氮氣控制系統
博士門氮氣控制系統,專為半導體產業設計,搭配不鏽鋼氮氣櫃,符合國際半導體乾燥暨潔淨標準,如IEC-TR-62258-3規範,該規範明確指出,晶圓片(Wafer)和晶片(Bare...
乾燥空氣控制系統
乾燥空氣控制系統專為電子產業設計,提供潔淨乾燥的空氣,實現高效除濕,這款系統可直接搭配各式氣密櫃或防潮櫃使用,符合國際乾燥與靜電標準,特別是IPC/JEDEC...
IoT物聯網溫濕度監控系統
博士門IoT物聯網溫濕度監控系統能夠一次性監控全廠的所有溫濕度設備,論是氮氣櫃、防潮櫃、烘烤箱或光罩櫃,所有數據都會即時回饋至中控部門,配備記錄與警報系統可幫助使用者隨時掌握設備運行狀態,即時發現異常並迅速解決問題,避免生產中斷或產品質量受損。 這款IoT物聯網溫濕度監控系是現代企業生產管理中不可或缺的工具,能夠幫助企業提升設備效能、保障生產環境穩定,並實現長期的節能與成本控制,立即升級您的生產線,實現智慧化管理!
光罩儲存氮氣櫃
在半導體與光電製程中,任何微小的污染都可能導致整批晶圓報廢,特別是光罩儲存環節的環境控管更是不容忽視。博士門光罩儲存氮氣櫃專為高階製程需求打造,提供穩定潔淨的低濕氮氣環境,有效降低光罩表面化學污染、靜電損傷與微粒附著風險,進一步提升製程良率與產品可靠度。
精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃
精密潔淨奈米級光罩儲存氮氣櫃專為先進半導體製程與奈米級光罩儲存需求設計,提供Class...
無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃
光無塵回風潔淨光罩儲存氮氣櫃是專為半導體及光電產業設計的高潔淨度儲存設備,有效保護Reticle...
多用途光罩儲存氮氣櫃
光罩是將積體電路的各種電路設計圖案轉印到晶圓上的關鍵模具,對晶圓生產至關重要,經由微影技術,光罩將設計圖案縮小並透過曝光反映於晶圓上,如果光罩品質出現缺陷,這些缺陷將被複製到晶圓的每個晶粒上,直接影響晶圓的良率。 隨著微影技術的進步,光罩圖案越來越精細,光罩污染及良率損失的風險也隨之增加,倍縮光罩的塗層特別精細且易受損,外來的粉塵與化學殘留物,都是潛在的污染源,對光罩品質構成威脅。 除了光罩本身的製造品質,光罩的保存方式也極為重要,為了確保光罩的長期穩定性,通常會將光罩存放在潔淨的氮氣櫃中,藉由氮氣清除光罩上的化學污染,並保持適當的濕度環境。 我們的多用途光罩儲存氮氣櫃專為滿足不同客戶需求而設計,具備高效、智能的儲存解決方案,特別適合需要高度精密環境的光罩與晶圓傳送盒
RFID無塵光罩儲存氮氣櫃
RFID無塵光罩儲存氮氣櫃為光罩提供最佳保護,並在潔淨、受控的環境中儲存。通過氮氣充填來防止濕氣和氧化,從而保持光罩的品質並延長其使用壽命。無塵設計確保儲存空間無污染,避免外界顆粒進入。 配備RFID技術,該櫃能夠輕鬆跟蹤和管理光罩,提高庫存效率。可調節的氮氣流量讓使用者能夠根據具體需求定制儲存條件,保持穩定的低氧環境。 這款無塵光罩儲存櫃是高精度行業的理想選擇,保證安全可靠的光罩儲存,並有效防止環境因素造成損害。憑藉其先進的功能,它是無污染光罩儲存的必備解決方案。
ABF載板氮氣櫃
ABF載板氮氣櫃專為IC與ABF載板儲存需求設計,依循國際半導體產業標準,具備穩定的氮氣環境與精密濕度控制,能有效防止濕氣對載板造成損害。此高效能乾燥櫃容量大,可存放多層大型ABF載板,是提升良率與確保封裝品質的關鍵設備。
多用途氮氣櫃
博士門多用途氮氣櫃具備高度客製化設計,能根據不同規模與生產環境的需求,靈活調整儲存容量與櫃體結構,無論是大型生產線還是小型實驗室,皆能提供專屬的儲存解決方案,有效保障儲存物品的潔淨度與穩定性。其高效能保護特性提供可調控的氮氣環境,有效防止元件受潮、氧化或其他環境因素的影響;多功能設計適用於各類電子元件、敏感材料等儲存需求,並可靈活配置儲放區域,提升操作便捷性;專業品質則體現在結構堅固、穩定性高,長期使用仍能保持高效能,為您的產品提供持久的保護。透過精心設計的多用途氮氣櫃,您可以確保生產過程中的每一個細節都得到完善照顧,滿足不同行業與環境的特殊需求,實現最佳儲存效果與成本效益。
抽盤式探針卡氮氣櫃
在半導體製程中,探針卡是關鍵的測試工具,其精密度和穩定性對整體生產過程至關重要。為了確保這些高精度設備在存儲過程中不受潮濕或氧化的影響,抽盤式探針卡氮氣櫃應運而生。這款產品專為半導體測試行業設計,提供一個高效能、無塵且穩定的儲存環境,確保探針卡的性能與壽命。
八門雙面開門氮氣櫃
八門雙面開門氮氣櫃專為半導體、電子元件以及其他對環境要求極高的行業設計,提供精確的氮氣控制及潔淨儲存環境,每個儲位均可獨立控制氮氣流量與濕度,確保材料在低濕度環境下保持最佳狀態,避免因濕氣、氧化或污染而造成損壞。 本產品符合國際半導體儲存標準IEC-TR-62258-3及ISO14644潔淨標準,適用於晶圓片、光罩、IC元件等高價值材料的儲存與保護。櫃體設有高效過濾系統,確保無塵環境並避免粉塵污染,且具備節能設計,氮氣達到設定濕度後自動待機,節省氮氣消耗。 這款八門雙面開門氮氣櫃不僅能提升產品儲存的可靠性與穩定性,更能有效降低生產過程中的污染風險,為高精密行業提供最佳的儲存環境。











