуры, влажности и контроля концентрации O₂, непрерывно мониторит и регулирует условия хранения, чтобы предотвратить деградацию фотомаски из-за воздействия влаги или кислорода.
• Энергоэффективная работа для снижения потребления азота: встроенная интеллектуальная система управления FFU активируется на основе реальной концентрации кислорода, а модульный дизайн оптимизирует пути воздушного потока, максимизируя экономию азота и энергоэффективность.

Галерея

• 

  Кабинет для хранения ретикулов BM1273 на наноуровне с азотом.

• 

  Кабинет для хранения ретикулов на наноуровне подходит для хранения коробок с ретикулом RSP200 или EVU POD.

• 

  Кабинет для хранения ретикулов на наноуровне изготовлен из нержавеющей стали SUS 304 с коррозионной стойкостью.

• 

  Кабинет для хранения ретикулов BM1238 на наноуровне с азотом.

• 

  Кабинет для хранения ретикулов на наноуровне оснащен системой RFID для управления хранением и извлечением ретикулов.

• 

  Кабинет для хранения ретикулов на наноуровне оснащен ULPA и химическими фильтрами.