光罩自動倉儲櫃
BS3002-1
光罩自動倉儲櫃為每一個 MASK POD 提供獨立氮氣管理與精準濕度控制
採用微環境控制科技,提供每一個MASKPOD 獨立氮氣管理、卓越精準濕度控制,搭載智能 RFID儲存管理系統,結合自動化追蹤、即時庫存管理與直覺化操作介面。
產品特性
- 微環境控制技術:採用高精度濕度與環境監測系統,提供穩定且潔淨的儲存空間,確保光罩長期保存品質。
- 獨立氮氣充氣管理:每一個儲位皆可進行獨立氮氣管理與流量控制,維持光罩最佳保存環境並延長使用壽命。
- 智能 RFID 儲存管理:搭載 RFID 識別與管理系統,提供即時庫存監控、存取紀錄與追蹤功能,提升管理效率。
- 全自動化存取系統:自動化機械手臂搭配智能控制系統,實現光罩自動存取與定位,降低人工操作風險。
- 即時監控與警報系統:系統可即時顯示儲位狀態、氮氣充氣狀況與環境參數,異常時自動警報通知。
產品優勢
- 精準存取與安全管理:自動化存取系統可精準完成光罩出庫、入庫與定位,降低人為操作造成的污染與損傷風險。
- 穩定高效的環境控制:透過精準流量與環境監控系統,確保每個儲位維持最佳保存條件。
- 降低人力依賴:自動化流程可減少人工操作與管理需求,提高作業效率並降低人為錯誤。
- 提升製程可靠度:穩定的儲存環境與完整數據紀錄,符合半導體製程品質控管與稽核需求。
- 完整數據追溯能力:每一次存取、環境變化與操作紀錄皆可追蹤,確保光罩管理透明化。
光罩自動倉儲櫃結合微環境控制技術與自動化倉儲系統,提供半導體光罩安全、潔淨且可追溯的儲存管理方案。
產品規格
| 型號 | 光罩自動倉儲櫃 BS3002-01 |
|---|---|
| 外吋 (mm) | W1600XH1900XD2450 |
| 內吋 | 客製化 |
| 儲存內容 | 光罩 |
| 容量 | 1PCS |
- 相片集
- 關聯產品
多用途光罩儲存氮氣櫃
BM1296-2
光罩是將積體電路的各種電路設計圖案轉印到晶圓上的關鍵模具,對晶圓生產至關重要,經由微影技術,光罩將設計圖案縮小並透過曝光反映於晶圓上,如果光罩品質出現缺陷,這些缺陷將被複製到晶圓的每個晶粒上,直接影響晶圓的良率。隨著微影技術的進步,光罩圖案越來越精細,光罩污染及良率損失的風險也隨之增加,倍縮光罩的塗層特別精細且易受損,外來的粉塵與化學殘留物,都是潛在的污染源,對光罩品質構成威脅。除了光罩本身的製造品質,光罩的保存方式也極為重要,為了確保光罩的長期穩定性,通常會將光罩存放在潔淨的氮氣櫃中,藉由氮氣清除光罩上的化學污染,並保持適當的濕度環境。我們的多用途光罩儲存氮氣櫃專為滿足不同客戶需求而設計,具備高效、智能的儲存解決方案,特別適合需要高度精密環境的光罩與晶圓傳送盒
細節RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃
BM1305
回風功能是指空氣循環系統中的一部分,將室內空氣吸回並經過過濾後再進行排放或循環使用,此系統可有效保持儲存環境中的空氣潔淨,特別是在需要高潔淨度的場所(如光罩儲存櫃)中,對於過濾極細粉塵和有害物質至關重要。 在RFID無塵回風潔淨光罩儲氮氣存櫃中,回風系統會將櫃內的空氣吸入並過濾,去除其中的污染物,保證光罩處於潔淨、無塵的環境,從而降低光罩受損和污染的風險,確保其品質穩定。
細節開放式9寸光罩儲存櫃
BM1307
這款光罩櫃為開放式設計,專為存放光罩盒而打造。此產品不具備控濕功能,也不提供氮氣填充,因此適用於對環境要求較低的存儲需求,9吋光罩盒儲物架提供有效空間管理,方便存取光罩盒,適用於一般儲存用途,無需額外的氣體或濕度控制系統。
細節RFID無塵光罩儲存氮氣櫃
BM1324-2
RFID無塵光罩儲存氮氣櫃為光罩提供最佳保護,並在潔淨、受控的環境中儲存。通過氮氣充填來防止濕氣和氧化,從而保持光罩的品質並延長其使用壽命。無塵設計確保儲存空間無污染,避免外界顆粒進入。 配備RFID技術,該櫃能夠輕鬆跟蹤和管理光罩,提高庫存效率。可調節的氮氣流量讓使用者能夠根據具體需求定制儲存條件,保持穩定的低氧環境。這款無塵光罩儲存櫃是高精度行業的理想選擇,保證安全可靠的光罩儲存,並有效防止環境因素造成損害。憑藉其先進的功能,它是無污染光罩儲存的必備解決方案。
細節RFID光罩儲存乾燥空氣櫃
BM1481-1
RFID光罩儲存乾燥空氣櫃(RFID Mask Box)是一種用於半導體產業的設備,專門設計用於儲存和管理光罩(Mask)的工具。 光罩是半導體製造過程中用於曝光的重要元件,它們用於在光刻過程中定義電路圖案。由於光罩非常精密且昂貴,必須確保其安全存放和精確管理。 RFID光罩儲存乾燥空氣櫃透過採用無線射頻辨識(RFID)技術,實現了對光罩的自動辨識、追蹤和管理。
細節開放式9寸RFID光罩儲存櫃
PS0001
開放式9寸RFID光罩儲存櫃-簡單而高效的光罩儲存系統,適用於高頻繁的操作開放式9寸RFID光罩儲存櫃設計簡單而高效,專為高頻繁操作環境中的光罩儲存需求而打造。開放式架構方便快速存取,提升工作效率,並有效減少操作過程中的繁瑣。 配備...
細節
博士門 光罩自動倉儲櫃介紹
博士門股份有限公司是台灣一家擁有超過30年經驗的專業光罩自動倉儲櫃生產服務商。 我們成立於西元1993年, 在電子零組件製造業領域上, 博士門提供專業高品質的光罩自動倉儲櫃製造服務, 博士門結合先進的檢測設備,進行全面的品質檢驗與測試,包括尺寸精度、功能測試、耐久性檢驗等,確保產品符合客戶需求和市場規範。










