RFID光罩儲存乾燥空氣櫃

氮氣封閉式光罩保護櫃、無塵光罩儲存櫃 / 提供掛畫架、展示櫃、環境控濕設備的整合解決方案。

RFID光罩儲存乾燥空氣櫃 - RFID光罩儲存乾燥空氣櫃實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。
  • RFID光罩儲存乾燥空氣櫃 - RFID光罩儲存乾燥空氣櫃實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。

RFID光罩儲存乾燥空氣櫃

BM1481-1

氮氣封閉式光罩保護櫃、無塵光罩儲存櫃

RFID光罩儲存乾燥空氣櫃(RFID Mask Box)是一種用於半導體產業的設備,專門設計用於儲存和管理光罩(Mask)的工具。

光罩是半導體製造過程中用於曝光的重要元件,它們用於在光刻過程中定義電路圖案。由於光罩非常精密且昂貴,必須確保其安全存放和精確管理。

RFID光罩儲存乾燥空氣櫃透過採用無線射頻辨識(RFID)技術,實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。

產品特性
  • 櫃體材質:SUS304不鏽鋼:這是一種高耐腐蝕、耐高溫、強度高的材料,保證櫃體的穩定性與耐用性,能夠長期使用且易於清潔。
  • 光罩儲位:可容納 168PCS光罩,這樣的儲位數量使其能夠應對較大規模的光罩存放需求,適合高負載的使用場景。
  • 內建控濕系統:提供濕度控制,能精確地控制櫃內的濕度,防止光罩因潮濕環境而受損,此外,該系統還具備溫濕度偵測功能,可實時監控櫃內溫濕度,進一步確保光罩存放環境的穩定性。
  • 放光罩盒後傾設計:光罩盒儲位設計為後傾設計,有助於提升光罩盒的放置穩定性,避免光罩在儲存過程中移動或受到不必要的損壞。
  • 玻璃門設計:玻璃門便於快速辨識櫃內光罩的存取狀態,操作簡便,並且能提供清晰的視覺呈現。
  • 開門停氣系統:當櫃門打開時,系統會自動停止氣流,保障人員操作安全。
  • 儲位配備先進的管理系統:每個儲位都配備了 RFID天線,可實現精準追蹤與管理,態指示燈號可以清晰顯示每個儲位的使用狀態,便於操作人員迅速了解儲存情況。
  • 支撐腳固定支架:提供穩固的櫃體支撐,避免在操作或移動過程中發生損壞,保證櫃體長期穩定運行。
  • RFID TAG安裝位置:RFID TAG安裝在光罩盒右側邊,方便掃描和識別。
產品優勢
  • 高度客製化設計:根據不同需求,光罩櫃可客製化光罩儲放數量及櫃體結構,提供最佳的儲存方案,滿足不同規模與生產環境的需求。
  • 精密保護與穩定環境控制:內部可精確調節濕度,並搭配防靜電設計,有效保護光罩,避免污染及靜電對光罩的影響,確保光罩品質穩定。
  • 提升工作效率:光罩櫃提供便利的儲存空間與操作設計,方便快速存取光罩,提升操作效率,減少生產過程中的延誤。
  • 可靠性與長效保護:光罩櫃具備堅固的結構,長期使用中能保持優良的保護效果,避免光罩因外部環境變化而遭受損害。

這些優勢使得光罩櫃成為半導體、光電製程及精密製造領域中不可或缺的設備,既能提升生產效率,又能顯著降低運營成本。

產品規格
型號RFID光罩儲存乾燥空氣櫃
BM1481-1
外吋 (mm)W2630xD550xH2075
內吋擺放數28PCS/架
儲存內容光罩
溫度顯示0.1°C ~ 99.9°C ± 1°C
控濕範圍1%RH ~ 60% ± 3%RH
容量168PCS
電源110V/240V
頻率50Hz/60Hz
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