나노스케일 레티클 포드 질소 캐비닛

BM1238, BM1273

먼지 없는 레티클 저장 시스템, 고효율 청정 레티클 저장 캐비닛

고급 반도체 및 EUV 포토마스크 저장을 위해 설계된 이 캐비닛은 클래스 1 청정, 저습도 질소 환경을 제공하여 마스크를 오염, 손상 및 산화로부터 보호합니다.

자동화된 XCDA 공기 흐름, 산소 기반 FFU 제어 및 다층 질소 분배를 통해 안정적인 저장 조건을 보장합니다. 통합 ULPA 필터링 및 실시간 습도/온도 모니터링이 마스크 품질을 보호합니다.
EUV, 로직 및 메모리 팹, 고급 패키징 및 MEMS에 이상적입니다. 모듈형이며 에너지 효율적이며, 고수익 및 고신뢰성 생산을 위한 핵심 솔루션입니다.

기능

재료 및 디자인: 부식 저항성을 제공하는 연마된 표면의 스테인리스 스틸 SUS 304로 제작되었습니다. 유리 창, 고하중 브레이크 바퀴 및 레벨링 발이 장착되어 안정적이고 내구성 있는 구조 디자인을 제공합니다.
질소 흐름 조정: 공기 흡입원은 질소와 XCDA(건조 공기) 중에서 선택할 수 있어 유연한 가스 공급 옵션을 제공합니다.
레티클 저장 및 접근 관리: 접근 제어 카드 리더기와 RFID 프로그래머블 시스템이 장착되어 레티클 저장 및 검색 작업을 효과적으로 관리하여 보안성과 정확성을 향상시킵니다.
독립적인 질소 흐름 모니터링: 각 레티클 포드는 독립적으로 질소 흐름을 모니터링하고 데이터를 보고할 수 있으며, 불필요한 질소 소비를 줄이기 위해 친환경 에너지 절약 디자인을 활용합니다.
캐비닛 디자인: ULPA 필터와 화학 필터가 장착되어 오염 물질이 유입되는 것을 효과적으로 방지하는 양압 방진 클린 디자인을 특징으로 합니다.
온도 및 습도 모니터링: 온도 및 습도의 설정, 기록, 경고 및 보정이 가능하며, 습도 조정 범위는 5%-60% RH입니다.
알람 기능: 레티클 포드를 배치하거나 제거하는 동안 이상이 발생하면 시스템이 알람을 울리고 사건을 기록하여 적절한 작동을 보장합니다.
안전 모드: 문 열림 시간이 제한을 초과할 때, 높은 습도 및 과도한 산소 농도에 대한 알람이 장착되어 종합적인 안전 보호를 제공합니다.
전원 사양: 110V/240V, 50-60Hz 전원 공급을 지원하며, 국제 표준을 충족하고 다양한 산업 요구에 적합합니다.
가스 공급 시스템: FFU 공기 흐름이 활성화되면 XCDA 흡입이 자동으로 시작되어 건조한 공기가 시스템으로 흐릅니다.
질소(N2) 섭취 및 확인: 질소는 질소 정화기를 통과한 후 각 레티클 포드에 층으로 분배됩니다. 배출 파이프에는 질소 흐름을 모니터링하고 포토마스크의 안정적인 저장 조건을 보장하기 위해 온도 및 습도 센서가 장착되어 있습니다.
프로그래머블 필터 팬 유닛(FFU): FFU 작동 조건은 산소 농도 수준에 따라 설정되어 정밀한 공기 필터링 및 순환을 보장합니다.
화학 필터: 건조한 공기에서 탄산 이온, 황화물 및 암모니아와 같은 화학 오염 물질을 효과적으로 필터링하여 포토마스크를 오염으로부터 보호합니다.
공기 필터(ULPA): 초미세 입자를 필터링할 수 있으며, 클래스 1 청정도 수준을 달성하여 먼지 없는 환경을 제공합니다.
질소 정화기: 질소에서 탄산 이온, 황화물 및 암모니아와 같은 화학 오염 물질을 필터링하여 저장 환경이 가장 순수한 상태를 유지하도록 보장합니다.

혜택

포토마스크 품질을 보호하기 위한 나노스케일 클린 스토리지 환경: ULPA 고효율 필터링 시스템을 갖추어 클래스 1 청정도를 달성하고, 공기 중 입자와 오염 물질을 효과적으로 차단하여 저장 중 외부 환경 요인에 의해 포토마스크가 영향을 받지 않도록 보장합니다.
안정적인 습도와 청결을 위한 자동 가스 제어: XCDA 자동 흡입 및 질소 정화 분배 설계는 온도, 습도 센서 및 O₂ 농도 제어와 결합되어 저장 조건을 지속적으로 모니터링하고 조정하여 습기나 산소 노출로 인한 포토마스크 열화를 방지합니다.
질소 소비를 줄이기 위한 에너지 효율적인 작동: 내장된 지능형 FFU 제어 시스템은 실시간 산소 농도에 따라 활성화되며, 모듈형 디자인은 공기 흐름 경로를 최적화하여 질소 절약과 에너지 효율성을 극대화합니다.

제품 사양

모델	나노 스케일 레티클 포드 질소 캐비닛 BM1283-2	나노 스케일 레티클 포드 질소 캐비닛 BM1273
외부 치수 (mm)	W2800 x H2150 x D750	W1800 x H2071 x D550
저장된 내용	RSP200 또는 EVU POD
온도 표시	0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C
습도 제어 범위	5%RH ~ 60% ± 3%RH
용량	40개	8개
전압	110V/240V
주파수	50Hz/60Hz